KR950007972A - 광로조절장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 투사형화상표시장치에 사용되는 광로조절장치에 관한 것으로서, 바이어스 전극들이 형성될 때 액츄에이터들의 상부에 절연층을 개재시켜 거울들이 동시에 형성되고, 이 액츄에이터들과 소정거리 이격되어 거울들과 대응하여 입사되는 광을 집속시키는 마이크로 렌즈들을 이웃하는 것들끼리 하부가 접촉되도록 형성된다. 따라서, 거울들이 액츄에이터들의 상부 표면에 직접 형성되므로 거울들을 분리하는 공정을 생략할 수 있어 제조가 간단하며, 평탄도 및 균일도가 증가되고 수율을 향상시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 종래의 광로조절장치의 단면도.
Claims (5)
- M×N개의 트랜지스터들이 내장되고 표면에 이 트랜지스터들과 전기적으로 연결된 접촉패드들을 갖는 절연 물질이나 반도체로 이루어진 구동기판과, 상기 구동기판에 실장되며 변형부들, 이 변형부들 사이의 신호전극, 변형부들 상부에 형성된 홈들의 내부표면의 바이어스 전극들, 변형부들 하부에 상기 신호전극과 전기적으로 연결된 금속막으로 이루어진 M×N개의 액츄에이터로 형성되고, 이 액츄에이터들의 상부 표면에 절연층들과 거울들을 갖는 액츄에이터 어레이와, 상기 구동기판에 측벽들에 의해 지지되어 실장되며 투명기판에 소정의 곡률반경을 갖고 상기 액츄에이터들과 대응되도록 형성된 마이크로 렌즈들을 구비하는 광로조절장치.
- 제1항에 있어서, 상기 절연층이 산화실리콘 또는 질화실리콘으로 이루어진 광로조절장치.
- 제1항에 있어서, 상기 거울이 알루미늄등의 반사특성이 좋은 전도성 금속으로 이루어진 광로조절장치.
- 제3항에 있어서, 상기 거울이 상기 바이어스 전극들과 동시에 형성되는 광로조절장치.
- 제1항에 있어서, 상기 마이크로 렌즈들은 이웃하는 마이크로 렌즈들과 하부가 접촉되도록 형성된 광로조절장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930020258A KR970003464B1 (ko) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 광로조절장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019930020258A KR970003464B1 (ko) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 광로조절장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR950007972A true KR950007972A (ko) | 1995-04-15 |
| KR970003464B1 KR970003464B1 (ko) | 1997-03-18 |
Family
ID=19365043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019930020258A KR970003464B1 (ko) | 1993-09-28 | 1993-09-28 | 광로조절장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970003464B1 (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100778868B1 (ko) * | 2006-09-01 | 2007-11-22 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 디지털 광 처리장치 및 그 제조 방법 |
-
1993
- 1993-09-28 KR KR1019930020258A patent/KR970003464B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100778868B1 (ko) * | 2006-09-01 | 2007-11-22 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 디지털 광 처리장치 및 그 제조 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR970003464B1 (ko) | 1997-03-18 |
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