KR970053321A - 읽기오류를 방지하는 스테이션 척 - Google Patents

읽기오류를 방지하는 스테이션 척 Download PDF

Info

Publication number
KR970053321A
KR970053321A KR1019950061968A KR19950061968A KR970053321A KR 970053321 A KR970053321 A KR 970053321A KR 1019950061968 A KR1019950061968 A KR 1019950061968A KR 19950061968 A KR19950061968 A KR 19950061968A KR 970053321 A KR970053321 A KR 970053321A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
wafer
vacuum
station chuck
present
line
Prior art date
Application number
KR1019950061968A
Other languages
English (en)
Inventor
이태원
Original Assignee
김광호
삼성전자 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김광호, 삼성전자 주식회사 filed Critical 김광호
Priority to KR1019950061968A priority Critical patent/KR970053321A/ko
Publication of KR970053321A publication Critical patent/KR970053321A/ko

Links

Landscapes

  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)

Abstract

이 발명은 낮응 드레인-소스가 저항을 갖는 모스트랜지스터의 웨이퍼 테스트에서 드레인-소스간 저항의 읽기오류를 방지하는 스테이션 척(Station Chuck)에 관한 것이다. 이 발명의 구성은, 적당히 분산되어 있는 진공홀들; 중심점으로부터 2.3인치 떨어져 있는 진공라인; 진공라인의 내에 위치하고, 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 로딩하는 웨이퍼 로딩라인으로 이루어진다. 이 발명의 효과는, 테스트 스테이션 척(Station Chuck) 진공라인 최외각 위치가 중심점간 길이를 로딩하고, 웨이퍼 크기 보다 작게하여 누출이 없고, 홀의 위치를 분산시켜서 진공 효과를 향상시킨 읽기오류를 방지하는 스테이션 척(Station Chuck)을 제공할 수 있다.

Description

읽기오류를 방지하는 스테이션 척
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 발명의 실시예에 따른 읽기오류를 방지하는 스테이션 척(Station Chuck)의 구조도이다.

Claims (1)

  1. 스테이션 척에 있어서, 적당히 분산되어 있는 진공홀들; 중심점으로부터 2.3인치 떨어져 있는 진공라인; 상기의 진공라인의 내에 위치하고, 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 로딩라인으로 이루어진 것을 특징으로 하는 읽기오류를 방지하는 스테이션 척.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950061968A 1995-12-28 1995-12-28 읽기오류를 방지하는 스테이션 척 KR970053321A (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950061968A KR970053321A (ko) 1995-12-28 1995-12-28 읽기오류를 방지하는 스테이션 척

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019950061968A KR970053321A (ko) 1995-12-28 1995-12-28 읽기오류를 방지하는 스테이션 척

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR970053321A true KR970053321A (ko) 1997-07-31

Family

ID=66621673

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950061968A KR970053321A (ko) 1995-12-28 1995-12-28 읽기오류를 방지하는 스테이션 척

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR970053321A (ko)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR900015142A (ko) 반도체 집적회로장치
FR2712720B1 (fr) Circuit de test multibit pour dispositif de mémoire à semi-conducteurs.
KR860009420A (ko) 내부회로의 동작모드 스위칭 기능을 갖는 반도체 집적회로
KR900013621A (ko) 반도체장치
KR930003159A (ko) 반도체 기억장치
KR890012370A (ko) 반도체 장치
KR910015057A (ko) 반도체집적회로
KR970053321A (ko) 읽기오류를 방지하는 스테이션 척
KR910006994A (ko) 센스 앰프회로
KR970053283A (ko) 반도체 패키지 윤곽 측정용 측정 유니트
KR920010813A (ko) 반도체 장치
KR910001761A (ko) 반도체 메모리 장치
CA2079696C (en) Semiconductor integrated circuit device with fault detecting function
KR930008854A (ko) 반도체 메모리의 내부전압공급장치
ATE39591T1 (de) Integrierter dynamischer schreib-lese-speicher.
KR910001772A (ko) 반도체 메모리 장치
KR960024424A (ko) 롬(rom) 소자 테스트 방법 및 시스템
KR910005299A (ko) 스테틱 램의 측정장치
KR970012785A (ko) 병렬 테스트 회로
KR900019048A (ko) 반도체기억장치의 테스트회로
KR970030565A (ko) 웨이퍼 레벨 테스트에서 프로우브 카드와 테스트 장비간의 연결 방법
KR970071834A (ko) 불휘발성 반도체 메모리 장치
KR19980058190A (ko) 메모리셀의 전류크기 측정회로
KR970066856A (ko) 마이크로 제어장치의 유사한 주변 칩 세트의 변화에 따른 공용화 장치 및 방법
JPS5897200A (ja) 情報処理装置

Legal Events

Date Code Title Description
N231 Notification of change of applicant
WITN Withdrawal due to no request for examination