KR970053321A - 읽기오류를 방지하는 스테이션 척 - Google Patents
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Abstract
이 발명은 낮응 드레인-소스가 저항을 갖는 모스트랜지스터의 웨이퍼 테스트에서 드레인-소스간 저항의 읽기오류를 방지하는 스테이션 척(Station Chuck)에 관한 것이다. 이 발명의 구성은, 적당히 분산되어 있는 진공홀들; 중심점으로부터 2.3인치 떨어져 있는 진공라인; 진공라인의 내에 위치하고, 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 로딩하는 웨이퍼 로딩라인으로 이루어진다. 이 발명의 효과는, 테스트 스테이션 척(Station Chuck) 진공라인 최외각 위치가 중심점간 길이를 로딩하고, 웨이퍼 크기 보다 작게하여 누출이 없고, 홀의 위치를 분산시켜서 진공 효과를 향상시킨 읽기오류를 방지하는 스테이션 척(Station Chuck)을 제공할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 이 발명의 실시예에 따른 읽기오류를 방지하는 스테이션 척(Station Chuck)의 구조도이다.
Claims (1)
- 스테이션 척에 있어서, 적당히 분산되어 있는 진공홀들; 중심점으로부터 2.3인치 떨어져 있는 진공라인; 상기의 진공라인의 내에 위치하고, 웨이퍼를 로딩하는 웨이퍼 로딩라인으로 이루어진 것을 특징으로 하는 읽기오류를 방지하는 스테이션 척.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950061968A KR970053321A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 읽기오류를 방지하는 스테이션 척 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950061968A KR970053321A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 읽기오류를 방지하는 스테이션 척 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR970053321A true KR970053321A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66621673
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950061968A KR970053321A (ko) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | 읽기오류를 방지하는 스테이션 척 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR970053321A (ko) |
-
1995
- 1995-12-28 KR KR1019950061968A patent/KR970053321A/ko not_active Application Discontinuation
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