KR970030422A - 웨이퍼 세정방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 웨이퍼 세정공정에 관한 것으로, 활성화된 수소원자를 사용하여 웨이퍼의 표면에 잔류하는 금속성 불순물을 제거할 수 있도록 하므로써 계면특성을 향상시킬 수 있는 웨이퍼 세정방법에 관한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2a도 내지 제2c도는 본 발명에 따른 웨이퍼 세정방법을 설명하기 위한 웨이퍼 단면도.
Claims (6)
- 웨이퍼의 표면에 존재하는 금속성 불순물 및 자연산화막을 제거하기 위한 웨이퍼 세정방법에 있어서, 일정온도 및 압력상태의 반응로 내로 상기 웨이퍼를 로드한 후 활성화된 수소원자를 사용하여 상기 웨이퍼의 표면을 세정하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 수소원자는 CH4및 Cl2의 가스를 이용하여 생성되도록 한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 수소원자는 자외선 마이크로 웨이브에 의해 활성화 되도록 하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법.
- 제3항에 있어서, 상기 자외선 마이크로 웨이브는 자외선 수온램프에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 세정시 세정온도는 150 내지 200℃인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 반응로는 저압반응로인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 세정 방법.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042781A KR970030422A (ko) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 웨이퍼 세정방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950042781A KR970030422A (ko) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 웨이퍼 세정방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970030422A true KR970030422A (ko) | 1997-06-26 |
Family
ID=66587928
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950042781A KR970030422A (ko) | 1995-11-22 | 1995-11-22 | 웨이퍼 세정방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970030422A (ko) |
-
1995
- 1995-11-22 KR KR1019950042781A patent/KR970030422A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |