KR970030035A - 개선된 질량 분석장치와 라디칼 측정 방법 - Google Patents

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데쓰 미에노
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가네꼬 히사시
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Abstract

질량 분석 장치(mass spectrometer)에서, DC전력 공급 증폭기는 라디칼(radicals) 이온화를 위한 전자빔의 가속 전압을 발생하기 위한 회로안에 부가적으로 설치된다. "라디칼 이온화 전위(potential)"는 라디칼 이온화 가속전압의 기준전압(reference voltage)으로써 인가되며, 질량 분석 장치의 출력 신호는 백그라운드 신호 강도로써 측정된다. 그러므로, DC 전원 증폭기는 라디칼 이온화 전자빔의 가속 전압으로써, "라디칼의 이온화 전위"와 "모체 기체의 해리 이온화 전위 혹은 모체 라디칼의 해리 이온화 전위 보다 약간 적은 전위"을 선택적으로 공급하도록 조절된다. 모체 라디칼의 해리 이온화 혹은 모체 기체의 해리 이온화 전위가 라디칼 이온화 전자빔으로써 인가될 때의 질랭 분석 장치의 출력신호와 백그라운드 신호 강도 사이의 차는 라디칼의 밀도를 반영한다.

Description

개선된 질량 분석장치와 라디칼 측정 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 따른 질량 분석 장치의 실시예의 블록 다이어 그램이다.
제4a도는 4b는 본 발명에 따른 라디칼 측정 방법이 본 발명에 따른 질량 분석 장치를 사용함으로써 수행될 때, 이온화 전위와 질량 분석 장치의 신호 출력의 예를 설명하는 도면이다.
제5도는 본 발명에 따른 질량 분석 장치에서의 사용에 의해서 펄스로 여기된 플라즈마 내의 라디칼의 밀도를 측정하는 측정예를 설명하는 그래프이다.

Claims (3)

  1. 전자빔에 의해 라디칼을 이온화하고, 이온의 충돌 혹은 상기 이온 그자체의 전하에 의해 생성된 2차 전자를 증폭함으로써 라디칼의 양을 산출하기 위하여 구성된 질량 분석 장치에 있어서, 라디칼 이온화 전자빔의 가속전압을 발생하고, 펄스의 형태로 두 개의 상이한 전압 사이에 변화하는 전자빔 가속 전압을 인가하기 위한 호로 내에 DC 전원 증폭기를 설치하는 것을 특징으로 하는 질량 분석 장치.
  2. 질량 분석 장치의 이온화 전자빔 가속 전압을 "라디칼 이온화 전위"와 "모체 기체의 해리 이온화 전위 혹은 모체 라디칼의 해리 이온화 전위" 사이의 전위로 가져옴으로써, 플라즈마 안에 있는 라디칼만을 표시하는 신호를 포착하는 출현 질량 분석법을 기초로 하는 라디칼 측정 방법에 있어서, 상기 이온화 전자빔 가속 전압을 상기 "라디칼의 이온화 전위" 이상이 되는 제1전압과, 상기 제1전압보다 높으면서 상기 "모체 기체의 해리 이온화 전위 혹은 모체 라디칼의 해리 이온화 전위" 보다는 낮은 제2전압 사이에서, 펄스의 형태로, 반복적으로 변화시키는 동안, 상기 질량 분석 장치로부터 출력된 신호를 포착하고, 상기 제1전압이 인가될 때와 상기 제2전압이 인가될 때 사이에서 상기 질량분석 장치로부터 출력된 상기 신호 차로부터 라디칼의 밀도를 결정하는 것을 특징으로 하는 질량 측정 방법.
  3. 질량 분석 장치의 이온화 전자빔 가속 전압을 "라디칼 이온화 전위"와 "모체 기체의 해리 이온화 전위 혹은 모체 라디칼의 해리 이온화 전위" 사이의 전위로 가져옴으로서, 플라즈마 내의 라디칼만으로 표시되는 신호를 포착하는 출현 질량 분석법을 기초로 하는 라디칼 측정 방법에 있어서, 상기 이온화 전자빔 가속 전압의 측정기준 레벨을 "라디칼의 이온화 전위"와 "모체 기체의 해리 이온화 전위 혹은 모체 라디칼의 해리 이온화 전위 보다 약간 적은 전위" 사이 중에 있는 전압으로 설정하고, 그런 후 상기 이온화 전자빔 가속 전압을 상기 "라디칼의 이온화 전위" 이상이 되고 상기 측정 기준 레벨 보다는 낮은 제1전압과 상기 "모체 기체의 해리 이온화 전위 혹은 모체 라디칼의 해리 이온화 전위" 보다는 낮고 상기 측정 기준 레벨보다는 높은 제2전압 사이에서 펄스의 형태로 반복적으로 변화시키는 동안, 상기 질량 분석 장치로부터 출력된 신호를 포착하고, 상기 측정 기준 레벨이 인가될 때와 상기 제1전압이 인가될 때 사이에서 상기 질량 분석 장치로부터 출력된 상기 신호차와, 상기 측정 기준 레벨이 인가될 때와 상기 제2전압이 인가될 때 사이에서 상기 질량 분석 장치로부터 출력된 상기 신호 차로 라디칼의 밀도를 결정하는 것을 특징으로 하는 라디칼 측정 방법.
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