KR970028539A - 가스센서 - Google Patents

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KR970028539A
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요시노부 마쯔우라
토오루 노무라
다이수케 마쯔다
유우키 후지모리
마키 키토라
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요코치 아키라
피가로키켄 카부시키가이샤
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Abstract

히터막에 절연유리를 적층하고, 유리위에 감가스막을 적층한다. 유리중의 MgO함유량을 0.1wt% 이하로 하고, 냉간에서 흡착수로 Mg가 용출하여, 검출전압에서 음극에 석출하는 것을 방지한다.

Description

가스센서
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 실시예의 가스센서의 단면도,
제2도는 본 발명에 의한 실시예의 가스센서의 평면도,
제3도는 본 발명에 의한 실시예의 가스센서의 요부확대 단면도,
제4도는 본 발명에 의한 실시예의 가스센서의 구동회로를 표시하는 도면,
제5도는 본 발명에 의한 실시예의 가스센서의 동작파형을 표시하는 특성도.

Claims (5)

  1. 기판상에 히터막과, 유리성분을 포함하는 절연막과 감가스막을 적층한 가스센서에 있어서, 상기 절연막중의 감가스막층에서 유리성분의 Mg함유량을, MgO환산으로 2Wt% 이하로 한 것을 특징으로 하는 가스센서.
  2. 제1항에 있어서, 상기 유리성분이 적어도 SiO2와 Al2O3와 RO를 포함하고, (여기에 R은 Ca, Sr, Ba로 이루어지는 군의 적어도 일원을 나타낸다.) 또한 감가스막측에서의 유리성분의 Mg함유량을 MgO환산으로 2wt%이하로 한 것을 특징으로 하는 가스센서.
  3. 제2항에 있어서, 상기 유리성분의 SiO2와 Al2O3와 RO의 합계함유량을 40~100wt%로 하고, 유리성분의 나머지 성분이, 천이금속, 란탄족, B, Ga, In, Tl, Ge, Sn, Pb로 이루어지는 군의 적어도 일원의 원소와, 산소 및 할로겐으로 이루어지는 군의 적어도 일원의 원소, 및 5wt% 이하의 불순물성분으로 이루어지고, 또한 절연막의 감가스막측에서의 유리성분의 MgO함유량을 1000wtppm 이하로 한 것을 특징으로 하는 가스센서.
  4. 제1항에 있어서, 상기 절연막이 히터막측의 하층과, 감가스막의 상층과의 적어도 2층으로 이루어지고, 하층 및 상층에서의 유리성분중의 Mg함유량을 MgO환산으로 어느 것이나 2wt% 이하로 한 것을 특징으로 하는 가스센서.
  5. 제1항에 있어서, 상기 절연막이 히터막측의 하층과 감가스막의 상층과의 적어도 2층으로 이루어지고, 상층에서의 유리성분의 Mg함유량을 MgO환산으로 2wt% 이하로 한 것을 특징으로 하는 가스센서.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960052926A 1995-11-14 1996-11-08 가스센서 KR100408599B1 (ko)

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