KR970022399A - 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템 - Google Patents
플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템 Download PDFInfo
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Abstract
패턴을 새기위한 감광 물질이 도포된 플레이트를 카세트로부터 로딩하거나 언로딩하는 공정에 있어서, 플레이트를 카세트로부터 로딩하거나 언로딩하는 부분에 다수개 장착되어, 카세트로부터 로딩되거나 언로딩되는 동안의 플레이트 정렬 위치를 감지하여 그에 해당하는 전기적인 신호를 출력하고, 플레이트의 주변부를 노광시키는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단과; 상기 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호에 따라 플레이트의 정렬 위치를 판단하여, 그에 따라 해당하는 로보트 구동 명령을 출력하는 동작 제어 수단과; 상기 동작 제어 수단에서 출력되는 로보트 구동 명령에 따라 동작상태가 가변되어, 상기 플레이트의 정렬 위치를 가변시키는 로보트 구동수단으로 이루어지는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템은, 플레이트의 로딩 및 언로딩시에 이중 노광을 수행함으로써, 보다 효율적으로 플레이트 주변부를 노광시켜 먼지 발생의 원인을 제거할 수 있으며, 또한, LCD 고정의 패턴 노광 시간이외에 별도의 플레이트 주변부를 노광시키기 위한 시간이 소요되지 않아 생산성 저하를 방지할 수 있으며, 또한, 별도의 광원을 사용하지 않고 LCD고정에 사용되는 주광원을 이용하여 플레이트 주변부를 노광시킴으로써, 별도의 운영 및 유지 비용에 따른 부담을 줄일 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 이 발명의 실시예에 따른 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템의 간략화된 블럭도,
제2도는 이 발명의 실시예에 따른 플레이트 주변부의 노광 및 정렬 시스템의 전체 구성도.
Claims (19)
- 패턴을 형성시키기 위한 감광 물질이 도포된 플레이트를 카세트로부터 로딩하거나 언로딩하는 공정에 있어서, 플레이트를 카세트로부터 로딩하거나 언로딩하는 부분에 다수개 장착되어, 카세트로부터 로딩되거나 언로딩되는 동안의 플레이트 정렬 위치를 감지하여 그에 해당하는 전기적인 신호를 출력하고, 플레이트의 주변부를 노광시키는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단과; 상기 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호에 따라 플레이트의 정렬 위치를 판단하여, 그에 따라 해당하는 로보트 구동명령을 출력하는 동작 제어 수단과; 상기 동작 제어 수단에서 출력되는 로보트 구동 명령에 따라 동작상태가 가변되어 플레이트를 카세트로부터 로딩/언로딩하고, 상기 플레이트의 정렬 위치를 가변시키는 로보트 구동 수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기한 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단은, LCD 제조 공정에 사용되는 주광원에서 출력되는 빛을 집광하여 출력하는 노광 광학부와; 상기 노광 광학부의 전단에 위치하고, 상기 플레이트의 정렬 위치를 감지하여 해당하는 제1정렬 신호를 출력하는 제1정렬 센서부와; 상기 노광 광학부의 후단에 위치하고 상기 플레이트의 정렬 위치를 감지하여 해당하는 제2정렬 신호를 출력하는 제2정렬 센서부와; 상기 제1정렬 센서부와 제2정렬 센서부 각각의 출력단에 연결되어, 입력되는 정렬 신호를 처리하여 해당하는 증폭 신호 및 반전 증폭신호를 출력하는 센서 인터페이스부를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제2항에 있어서, 상기 한 노광 광학부와 제1정렬 센서부와 제2정렬 센서부와 센서 인터페이스부는 일체화된 모듈로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제2항에 있어서, 상기의 노광 광학부는, LCD 제조 공정에 사용되는 주광원에 연결되어 출력되는 빛을 전송하는 광섬유와; 상기 광섬유를 통하여 전송되는 빛을 집광하여 출력하는 다수의 집광렌즈와, 상기 다수의 집광 렌즈를 통하여 집광된 빛을 반사시켜 플레이트의 주변부로 출력하는 반사 미러로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제4항에 있어서, 상기한 광섬유는, LCD제조 공정에 사용되는 주광원에서 발광된 광의 셔터 개방에 따라 사용되지 않는 미사용 영역에 연결되어, 패턴 노광 공정에 사용되지 않는 미사용 영역의 빛을 전송하는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제2항에 있어서, 상기 제1정렬 센서부와 제2정렬 센서부는 동일한 구조로 이루어지며, 인가되는 구동 신호에 따라 일정량의 빛을 출력하는 발광부와; 상기 발광부에서 출력되는 빛을 하측으로 반사시키는 제1반사 미러와, 상기 발광부와 제1반사 미러와 플레이트가 지나갈 수 있는 일정간격을 두고 하측에 위치하여, 상기 제1반사 미러에서 출력되는 빛을 다시 직선상으로 반사시키는 제2미러와; 상기 발광부와 제1반사 미러와 플레이트가 지나갈 수 있는 일정간격을 두고 하측에 위치하여, 상기 제2반사 미러에서 출력되는 빛을 수광하여 해당하는 전기적인 신호를 출력하는 수광부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제6항에 있어서, 상기한 제1정렬 센서부는 카세트로부터 로딩되는 플레이트의 정렬위치를 감지하고, 제2정렬 센서부는 카세트로 언로딩되는 플레이트의 정렬 위치를 감지하는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제6항에 있어서, 상기 발광부와 제1반사 미러 사이나, 상기 제2반사 미러와 수광부(421) 사이에, 출력되는 빛을 집광시켜 출력하는 집광 렌즈가 추가 장착되는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제2항에 있어서, 상기 센서 인터페이스부는, 상기 수광부에서 출력되는 전기적인 신호를 해당하는 전압 신호로 가변시켜 출력하는 전류/전압부와, 상기 전류/전압부에서 출력되는 전압 신호를 증폭시켜 해당하는 증폭신호를 동작 제어 수단으로 출력하는 전압 증폭부와; 상기 전압 증폭부에서 출력되는 증폭 신호를 반전 출력하여 해당하는 반전 증폭 신호를 동작 제어 수단으로 출력하는 신호 반전부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기한 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단은, 카세트로부터 로딩되거나 언로딩되는 동안 플레이트의 주변부가 노광되도록, 플레이트의 좌우측에 각각 장착되는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기한 동작 제어 수단은, 상기 플레이트 노광 및 정렬 장수단에 출력되는 증폭 신호와 반전 증폭 신호를 차동 증폭하여 해당하는 신호를 출력하는 차동 증폭부와, 상기 차동 증폭부의 출력단에 연결되어 인가되는 신호를 디지탈 신호로 가변시켜 출력하는 A/D 변환부로 이루어진 신호 처리부와, 상기 신호 처리부에서 출력되는 신호에 따라 플레이트의 정렬 상태를 판단하여 그에 해당하는 로보트 구동 명령을 출력하는 동작 제어부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제11항에 있어서, 상기한 동작 제어부는 다수개의 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호가 동일한 경우에는, 현재 카세트로부터 로딩되거나 언로딩되는 플레이트의 정렬 위치가 정확한 상태로 판단하고, 다수개의 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호가 동일하지 않은 경우에는, 현재 카세트로부터 로딩되거나 언로딩되는 플레이트의 정렬 위치가 부정확한 상태로 판단하여, 그에 따른 플레이트의 위치 오차를 산출한 다음, 그에 따라 플레이트를 정확한 정렬위치로 위치시키기 위한 로보트 구동 명령을 출력하는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제1항에 있어서, 상기한 로보트 구동 수단은, 상기 동작 제어 수단에서 출력되는 로보트 구동 명령에 따라 해당하는 구동 신호를 출력하는 로보트 제어부와, 상기 로보트 제어부에서 출력되는 구동 신호에 따라 동작 상태가 가변되어, 상기 플레이트를 로딩하거나 언로딩시키는 로보트로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 플레이트 스테이지와; 플레이트가 적재되어 있는 제1카세트와; 플레이트가 적재되어 있는 제2카세트와; 상기 제1카세트로부터 플레이트가 로딩되거나 언로딩되는 부분과, 플레이트 스테이지로 플레이트가 로딩되거나 언로딩되는 부분과, 제2카세트로부터 플레이트가 로딩되거나 언로딩되는 부분에, 플레이트의 좌우 주변부가 노광되도록 좌우측에 각각 설치되고, 로딩 및 동작이 이루어지는 플레이트 정렬 위치를 감지하여 그에 해당하는 전기적인 신호를 출력하고, 플레이트의 주변부를 노광시키는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단과; 상기 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호에 따라 플레이트의 정렬 위치를 판단하여, 그에 따라 해당하는 로보트 구동명령을 출력하는 동작 제어 수단과; 상기 동작 제어 수단에서 출력되는 로보트 구동 명령에 따라 동작상태가 가변되어 플레이트를 카세트로부터 로딩/언로딩하고, 상기 플레이트의 정렬 위치를 가변시키는 로보트 구동 수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제14항에 있어서, 제1카세트로부터 플레이트 스테이지상으로 플레이트를 위치시키는 경우에, 상기의 각각의 로딩/언로딩부에 장착된 두개의 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단은, 상기 제1카세트로부터 플레이트가 로딩되는 동안에 플레이트 주변부의 1차 노광을 수행하고, 제2카세트로부터 로딩된 플레이트가 플레이트 스테이지로 위치하는 동안에 2차 노광을 수행하고, 플레이트 스테이지상에서 노광된 플레이트를 언로딩하는 동안에 3차 노광을 수행하고, 플레이트를 제2카세트로 언로딩하는 동안에 4차 노광을 수행하는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제14항에 있어서, 제2카세트로부터 플레이트 스테이지상으로 플레이트를 위치시키는 경우에, 상기의 각각의 로딩/언로딩부에 장착된 두개의 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단은, 상기 제2카세트로부터 플레이트가 로딩되는 동안에 플레이트 주변부의 1차 노광을 수행하고, 제2카세트로부터 로딩된 플레이트가 플레이트 스테이지로 위치하는 동안에 2차 노광을 수행하고, 플레이트 스테이지상에서 노광된 플레이트를 언로딩하는 동안에 3차 노광을 수행하고, 플레이트를 제2카세트로 언로딩하는 동안에 4차 노광을 수행하는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 제15항 및 제16항에 있어서, 상기한 동작 제어 수단은, 각각의 로딩/언로딩부에 플레이트의 주변부가 노광되도록 좌우에 각각 장착된 두개의 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호가 동일한 경우에는, 현재 로딩되거나 언로딩되는 플레이트의 정렬 위치가 정화한 것으로 판단하고, 각각의 로딩/언로딩부에 플레이트의 주변부가 노광되도록 좌우에 각각 장착된 두개의 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호가 동일하지 않은 경우에는, 현재 로딩되거나 언로딩되는 플레이트의 정렬위치가 부정확한 것으로 판단하여, 그에 따른 플레이트의 위치 오차를 산출한 다음, 그에 따라 플레이트를 정확한 정렬 위치로 위치시키기 위한 로보트 구동 명령을 출력하는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 플레이트 스테이지와; 플레이트가 적재되어 있는 카세트와; 상기 카세트로부터 플레이트가 로딩되거나 언로딩되는 부분과, 플레이트 스테이지로 플레이트가 로딩되거나 언로딩되는 부분에, 플레이트의 좌우 주변부가 노광되도록 좌우측에 각각 설치되고, 로딩 및 동작이 이루어지는 플레이트 정렬 위치를 감지하여 그에 해당하는 전기적인 신호를 출력하고, 플레이트의 주변부를 노광시키는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단과; 상기 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호에 따라 플레이트의 정렬 위치를 판단하여, 그에 따라 해당하는 로보트 구동명령을 출력하는 동작 제어 수단과; 상기 동작 제어 수단에서 출력되는 로보트 구동 명령에 따라 동작상태가 가변되어 풀레이트를 카세트로부터 로딩/언로딩하고, 상기 플레이트의 정력 위치를 가변시키는 로보트 구동 수단을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.
- 패턴을 새기위한 감광 물질이 도포된 플레이트를 카세트로부터 로딩하거나 언로딩하는 공정에 있어서, 플레이트를 카세트로부터 로딩하거나 언로딩하는 부분에 다수개 장착되어, 카세트로부터 로딩되거나 언로딩되는 동안의 플레이트 정렬위치를 감지하여 그에 해당하는 전기적인 신호를 출력하고, 플레이트의 주변부를 노광시키는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단과; 상기 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단에서 출력되는 신호에 따라 플레이트의 정렬 위치를 판단하여 그에 따라 해당하는 로보트 구동명령을 출력하는 동작 제어 수단과; 상기 동작 제어 수단에서 출력되는 로보트 구동 명령에 따라 동작상태가 가변되어, 상기 플레이트의 정렬 위치를 가변시키는 로보트 구동수단과; 상기 플레이트의 사이즈를 감지하여, 감지되는 플레이트의 사이즈에 따라 플레이트가 로딩되거나 언로딩되는 부분에 장착되는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 수단의 장착 위치를 가변시키는 위치 조절수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950034881A KR0146188B1 (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템 |
Applications Claiming Priority (1)
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| KR1019950034881A KR0146188B1 (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템 |
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|---|---|
| KR970022399A true KR970022399A (ko) | 1997-05-28 |
| KR0146188B1 KR0146188B1 (ko) | 1998-09-15 |
Family
ID=19429842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950034881A KR0146188B1 (ko) | 1995-10-11 | 1995-10-11 | 플레이트 주변부 노광 및 정렬 시스템 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR0146188B1 (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100465871B1 (ko) * | 1997-07-07 | 2005-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체제조용스테퍼 |
| KR100490039B1 (ko) * | 1997-07-23 | 2005-08-31 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치의제조방법및그제조장치 |
-
1995
- 1995-10-11 KR KR1019950034881A patent/KR0146188B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100465871B1 (ko) * | 1997-07-07 | 2005-05-17 | 삼성전자주식회사 | 반도체제조용스테퍼 |
| KR100490039B1 (ko) * | 1997-07-23 | 2005-08-31 | 삼성전자주식회사 | 액정표시장치의제조방법및그제조장치 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR0146188B1 (ko) | 1998-09-15 |
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