KR970013390A - 씨씨디(ccd) 고체촬상소자 및 그의 신호처리방법 - Google Patents

씨씨디(ccd) 고체촬상소자 및 그의 신호처리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자와 홀의 쌍전하를 이용하여 신호를 검출함으로써 감도를 향상시키고 조도에 대한 동적영역을 증가시킨 CCD 고체촬상소자 및 그의 신호처리방법에 관한 것으로서, 입사광에 대하여 신호전하들을 발생하는 감지영역과; 감지영역으로부터의 신호전하들을 일정시간동안 축적하는 축적영역과; 축적영역에 축적된 신호전하들을 1라인씩 추출하는 HCCD와; HCCD으로부터 출력되는 신호전하들 중 전자에 대한 신호전하들을 검출하고 증폭하는 고감도용 신호전하검출 및 증폭회로와; HCCD으로부터 출력되는 신호전하들 중 홀에 대한 신호전하들을 검출하고 증폭하는 저감도용 신호전하검출 및 증폭회로를 포함한다. 또한, 본 발명의 CCD 고체촬상소자의 신호처리방법은 입사광에 대하여 전자와 홀의 신호전하들을 발생하는 단계와, 상기 발생된 신호전하들을 일정시간동안 축적하는 단계와, 상기 축적된 신호전하들을 1라인씩 추출하는 단계와, 1라인씩 추출되는 신호전하들 중 전자에 대한 신호전하들을 검출하는 단계와, 1라인씩 추출되는 신호전하들 중 홀에 대한 신호전하들을 검출하는 단계와, 전자에 대한 검출신호와 홀에 대한 검출신호를 합성처리하는 단계를 포함한다.

Description

씨씨디(CCD) 고체촬상소자 및 그의 신호처리방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제5도는 본 발명의 실시예에 따른 프레임 전송방식의 CCD 고체촬상소자의 구성도,
제6도 (A)는 발명의 실시예에 따른 프레임 전송방식의 CCD 고체촬상소자의 단면 구조도.

Claims (11)

  1. 입사광에 대하여 신호전하들을 발생하는 감지영역과, 감지영역으로부터의 신호전하들을 일정시간동안 축적하는 축적영역과, 축적영역에 축적된 신호전하들을 1라인씩 추출하는 HCCD와, HCCD으로부터 출력되는 신호전하들 중 전자에 대한 신호전하들을 검출하고 증폭하는 고감도용 신호전하검출 및 증폭회로와, HCCD으로부터 출력되는 신호전하들 중 홀에 대한 신호전하들을 검출하고 증폭하는 저감도용 신호전하검출 및 증폭회로를 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자
  2. 제1항에 있어서, 상기 감지영역은 제1도전형의 저농도 기판과, 기판상에 형성된 제2도전형의 웰과, 상기 웰에 형성된 제1도전형을 갖는 제1불순물 영역과, 상기 제1불순물 영역의 표면에 형성된 제2도전형을 갖는 제2불순물 영역과, 제1 및 제2불순물 영역과 접하여 상기 웰에 형성된 제1도전형을 갖는 제3불순물 영역과, 상기 제3불순물 영역과 접하여 상기 웰에 형성된 고농도의 제2도전형의 제4불순물 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자.
  3. 제2항에 있어서, 상기 감지영역은 기판전면에 형성된 절연막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자.
  4. 제1항에 있어서, 상기 축적영역은 제1도전형의 저농도 기판과, 기판상에 형성된 제2도전형의 웰과, 상기 웰에 형성된 제1도전형을 갖는 제1불순물 영역과, 상기 제1불순물 영역의 표면에 형성된 제2도전형을 갖는 제2불순물 영역과, 제1 및 제2불순물 영역과 접하여 상기 웰에 형성된 제1도전형을 갖는 제3불순물 영역과, 상기 제3불순물 영역과 접하여 상기 웰에 형성된 고농도의 제2도전형의 제4불순물 영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자.
  5. 제4항에 있어서, 상기 감지영역은 기판전면에 형성된 절연막과, 절연막상에 형성된 전송전극과, 전송전극상에 형성된 차광막을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자.
  6. 제4항에 있어서, 제1불순물 영역은 전자매립채널영역으로 작용하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자.
  7. 제4항에 있어서, 제2불순물 영역은 홀매립채널영역으로 작용하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자.
  8. 제4항에 있어서, 제3불순물 영역은 홀채널스톱영역과 전자매립채널영역으로 작용하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자.
  9. 제4항에 있어서, 제4불순물 영역은 전자채널스톱영역과 홀드레인 영역으로 작용하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자.
  10. 입사광에 대하여 전자와 홀의 신호전하들을 발생하는 단계와, 상기 발생된 신호전하들을 일정시간동안 축적하는 단계와, 상기 축적된 신호전하들을 1라인씩 추출하는 단계와, 1라인씩 추출되는 신호전하들 중 전자에 대한 신호전하들을 검출하는 단계와, 1라인씩 추출되는 신호전하검출 중 홀에 대한 신호전하들을 검출하는 단계와 전자에 대한 검출신호와 홀에 대한 검출신호를 합성처리하여 출력하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자의 신호 처리방법.
  11. 제10항에 있어서, 전자에 대한 검출신호와 홀에 대한 검출신호를 합성처리시 고감도영역에서는 저조도영역에서는 전자에 대한 검출신호와 홀에 대한 검출신호를 더한 값을 출력하고, 고조도영역에서는 홀에 대한 검출신호를 출력하는 것을 특징으로 하는 CCD 고체촬상소자의 신호처리방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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