KR970013386A - 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조 및 이의 제조방법 - Google Patents

리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조 및 이의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조 및 이의 제조방법에 관한 것르로, 리페어되는 부분의 레이저 용접을 용이하게 할 수 있도록 하기 위한 것이다.
본 발명은 기판상에 형성된 복수개의 버스라인과, 상기 복수개의 버스라인상에 절연막을 개재하여 복수개의 버스라인과 수직으로 교차되어 형성된 리페어라인, 상기 복수개의 버스라인과 상기 리페어라인이 교차되는 부분에 형성되는 리페어영역, 상기 복수개의 버스라인 및 리페어라인 상부에 형성되며, 상기 리페어영역에 개구부를 갖는 패시베이션막을 포함하는 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조를 제공한다.

Description

리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조 및 이의 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 종래의 액정표시장치의 버스라인과 리페어라인의 교차부분을 도시한 개략도,
제3도는 본 발명에 의한 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조에 있어서의 리페어부분을 도시한 평면도,
제4도는 본 발명에 의한 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조에 있어서의 리페어부분을 도시한 단면구조도,
제3도는 본 발명에 의한 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조에 있어서의 리페어공정후의 단면구조도.

Claims (7)

  1. 기판상에 형성된 복수개의 버스라인과, 상기 복수개의 버스라인상에 절연막을 개재하여 복수개의 버스라인과 수직으로 교차되어 형성된 리페어라인, 상기 복수개의 버스라인과 상기 리페어라인이 교차되는 부분에 형성되는 리페어영역, 상기 복수개의 버스라인 및 리페어라인 상부에 형성되며, 상기 리페어영역에 개구부를 갖는 패시베이션막을 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조.
  2. 제1항에 있어서, 상기 리페어라인이 상기 리페어영역에 개구부를 갖는 것을 특징으로 하는 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조.
  3. 제1항에 있어서, 상기 리페어라인이 상기 복수개의 버스라인과 리페어라인이 교차되는 부분 근처에 형성되는 것을 특징으로 하는 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조.
  4. 기판 소정영역에 버스라인을 형성하는 단계와, 상기 버스라인이 형성된 기판 전면에 절연막을 형성하는 단계, 상기 절연막 상부에 도전층을 형성하는 단계, 상기 도전층을 소정패턴으로 패터닝하여 박막트랜지스터의 전극부와 버스라인 및 리페어라인을 동시에 형성하는 단계, 상기 기판 전면에 패시베이션막을 형성하는 단계 및 상기 패시베이션막을 선택적으로 식각하여 기판 소정영역의 패드부를 노출시킴과 동시에 소정부분에 개구부를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조 제조방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 도전층을 소정패턴으로 패터닝하여 박막트랜지스터의 전극부와 버스라인 및 리페어라인을 동시에 형성하는 단계에서 상기 리페어라인의 소정부분에서 개구부를 갖도록 패터닝을 행하는 것을 특징으로 하는 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조 제조방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 리페어라인의 개구부는 상기 버스라인과 리페어라인이 교차되는 부분에 형성하는 것을 특징으로 하는 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조 제조방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 패시베이션막의 개구부는 상기 버스라인과 리페어라인이 교차되는 부분에 형성하는 것을 특징으로 하는 리페어라인을 갖는 액정표시장치의 박막트랜지스터 어레이구조 제조방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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KR100765926B1 (ko) * 1999-11-19 2007-10-11 샤프 가부시키가이샤 표시 장치 및 그 결함 복구 방법

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