KR970013245A - 캡슐제 고정을 위해 특별히 구성된 지지부재를 포함하는 반도체 부품 조립체 및 방법 - Google Patents

캡슐제 고정을 위해 특별히 구성된 지지부재를 포함하는 반도체 부품 조립체 및 방법 Download PDF

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Abstract

전체 캡슐화 몰딩 재료를 고정하기 위해 특별히 구성된 지지부재를 포함하는 반도체 부품 패키지가 개시된다. 이 지지부재는 상면과 하면을 연장하고 각 면에는 개구를 정의하는 적어도 하나의 관통공을 포함한다. 이 관통공은 개구들 사이에서의 소정 구성이다. 반도체 다이는 지지부재상에서 지지되고 패키지는 다이와 관통공을 포함하는 지지부재의 캡슐화 부분에 의해 캡슐 재료의 부분이 개구들 사이에 포획되어 지지부재와 전체 캡슐재료 간의 상대적 이동을 제한하도록 형성된다. 제1방법에서, 각 관통공의 소정 구성은 하나 이상의 펀치를 사용하여 형성된다. 제2방법에서, 소정 구성은 에칭에 의해 형성된다. 제3방법에서, 공동이 지지부재에 에칭된다. 공동은 관통공을 형성하도록 정렬될 수도 있다.

Description

캡슐제 고정을 위해 특별히 구성된 지지부재를 포함하는 반도체 부품 조립체 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제4도는 조립체의 지지부재에 형성된 관통공의 상세부를 도시하는 본 발명에 따라 제조된 반도체 부품 조립체의 개략 확대 부분 단면도.

Claims (20)

  1. 상면과 하면을 갖는 지지부재상에 장착되고 패키지 재료로 캡슐화된 IC칩을 포함하는 반도체 부품 패키지 조립체 제조시, 상기 패키지 재료와 상기 지지부재간의 상대적 이동을 제한하는 방법에 있어서, a) 상기 상면 및 하면에 각각 상부개구와 하부개구를 정의하기 위해 상기 지지부재에 소정 구성의 하나 이상의 관통공을 형성하는 단계로서, 상기 관통공의 축을 통해 연장된 하나 이상의 평면에서, 그 평면에서의 각 개구의 단면치수가 그 평면에서의 관통공의 나머지 최대 단면 치수보다 더 작게 하는 단계, b) 상기 칩을 포함하는 상기 지지부재의 부분을 상기 패키지 재료로 상기 관통공이 상기 충전재로 의해 실질적으로 충전되도록 캡슐화하여 경화시 상기 패키지 재료의 부분은 상기 상부 및 하부 개구간의 상기 경화된 전체 패키지 재료간의 상대적 이동을 제한하는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 관통공을 형성하는 단계는 먼저 상기 개구들을 정의하기 위해 상기 상면과 하면 사이에 수직으로 연장하는 통로를 형성하는 단계와, 그 후 상기 통로의 나머지에 비하여 각 개구를 적어도 부분적으로 압축하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 지지부재는 변형가능한 금속으로 이루어지고 각 개구는 상기 통로와 내부에 정의되는 상기 지지부재의 세그먼트를 변형시키는 것에 의해 압축되는 것을 특징으로 하는 방법.
  4. 제3항에 있어서, 상기 세그먼트는 이동하여 상기 상면 또는 상기 하면중 하나와 접촉하고 그후 이동하여 상기 상면 또는 상기 하면중 다른 것과 접촉하며, 상기 펀치는 상기 개구들을 정의하는 상기 세그먼트의 금속의 그 부분을 내방으로 변위시켜 상기 이동동안 상기 펀치가 상기 세그먼트를 변형하는 만큼 개구들을 압축하도록 특별히 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 변형은 상기 압축된 상부 및 하부 개구가 통로에서 최협소점이고 상기 통로가 각 개구로부터 개구들이 실질적인 중간에 위치한 최광역점까지 점진적으로 넓어지도록 상기 통로를 분포시키는 것을 특징으로 하는 방법 .
  6. 제4항에 있어서, 상기 금속이 변위되는 상기 세그먼트의 영역은 상기 펀치들의 이동에 응하여 각 개구주 위에서 각 상면 및 하면내에 요홈을 형성하고, 그 후, 상기 요홈은 상기 캡슐화 단계로만 몰딩 화합물에 의해 충전되어 패키지 재료 경화후 상기 지지부재와 상기 전체 패키지 재료간의 상대적 이동을 더욱 제한하는 것을 특징으로 하는 방법.
  7. 제3항에 있어서, 상기 세그먼트는 펀치들이 서로를 향해 이동할 때 상기 상면을 접촉하는 상부 펀치와 상기 하면을 접촉하는 하부 펀치에 의해 변형되고, 상기 펀치들은 상기 개구들을 정의하는 세그먼트의 부분을 내향으로 포함하는 상기 세그먼트의 금속부분을 협동적으로 변위시켜 상기 펀치들이 상기 이동중에 상기 세그먼트를 변경시킴에 따라 후자를 압축하도록 특별히 구성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 변형은 상기 압축된 상부 및 하부개구가 통로에서 최협소점이고 상기 통로가 각 개구로부터 개구들의 실질적인 중간에 우치한 최광역점까지 점진적으로 넓어지도록 상기 통로를 형상시키는 것을 특징으로 하는 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 금속이 변위되는 상기 세그먼트의 영역은 상기 펀치들의 이동에 응하여 각 개구 주위에서 각 상면 및 하면내에 요홈을 형성하고, 그 후, 상기 요홈은 상기 캡슐화 단계동안 몰딩 화합물에 의해 충전되어 패키지 재료 정화후 상기 지지부재와 상기 전체 패키지 재료간의 상대적 이동을 더욱 제한하는 것을 특징으로 하는 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 관통공은 원형 수평단면을 구비하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 상면과 하면을 갖는 지지부재상에 정착되고 패키지 재료로 캡슐화된 IC칩을 포함하는 반도체 부품 패키지 조립체 제조시, 상기 패키지 재료와 상기 지지부재간의 상대적 이동을 제한하는 방법에 있어서, a) 상기 상면 및 하면에 각각 상부개구와 하부 개구를 형성하기 위해 상기 지지부재에 소정 구성을 갖는 복수개의 공동을 형성하는 단계로서, 각 개구는 최대단면치수가 개구를 정의하며 한 평면에서 하나의 단면 치수를 포함하는 면에 나란하게 취해질 때 공동의 나머지의 최대단면치수보다 작은 개구의 중심을 통해 연장하는 하나 이상의 단면 치수를 포함하는 단계, b) 상기 IC칩과 상기 지지부재의 부분을 상기 패키지 재료로 상기 공동이 상기 패키지 재료에 의해 실질적으로 충전되도록 캡슐화하여 경화시 패키지 재료의 부분은 상기 소정 형상에 의해 각 공동내에 포획되어 상기 지지부재와 상기 경화된 전체 패키지 재료간의 상대적 이동을 제한하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제11항에 있어서, 상기 상면에 개구를 정의하는 하나 이상의 공동과 상기 하면에 개구를 정의하는 다른 공동은 정렬 및 합체하여 지지부재를 통해 연장하는 관통공을 형성하고 상기 관통공은 상기 패키지 재료에 의해 실질적으로 충전되는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제12항에 있어서, 상기 관통공은 애칭에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 방법 .
  14. a) 상면과 하면을 포함하고 상기 상면과 하면 각각에 상부개구와 하부개구를 갖는 하나 이상의 관통공을 정의하며, 상기 관통공은 상기 개구들 사이에 소정 구성을 가져, 상기 관통공의 축을 통해 연장하는 하나 이상의 평면에, 그 평면에서의 각 개구의 하나 이상의 단면 치수는 그 평면에서의 관통공의 나머지의 최대단면치수보다 더 작은 것인 지지부재, b) 상기 지지부재상에 지지된 반도체 다이, c) 상기 다이를 포함하는 상기 지지부재의 부분과 상기 관통공을 캡슐화하는 캡슐재료로서, 상기 재료의 부분이 상기 소정 구성에 의해 상기 개구 및 하부 개구사이에 포획되어 상기 지지부재와 사이 전체 캡슐재료간의 상대적 이동을 제한하는 캡슐재료를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 조립체.
  15. 제14항에 있어서, 상기 관통공은 수직 단면에서 상기 상부개구 및 상기 하부개구의 폭이 상기 상부개구와 상기 하부개구 사이의 어떤점에서의 관통공의 폭보다 더 협소한 것을 특징으로 하는 반도체 부품 조립체.
  16. 제15항에 있어서, 상기 관통공은 상기 상부개구와 상기 하부개구부터 상기 개구들간의 중간에 있는 최광역점까지 점진적으로 넓어지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 조립체.
  17. 제14항에 있어서, 상부 및 하부 요홈이 각 개구주위에서 각 상면 및 하면 내에 형성되고, 그들 요홈들은 상기 캡슐 재료에 의해 충전되어 상기 지지부재와 상기 전체 캡슐 재료간의 상대적 이동을 더욱 제한하는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 조립체.
  18. 제14항에 있어서, 상기 관통공은 원형 수평 단면을 구비하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 조립체.
  19. 제14항에 있어서, 상기 관통공은 슬롯형 수평 단면을 구비하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 조립체.
  20. 제14항에 있어서, 상기 지지부재는 복수의 도전 리드 프레임 리드를 포함하는 리드 프레임이고 하나 이상의 상기 관통공은 각각 상기 리드에 의해 정의되고 각 관통공은 상기 캡슐 재료에 의해 충전되는 것을 특징으로 하는 반도체 부품 조립체.
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