KR970012994A - 반도체장치 - Google Patents
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Abstract
신규한 반도체장치가 개시되어 있다. 내튜브 및 외튜브로 구성된 로와, 상기 로의 저부에 위치하고 상기 외튜브를 지지하고 있는 매니폴드, 및 상기 매니폴드 내에 위치한 타원형의 가스 인젝터를 구비하며, 상기 가스 인젝터에 의해 매니폴드 내의 두 지점 이상에서 가스가 분사된다. 가스분출의 균일성을 개선할 수 있으며, 미립자의 유발을 방지하면서 자연산화막의 성장을 억제할 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 제1실시예에 의한 가스 인젝터를 사용한 가스분출방법을 설명하기 위한 개략도.
Claims (7)
- 내튜브 및 외튜브로 구성된 로; 상기 로의 저부에 위치하고 상기 외튜브를 지지하고 있는 매니폴드; 및 상기 매니폴드 내에 위치한 타원형의 가스 인젝터를 구비하며, 상기 가스 인젝터에 의해 매니폴드 내의 두 지점 이상에서 가스가 분사되는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가스 인젝터는 Sus 316 또는 석영제품중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제1항에 있어서, 상기 가스 인젝터는 링형 또는 원형 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 내튜브 및 외튜브로 구성된 로; 상기 로의 내부에 위치하며, 그 안에 웨이퍼 및 보트가 들어가는 챔버; 상기 로의 저부에 위치하고 상기 외튜브를 지지하고 있는 매니폴드; 및 불활성 가스를 공급하기 위해 상기 매니폴드 내에 위치한 타원형의 가스 인젝터를 구비하며, 상기 가스 인젝터에 의해 상기 웨이퍼 및 보트가 상기 챔버의 높은 온도와 만나는 지점에서 불활성 분위기가 형성되는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제4항에 있어서, 상기 가스 인젝터는 링형 또는 반원형 중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제4항에 있어서, 상기 가스 인젝터는 Sus 316 또는 석영제품중의 어느 하나로 형성된 것을 특징으로 하는 반도체장치.
- 제4항에 있어서, 상기 웨이퍼 및 보트가 상기 챔버 내에 들어가서 일정시간 동안 상기 불활성가스가 분사되는 것을 특징으로 하는 반도체장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950025969A KR970012994A (ko) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 반도체장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950025969A KR970012994A (ko) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 반도체장치 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970012994A true KR970012994A (ko) | 1997-03-29 |
Family
ID=66595387
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950025969A KR970012994A (ko) | 1995-08-22 | 1995-08-22 | 반도체장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970012994A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100273222B1 (ko) * | 1997-08-20 | 2000-12-15 | 김영환 | 반도체 종형 화학기상증착장치 |
-
1995
- 1995-08-22 KR KR1019950025969A patent/KR970012994A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100273222B1 (ko) * | 1997-08-20 | 2000-12-15 | 김영환 | 반도체 종형 화학기상증착장치 |
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