KR960704254A - 방사선 감응성 도료 조성물(radiation-sensitive paint composition) - Google Patents

방사선 감응성 도료 조성물(radiation-sensitive paint composition) Download PDF

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지그프리트 비르클레
카린 프라이스너
한스-위르겐 베스트만
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디터 크리스트, 게르하르트 퀼
지멘스 악티엔게젤샤프트
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Abstract

고용해 표면 구조물을 만들기 위한 방사선 감응성 도료 조성물은
-박막 형성 폴리머
-노출시 산을 방출시키는 방사선 감응성 성분
-방사선 감응성 에스테르 생성제 및
-용매를 함유하는 것을 특징으로 한다.

Description

방사선 감응성 도료 조성물(RADIATION-SENSITIVE PAINT COMPOSITION)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (10)

  1. 고용해 표면 구조물의 제조를 위한 방사선 감응성 도료 조성물이 -박막 형성 폴리머 -노출시 산을 방출시키는 방사선 감응성 성분-방사선 감응성 에스테르 생성제 및 -용매를 함유하는 것을 특징으로 하는 방사선 감응성 도료 조성물.
  2. 제1항에 있어서, 에스테르 생성제가 하기 구조의 디아조케톤인 것을 특징으로 하는 방사선 감응성 도료 조성물;
    상기식에서, R1은 지방족, 방향족, 고리형 또는 헤테로고리형 탄화수소이고 R2는 수소 또는 R1임.
  3. 제1항 또는 2항에 있어서, 방사선 감응성 에스테르 생성제의 양은 방사선 감응성 성분에 대해 1내지 200 몰%인 것을 특징으로 하는 방사선 감응성 도료 조성물.
  4. 제1항 내지 3항중 어느 한 항에 있어서, 방사성 감응성 성분이 디아조디카르보닐 화합물, 디아조퀴논, 크리벨로염 또는 니트로벤질토실 레이트인 것을 특징으로 하는 방사신 감응성 도료 조성물.
  5. 제1항 내지 4항 중 어느 한 항에 있어서, 폴리머가 산에 불안정한 기를 포함하며 특히 3차-부톡시 카르보닐말레인이미드로부터 유도된 유니트를 가진 공중합체 또는 티폴리머인 것을 특징으로 하는 방사선 감응성 도료 조성물.
  6. 제1항 내지 5항 중 어느 한 하에 따른 방사선 감응성 도료 조성물을 기판상에 제공하여 건조시킴으로써 방사선 감응성 도료층을 생성시키는 단계, 도료층을 상에 따라 노출시킴으로써 도료층에 잠재적 상을 만드는 단계, 노출된 도료층을 현상제로 처리한 다음 건조시킴으로써 잠재적 상을 표면 구조물로 바꾸는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 고용해 표면구조물의 제조방법.
  7. 제6항에 있어서, 상에 따른 노출 후에 도료층을 탬퍼링시키는 것을 특징으로 하는 고용해 표면 구조물의 제조 방법.
  8. 제6항 또는 7항에 있어서, 상에 따른 노출 후에 또는 탬퍼링후에 도료층을 규화제로 처리하는 것을 특징으로 하는 고용해 표면 구조물의 제조 방법.
  9. 제6항 또는 7항에 있어서, 건조 후에 도료층을 규화제로 처리하는 것을 특징으로 하는 고용해 표면 구조물의 제조 방법.
  10. 제6항 내지 9항중 어느 한 항에 있어서, 상에 따른 노출 후에 또는 탬퍼링 후에 도료층을 단파장의 방사선으로 전체 노출시키는 것을 특징으로 하는 고용해 표면 구조물의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960700127A 1993-07-12 1994-06-28 방사선 감수성 레지스트 조성물 KR100300935B1 (ko)

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