KR960704218A - 누출 검색장치용 테스트 가스 검출기 및 그 테스트 가스 검출기의 작동 방법(test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind) - Google Patents

누출 검색장치용 테스트 가스 검출기 및 그 테스트 가스 검출기의 작동 방법(test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind)

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KR960704218A
KR960704218A KR1019960700591A KR19960700591A KR960704218A KR 960704218 A KR960704218 A KR 960704218A KR 1019960700591 A KR1019960700591 A KR 1019960700591A KR 19960700591 A KR19960700591 A KR 19960700591A KR 960704218 A KR960704218 A KR 960704218A
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울리히 되블러
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파울 바흐만, 우도 벡
라이볼트 악티엔게젤샤프트
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Abstract

본 발명은 특히 테스트 가스를 투과시키는 선택적 유입 시스템(6) 및 테스트 가스의 존재 여부를 레지스터 하는 장치(5)를 포함하는, 누출 검색장치용 테스트 가스 검출기에 관한 것이다.
진공의 발생에 필요한 비용을 줄이기 위해서, 테스트 가스 기록 장치(5)가 배기된 진공계(8)를 포함한다.

Description

누출 검색장치용 테스트 가스 검출기 및 그 테스트 가스 검출기의 작동 방법(TEST GAS DETECTOR, PREFERABLY FOR LEAK DETECTORS, AND PROCESS FOR OPERATING A TEST GAS DETECTOR OF THIS KIND)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 테스트 가스 검출기를 가진 누출 검색장치를 나타낸 개략도,
제2도는 선택적 유입시스템 및 전리 진공계에 대한 실시예를 나타낸 도면,
제3도는 테스트 가스 검출기 앞쪽에 지지된 탄화수소 차단 부재를 갖는 제1도에 따른 누출검색기에 대한 개략도.

Claims (16)

  1. 특히 테스트 가스를 투과시키는 선택적 유입 시스템(6) 및 테스트 가스의 존재 여부를 레지스터하는 장치(5)를 포함하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기에 있어서, 테스트 가스 기록 장치(5)가 배기된 진공계(8)를 포함하는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  2. 제1항에 있어서, 배기된 진공계(8)가 전리 진공계, 바람직하게는 저온 캐소드 전리 진공계인 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 선택적 유입 시스템(6),(7)에 연결되고 진공계(8)의 내부를 포함하는 측정실(9)이 가능한 한 작은 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  4. 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 진공계(8) 또는 측정실(9)내에 게터 물질이 제공되는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  5. 제4항에 있어서, 게터 물질이 모든 가스-테스트 가스를 포함해서-를 펌핑하는 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  6. 제1항 내지 제5항에 있어서, 석영 유리층(7)이 선택적 유입 시스템(6)의 구성요소이고, 상기 석영 유리층이 소결된 재료로 구성된 지지체 상에 제공되는, 바람직하게는 증착되는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  7. 제6항에 있어서, 지지체가 가열될 수 있는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  8. 제1항 내지 제5항에 있어서, 중합체 박막이 선택적 유입 시스템(6)의 구성요소인 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  9. 제1항 내지 8항에 있어서, 탄화수소 차단 부재가 유입 시스템(6) 앞에 지지되는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  10. 제9항에 있어서, 탄화수소 차단 부재가 코올드 트랩 또는 마찰 펌프로서, 바람직하게는 터보 분자 진공 펌프로서 형성된 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  11. 상기 항중의 어느 한 항에 있어서, 전리 진공계(8)로부터 공급된 신호를 처리하기 위해 고감도의 전류-전압 변환기, 바람직하게는 미분 증폭기가 제공되는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
  12. 선택적 유입 시스템(6) 및 테스트 가스의 존재 여부를 레지스터하는 장치(5)를 포함하는 테스트 가스 검출기의 작동 방법에 있어서, 측정 신호를 형성하는데 충분한 양의 테스트 가스가 통과한 후 유입시스템이 차단되는 것을 특징으로 하는 테스트 가스 검출기의 작동방법.
  13. 제12항에 있어서, 가열할 수 있는 석영 유리층을 포함하는 선택적 유입 시스템(6)을 포함하며, 측정 신호를 형성하는데 충분한 양의 테스트 가스가 통과한 후 가열의 차단을 통해 유입 시스템(6)이 차단되는 것을 특징으로 하는 테스트 가스 검출기의 작동방법.
  14. 선택적 유입 시스템(6) 및 그 앞에 지지된 진공화 가능한 측정실을 포함하는 테스트 가스 검출기의 작동 방법에 있어서, 측정값이 측정되지 않는 시간 동안 유입 시스템(6)앞에 있는 측정실에 진공이 발생되는 것을 특징으로 하는 테스트 가스 검출기의 작동방법.
  15. 제14항에 있어서, 가열할 수 있는 석영 유리층을 포함하는 선택적 유입 시스템(6)(7)을 포함하며, 유입구(6)앞에 있는 측정실에 진공을 발생시키는 동안 석영 유리층이 가열되는 것을 특징으로 하는 테스트 가스 검출기의 작동방법.
  16. ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960700591A 1993-08-05 1994-07-14 누출 검색장치용 테스트 가스 검출기 및 그 테스트 가스 검출기의 작동 방법(test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind) KR960704218A (ko)

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