KR960704218A - 누출 검색장치용 테스트 가스 검출기 및 그 테스트 가스 검출기의 작동 방법(test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind) - Google Patents
누출 검색장치용 테스트 가스 검출기 및 그 테스트 가스 검출기의 작동 방법(test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind)Info
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Abstract
본 발명은 특히 테스트 가스를 투과시키는 선택적 유입 시스템(6) 및 테스트 가스의 존재 여부를 레지스터 하는 장치(5)를 포함하는, 누출 검색장치용 테스트 가스 검출기에 관한 것이다.
진공의 발생에 필요한 비용을 줄이기 위해서, 테스트 가스 기록 장치(5)가 배기된 진공계(8)를 포함한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 테스트 가스 검출기를 가진 누출 검색장치를 나타낸 개략도,
제2도는 선택적 유입시스템 및 전리 진공계에 대한 실시예를 나타낸 도면,
제3도는 테스트 가스 검출기 앞쪽에 지지된 탄화수소 차단 부재를 갖는 제1도에 따른 누출검색기에 대한 개략도.
Claims (16)
- 특히 테스트 가스를 투과시키는 선택적 유입 시스템(6) 및 테스트 가스의 존재 여부를 레지스터하는 장치(5)를 포함하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기에 있어서, 테스트 가스 기록 장치(5)가 배기된 진공계(8)를 포함하는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제1항에 있어서, 배기된 진공계(8)가 전리 진공계, 바람직하게는 저온 캐소드 전리 진공계인 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 선택적 유입 시스템(6),(7)에 연결되고 진공계(8)의 내부를 포함하는 측정실(9)이 가능한 한 작은 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제1항, 제2항 또는 제3항에 있어서, 진공계(8) 또는 측정실(9)내에 게터 물질이 제공되는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제4항에 있어서, 게터 물질이 모든 가스-테스트 가스를 포함해서-를 펌핑하는 특성을 갖는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제1항 내지 제5항에 있어서, 석영 유리층(7)이 선택적 유입 시스템(6)의 구성요소이고, 상기 석영 유리층이 소결된 재료로 구성된 지지체 상에 제공되는, 바람직하게는 증착되는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제6항에 있어서, 지지체가 가열될 수 있는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제1항 내지 제5항에 있어서, 중합체 박막이 선택적 유입 시스템(6)의 구성요소인 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제1항 내지 8항에 있어서, 탄화수소 차단 부재가 유입 시스템(6) 앞에 지지되는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 제9항에 있어서, 탄화수소 차단 부재가 코올드 트랩 또는 마찰 펌프로서, 바람직하게는 터보 분자 진공 펌프로서 형성된 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 상기 항중의 어느 한 항에 있어서, 전리 진공계(8)로부터 공급된 신호를 처리하기 위해 고감도의 전류-전압 변환기, 바람직하게는 미분 증폭기가 제공되는 것을 특징으로 하는 누출 검색 장치용 테스트 가스 검출기.
- 선택적 유입 시스템(6) 및 테스트 가스의 존재 여부를 레지스터하는 장치(5)를 포함하는 테스트 가스 검출기의 작동 방법에 있어서, 측정 신호를 형성하는데 충분한 양의 테스트 가스가 통과한 후 유입시스템이 차단되는 것을 특징으로 하는 테스트 가스 검출기의 작동방법.
- 제12항에 있어서, 가열할 수 있는 석영 유리층을 포함하는 선택적 유입 시스템(6)을 포함하며, 측정 신호를 형성하는데 충분한 양의 테스트 가스가 통과한 후 가열의 차단을 통해 유입 시스템(6)이 차단되는 것을 특징으로 하는 테스트 가스 검출기의 작동방법.
- 선택적 유입 시스템(6) 및 그 앞에 지지된 진공화 가능한 측정실을 포함하는 테스트 가스 검출기의 작동 방법에 있어서, 측정값이 측정되지 않는 시간 동안 유입 시스템(6)앞에 있는 측정실에 진공이 발생되는 것을 특징으로 하는 테스트 가스 검출기의 작동방법.
- 제14항에 있어서, 가열할 수 있는 석영 유리층을 포함하는 선택적 유입 시스템(6)(7)을 포함하며, 유입구(6)앞에 있는 측정실에 진공을 발생시키는 동안 석영 유리층이 가열되는 것을 특징으로 하는 테스트 가스 검출기의 작동방법.
- ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E601 | Decision to refuse application |