RU1795321C - Способ обнаружени течи в вакууме - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к способам проверки вакуумных систем и устройств на герметичность и позвол ет повысить точность локализации течи и снизить энергозатраты. Создают вакуум в высоковакуумной системе . Осуществл ют подогрев газа (воздуха) вблизи элементов вакуумной системы, либо их обдув нагретым газом, что вызывает увеличение проводимости канала течи и изменение вакуума в системе. По изменению показаний вакуумметра делают вывод о на- . личии течи.

Description

: Изобретение относитс  к област м техники , св занным с получением высокого вакуума и может быть использовано дл  проверки вакуумных систем и устройств на герметичность.

Известны способы обнаружени  течи вакуумных систем, основанные на использовании пробного газа или летучей жидкости . Дл  обнаружени  течи отдельные элементы вакуумной системы помещают в пластиковый чехол, заполн емый пробным , или производ т обдув уплотнений и элементов системы тонкой струей пробного газа. В качестве пробного используют газ, который при замещении воздуха обеспечивает максимальное изменение сигнала, регистрируемого вакуумметром. Прошедший сквозь течь газ регистрируетс  либо имеющимс  внутри системы датчиком, чувствительность которого зависит от рода газа, либо с использованием специальных устройств - течеискателей.

Необходимость выбора и использование пробного газа  вл етс  оснцвным недостатком известных методов обнаружени  течи. Выбор газа зависит от проницаемости, относительной чувствительности датчика по отношению к воздуху и пробному газу, и быстроты их удалени  из системы, что, в свою очередь, определ етс  типом используемого в системе насоса.

Наиболее близким к предлагаемому  вл етс  способ обнаружени  течи в вакуумных системах, заключающийс  в том, что в камере с испытуемой системой создают вакуум , подают пробный газ, производ т нагрев участков издели  и по изменению давлени  пробного газа суд т о наличии течи в системе.

Недостатком данного способа  вл ютс  сложность, большие временные и энергетические затраты, требуемые дл  прогрева от- дельных участков издели , и низка  точность локализации течи.

V|

ю

СП

ю

 геД

Цель изобретени  - повышение точности локализации течи, упрощение и снижение энергозатрат при обнаружении течи в вакуумных системах.

Поставленна  цель достигаетс  тем, что в известном способе обнаружени  течи в вакуумных сиатфиздвместо нагрева отдельных узлов (участков) системы осуществл ют подогрев газа (воздуха) вблизи элементов вакуумной системы, либо их обдув нагретым газом (воздухом). Действительно, в услови х молекул рного течени  поток газа через канал, диаметр которого много меньше длины свободного пробега, пр мо пропорционален площади канала и разницы давлений ДР

Q С S АР,

где С - коэффициент проводимости канала.

Исход  из уравнени  состо ни  и кине- тической теории газов, определ ющей среднюю скорость и частотуударов молекул газа о поверхность единичной площади:

Q(kT/2rcm)1/2SAP,

где К - посто нна  Больцмана, Т тура, m - масса молекулы газа.

темпераСледовательно коэффициент проводимости равен;

0

5

0

5

)2(X,i/2

0

m

и при прочих равных услови х проводимость канала пропорциональна Т .

Таким образом, повышение температуры атмосферного воздуха вблизи отверсти  или обдув нагретым газом вызовет увеличение проводимости канала, что приведет к изменению вакуума в системе и показаний вакуумметра.

Локализацию течи провод т обдувом узла тонкой струей гор чего газа, либо локальным разогревом воздуха вблизи тестируемой поверхности или уплотнени , например, с помощью электропа льника,

Использование способа наиболее эффективно дл  высоковакуумных установок с остаточным давлением не более Па, имеющих, по крайней мере, один вакуумметр и собственные нагревательные элементы .

Использование предлагаемого способа позвол ет исключить нагрев отдельных узлов системы, существенно упростить процедуру обнаружени  течи, снизить энергозатраты и повысить точность локализации течи.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Способ обнаружени  течи в вакууме, заключающийс  в том, что по одну сторону стенки издели  создают вакуум, по другую подают газ, осуществл ют нагрев и по изменению давлени  газа в вакууме суд т о наличии течи, отличающийс  тем, что, с целью повышени  точности локализации течи и снижени  энергозатрат при обнаружении течи в высоковакуумных системах, нагреву подвергают газ, подаваемый к изделию .