JPS6324136A - 漏れ検出器 - Google Patents
漏れ検出器Info
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- JPS6324136A JPS6324136A JP62112252A JP11225287A JPS6324136A JP S6324136 A JPS6324136 A JP S6324136A JP 62112252 A JP62112252 A JP 62112252A JP 11225287 A JP11225287 A JP 11225287A JP S6324136 A JPS6324136 A JP S6324136A
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明はガス漏れ検知器、特に検査ガスの存在に感応す
る質量分析計を使用する検知器に関する。
る質量分析計を使用する検知器に関する。
本発明は主として持ち運び可能であるか又は例えば漏れ
をしらべようとする室や囲いを使用した装置の外部に又
はその中に取付けるため一体ユニットとして作った漏れ
検知器に関する。
をしらべようとする室や囲いを使用した装置の外部に又
はその中に取付けるため一体ユニットとして作った漏れ
検知器に関する。
（従来の技術）
物品の一方の表面にヘリウムのようなサーチガスを使用
することにより且つ反対側の面に貫通するかも知れない
任意のサーチガスの存在を検知するため例えば質量分析
計のような真空検知器を使用することによって物品の漏
れ検査をすることが知られている。
することにより且つ反対側の面に貫通するかも知れない
任意のサーチガスの存在を検知するため例えば質量分析
計のような真空検知器を使用することによって物品の漏
れ検査をすることが知られている。
例えばサーチガスが検査中の物品例えば室の外側を包む
ように施され、その室の内側は排出すなわち排気され、
質量分析器に連通している。またその代りに、サーチガ
スを高圧のもとにテスト中の容器の内側に送り、質量分
析計に連結した排気針を容器の外表面に施しても良い。
ように施され、その室の内側は排出すなわち排気され、
質量分析器に連通している。またその代りに、サーチガ
スを高圧のもとにテスト中の容器の内側に送り、質量分
析計に連結した排気針を容器の外表面に施しても良い。
それぞれの場合に質量分析計は使用するヘリウム等のサ
ーチガスに感応して漏れを表示する。
ーチガスに感応して漏れを表示する。
（発明が解決しようとする問題点）
充分な成果を得るために質量分析計は例えば］、 Ｏ−
’ｍｂａｒのような低圧で作動すべきであり、このよう
な低圧は検査中の物品の中から放出されるかも知れない
揮発性炭化水素のような汚染物や水蒸気のような凝縮性
蒸気が存在する場合に得ること又は保持することが困難
であるかも知れない。
’ｍｂａｒのような低圧で作動すべきであり、このよう
な低圧は検査中の物品の中から放出されるかも知れない
揮発性炭化水素のような汚染物や水蒸気のような凝縮性
蒸気が存在する場合に得ること又は保持することが困難
であるかも知れない。
凝縮性蒸気が漏れ検知器として使用している質量分析計
に到達するのを防止するための多くの方法が提案されて
きた。このような一つの方法においてこのような蒸気を
凝縮させるため検査中の室と質量分析計との間に低温表
面を配置している。
に到達するのを防止するための多くの方法が提案されて
きた。このような一つの方法においてこのような蒸気を
凝縮させるため検査中の室と質量分析計との間に低温表
面を配置している。
この低温表面はつめたいトラップや室の形状をしている
かも知れないが、質量分析計の入口に配置され且つ液体
窒素のような低温液体によって冷却される。しかしこの
方法の欠点は低温液体を絶えず供給する必要があること
であり、この低温液体は取扱いが困難であり且つ不便で
ありまた貯蔵の問題があり、またこの方法は凝縮した蒸
気を低圧装置が永久的に除去できないか又はこのような
蒸気を不活性にできない欠点がある。
かも知れないが、質量分析計の入口に配置され且つ液体
窒素のような低温液体によって冷却される。しかしこの
方法の欠点は低温液体を絶えず供給する必要があること
であり、この低温液体は取扱いが困難であり且つ不便で
ありまた貯蔵の問題があり、またこの方法は凝縮した蒸
気を低圧装置が永久的に除去できないか又はこのような
蒸気を不活性にできない欠点がある。
機械的ポンプによって援助されている主蒸気拡散ポンプ
によって検査中の室を排気するようになった別の方法に
おいて、前記拡散ポンプはヘリウムに対しては低い圧縮
率を有し、空気と水蒸気は効率良く排出するように設計
しである。テスト中の室は主ポンプとバッキングポンプ
の間に連結される。またその代りにターボ分子ポンプで
あっても良い主ポンプが質量分析計から空気と凝縮性蒸
気の両方を排出し、ヘリウムは室から質量分析計に後戻
りされる。この作動方法はテスト室の中を０．７ｍｂａ
ｒまで昇圧して漏れテストを行わせる。しかしテストの
感度が上述の通常の方法にくらべて低く、また感応時間
がバッキングポンプによって変るので長くなり、更に性
能が拡散ポンプヒーターの人力に非常に鋭敏である。
によって検査中の室を排気するようになった別の方法に
おいて、前記拡散ポンプはヘリウムに対しては低い圧縮
率を有し、空気と水蒸気は効率良く排出するように設計
しである。テスト中の室は主ポンプとバッキングポンプ
の間に連結される。またその代りにターボ分子ポンプで
あっても良い主ポンプが質量分析計から空気と凝縮性蒸
気の両方を排出し、ヘリウムは室から質量分析計に後戻
りされる。この作動方法はテスト室の中を０．７ｍｂａ
ｒまで昇圧して漏れテストを行わせる。しかしテストの
感度が上述の通常の方法にくらべて低く、また感応時間
がバッキングポンプによって変るので長くなり、更に性
能が拡散ポンプヒーターの人力に非常に鋭敏である。
（問題点を解決するための手段）
本発明の目的は最適の作動圧力を最良に維持できるガス
漏れ検知器を作ることである。
漏れ検知器を作ることである。
したがって本発明はその最も広い見方によれば、検査中
の物品を通って漏れるサーチガスに感応するサーチガス
検知器を排気するための補助ポンプ装置と一緒に、検査
中の物品を主として排気するポンプ装置を含む、物品を
通るサーチガスの漏れを真空検知器で検査することによ
り物品を漏れ検査する装置を提供する。
の物品を通って漏れるサーチガスに感応するサーチガス
検知器を排気するための補助ポンプ装置と一緒に、検査
中の物品を主として排気するポンプ装置を含む、物品を
通るサーチガスの漏れを真空検知器で検査することによ
り物品を漏れ検査する装置を提供する。
検査中の物品を主として排気するポンプシステムは公知
の拡散ポンプを簡便に使用し且つ拡散ポンプとバッキン
グポンプの公知の組合せも包含する。
の拡散ポンプを簡便に使用し且つ拡散ポンプとバッキン
グポンプの公知の組合せも包含する。
また理想的には前記補助ポンプは物品排気システムのバ
ッキングポンプにより又は別個のバッキングポンプによ
り排気される公知の種類の拡散ポンプを包含する。本発
明の別の実施例において、前記拡散ポンプをターボ分子
ポンプに代えても良い。
ッキングポンプにより又は別個のバッキングポンプによ
り排気される公知の種類の拡散ポンプを包含する。本発
明の別の実施例において、前記拡散ポンプをターボ分子
ポンプに代えても良い。
前記サーチガス検知器は公知の型式の質量分析計が適し
ている。
ている。
（実施例）
添付図面を参照しながら特に実施例について本発明を説
明する。
明する。
図面を参照すれば全体を２で示す漏れ検知器はハウジン
グ４の中に一体に作られた可搬式の漏れ検知器である。
グ４の中に一体に作られた可搬式の漏れ検知器である。
また、前記漏れ検知器２をガス漏れ検査しようとする囲
い又は室６を含んだシステムに取付けるようにしても良
い。
い又は室６を含んだシステムに取付けるようにしても良
い。
前記漏れ検知器２は当業者には公知の方法で室６に連結
するようになった多目的の入口８をハウジング４の外側
に備えている。入口８は検査バルブ１４によって漏れ検
知器に連結する前に室６を先づ荒引きするための荒引き
ポンプ１２に荒引きバルブ１０によって連結される。荒
引き作業中荒引きバルブ１０は開かれ、テストバルブ１
４は閉じている。
するようになった多目的の入口８をハウジング４の外側
に備えている。入口８は検査バルブ１４によって漏れ検
知器に連結する前に室６を先づ荒引きするための荒引き
ポンプ１２に荒引きバルブ１０によって連結される。荒
引き作業中荒引きバルブ１０は開かれ、テストバルブ１
４は閉じている。
テストバルブ１４に漏れ検知器が連結されている。漏れ
検知器は検査バルブ１４によって室６に連結され且つバ
ッキングポンプ１８によって排出される拡散ポンプ又は
ターボ分子ポンプ１６を包含している。拡散ポンプ１６
は検査バルブ１４を通じて室６に直接連結されることに
よって該室６を主として排気する。
検知器は検査バルブ１４によって室６に連結され且つバ
ッキングポンプ１８によって排出される拡散ポンプ又は
ターボ分子ポンプ１６を包含している。拡散ポンプ１６
は検査バルブ１４を通じて室６に直接連結されることに
よって該室６を主として排気する。
また補助の拡散ポンプ２２が絞り孔２０を通じて検査バ
ルブ１４に連結され、本実施例において前記補助拡散ポ
ンプ２２はバッキングポンプ１８によって排出されてい
るが、そのかわりに独立のバッキングポンプや荒引きポ
ンプ１２で排気しても良い。
ルブ１４に連結され、本実施例において前記補助拡散ポ
ンプ２２はバッキングポンプ１８によって排出されてい
るが、そのかわりに独立のバッキングポンプや荒引きポ
ンプ１２で排気しても良い。
室６の中に又は室６の周りに存在する検知ガスに感応す
る質量分析計の漏れ検知器２４に対し拡散ポンプ２２が
直接連結されている。
る質量分析計の漏れ検知器２４に対し拡散ポンプ２２が
直接連結されている。
前記絞り孔２０の大きさは拡散ポンプ２２が質量分析計
２４を主として排気して、例えば室６の中にガスが過剰
に漏れることにより又は室６の壁からガスが放出するこ
とによってできる室６内のガス圧の増加がそれに応じて
質量分析計２４内のガス圧を増大させないような大きさ
である。したがって本発明は質量分析計２４の中のガス
圧を最適値、なるべく １０−’ｍｂａｒ以下に、室６
内のガス圧の浮動に無関係に保持できる。
２４を主として排気して、例えば室６の中にガスが過剰
に漏れることにより又は室６の壁からガスが放出するこ
とによってできる室６内のガス圧の増加がそれに応じて
質量分析計２４内のガス圧を増大させないような大きさ
である。したがって本発明は質量分析計２４の中のガス
圧を最適値、なるべく １０−’ｍｂａｒ以下に、室６
内のガス圧の浮動に無関係に保持できる。
本発明を使用することによって、室６の中の割合高いガ
ス圧に無関係に質量分析計２４内に最適圧のガスを維持
する必要があるポンプ装置の大きさを顕著に小さくする
ことができる。例えば通常の質量分析計漏れ検知器にお
いて毎秒１００リツトルの吐出し速度を有する１個の拡
散ポンプを、それぞれ僅か毎秒１０リツトルの吐出し速
度を有する２個の拡散ポンプにかえることができる。
ス圧に無関係に質量分析計２４内に最適圧のガスを維持
する必要があるポンプ装置の大きさを顕著に小さくする
ことができる。例えば通常の質量分析計漏れ検知器にお
いて毎秒１００リツトルの吐出し速度を有する１個の拡
散ポンプを、それぞれ僅か毎秒１０リツトルの吐出し速
度を有する２個の拡散ポンプにかえることができる。
本発明の漏れ検知器は質量分析計そのものの中に一定の
低い圧力を維持しながら低回で性能の良いポンプ装置を
使用可能ならしめることが分る。
低い圧力を維持しながら低回で性能の良いポンプ装置を
使用可能ならしめることが分る。
独立した漏れ検知器ユニットに２個の拡散ポンプや類似
のポンプを使用することによって前記ユニットを一層簡
潔な構造にすることができ、したがって−層容易に持ち
運び出来又は既存の装置に取付けできるようになる。
のポンプを使用することによって前記ユニットを一層簡
潔な構造にすることができ、したがって−層容易に持ち
運び出来又は既存の装置に取付けできるようになる。
図は本発明の２個のポンプを使用した可搬式質量分析計
漏れ検知器ユニットの略図である。 ２・・・漏れ検知器、 ４・・・ハウジング、 ６・・・室、 ８・・・入口、 １０・・・荒引きバルブ、 １２・・・荒引きポンプ、 １４・・・テストバルブ、 １６・・・拡散ポンプ、 １８・・・バッキングポンプ、 ２０・・・制限孔、 ２２・・・補助拡散ポンプ、 ２４・・・質量分析計。 手続補正書く方式） 昭和 年 月 日
漏れ検知器ユニットの略図である。 ２・・・漏れ検知器、 ４・・・ハウジング、 ６・・・室、 ８・・・入口、 １０・・・荒引きバルブ、 １２・・・荒引きポンプ、 １４・・・テストバルブ、 １６・・・拡散ポンプ、 １８・・・バッキングポンプ、 ２０・・・制限孔、 ２２・・・補助拡散ポンプ、 ２４・・・質量分析計。 手続補正書く方式） 昭和 年 月 日
Claims (11)
- （１）物品を通過するサーチガスの漏れを真空検知器で
検出することにより物品を漏れ検査するための装置であ
って、物品から漏れるサーチガスに感応してサーチガス
検出器を排気するための補助ポンプ装置と一緒になって
、検査中、主として物品を排気するためのポンプ装置を
含むことを特徴とする装置。 - （２）検査中物品を排気するためのポンプ装置とサーチ
ガス検知器を排気するための補助ポンプ装置とは、ガス
を流すことができるように連結されている、特許請求の
範囲第（１）項記載の装置。 - （３）前記ポンプ装置と補助ポンプ装置は実質的にそれ
ぞれ検査中の物品の入口及びサーチガス検知器の入口で
連結されている特許請求の範囲第（２）項記載の装置。 - （４）前記ポンプ装置と補助ポンプ装置は絞り孔を介し
て連結されている特許請求の範囲第（３）項記載の装置
。 - （５）前記絞り孔の大きさは検査中の室内のガス圧の上
昇がそれと対応したサーチガス検知器の内部のガス圧の
上昇を発生させないように寸法決めされている、特許請
求の範囲第（４）項記載の装置。 - （６）前記ポンプ装置と前記補助ポンプ装置は本装置の
ハウジングの中に入れられている特許請求の範囲第（１
）〜（５）項のうちいづれか１項に記載の装置。 - （７）前記ポンプ装置は拡散ポンプ又はターボ分子ポン
プを含む、特許請求の範囲第（１）〜（６）項のうちい
づれか１項に記載の装置。 - （８）前記補助ポンプ装置は拡散ポンプ又はターボ分子
ポンプを含む、特許請求の範囲第（１）〜第（６）項の
いづれか１項に記載の装置。 - （９）前記拡散ポンプ又はターボ分子ポンプが荒引きポ
ンプによって補助されている、特許請求の範囲第（７）
項又は第（８）項記載の装置。 - （１０）サーチガス検知器を最初排出するため独立の荒
引きポンプを設けた、特許請求の範囲第（９）項記載の
装置。 - （１１）前記サーチガス検知器が質量分析計である、特
許請求の範囲第（１）〜（１０）項のうちいづれか１項
に記載の装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB8611364A GB2190204B (en) | 1986-05-09 | 1986-05-09 | Improvement in leak detectors |
| GB8611364 | 1986-05-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6324136A true JPS6324136A (ja) | 1988-02-01 |
Family
ID=10597604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62112252A Pending JPS6324136A (ja) | 1986-05-09 | 1987-05-08 | 漏れ検出器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4776207A (ja) |
| JP (1) | JPS6324136A (ja) |
| DE (1) | DE3715452C2 (ja) |
| GB (1) | GB2190204B (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2653558B1 (fr) * | 1989-10-23 | 1994-06-10 | Cit Alcatel | Systeme de detection de fuites a gaz traceur. |
| FR2658292B1 (fr) * | 1990-02-09 | 1994-09-16 | Cit Alcatel | Detecteur de fuite a helium fonctionnant a contre-courant, portable pour tester une enceinte possedant son propre groupe de pompage. |
| FR2666410B1 (fr) * | 1990-09-05 | 1993-10-08 | Alcatel Cit | Detecteur de fuite haut flux a trois filtres moleculaires. |
| US5345814A (en) * | 1990-12-28 | 1994-09-13 | Whirlpool Corporation | Method and apparatus for testing vacuum insulation panel quality |
| DE4140366A1 (de) * | 1991-12-07 | 1993-06-09 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | Lecksucher fuer vakuumanlagen sowie verfahren zur durchfuehrung der lecksuche an vakuumanlagen |
| JP2825172B2 (ja) * | 1992-07-10 | 1998-11-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 減圧処理装置および減圧処理方法 |
| DE4228149A1 (de) * | 1992-08-25 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Vakuum-Meßgerät für die integrale Dichtigkeitskontrolle mit leichten Gasen |
| DE4228313A1 (de) * | 1992-08-26 | 1994-03-03 | Leybold Ag | Gegenstrom-Lecksucher mit Hochvakuumpumpe |
| US5317900A (en) * | 1992-10-02 | 1994-06-07 | The Lyle E. & Barbara L. Bergquist Trust | Ultrasensitive helium leak detector for large systems |
| DE4326264A1 (de) * | 1993-08-05 | 1995-02-09 | Leybold Ag | Testgasdetektor mit Vakuumpumpe sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
| JP2655315B2 (ja) * | 1994-06-29 | 1997-09-17 | 日本真空技術株式会社 | 複合分子ポンプを使用した漏洩探知装置 |
| ES2192568T3 (es) * | 1994-12-23 | 2003-10-16 | Unaxis Balzers Ag | Procedimiento para el analisis de gases y analizador de gases. |
| DE19522466A1 (de) * | 1995-06-21 | 1997-01-02 | Leybold Ag | Lecksuchgerät mit Vorvakuumpumpe |
| DE19638506A1 (de) * | 1996-09-20 | 1998-03-26 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zur Untersuchung einer Mehrzahl ähnlicher Prüflinge auf Lecks sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Lecksucher |
| US5767391A (en) * | 1996-11-25 | 1998-06-16 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd | Leakage detect tool for vacuum bellows |
| FR2761776B1 (fr) * | 1997-04-03 | 1999-07-23 | Alsthom Cge Alcatel | Detecteur de fuite a gaz traceur |
| US6769288B2 (en) * | 2002-11-01 | 2004-08-03 | Peak Sensor Systems Llc | Method and assembly for detecting a leak in a plasma system |
| DE102009010064A1 (de) * | 2009-02-21 | 2010-08-26 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher |
| US9429494B1 (en) | 2012-11-21 | 2016-08-30 | Western Digital Technologies, Inc. | Leakage test method for a hermetically sealed disk drive enclosure |
| RU2728323C1 (ru) * | 2019-12-05 | 2020-07-29 | Акционерное общество "Научно-исследовательский технологический институт им. П.И. Снегирева" | Способ контроля герметичности изделий |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835434A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-02 | Shimadzu Corp | リ−クデテクタ |
Family Cites Families (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1047204A (ja) * | 1964-05-26 | 1900-01-01 | ||
| US3591827A (en) * | 1967-11-29 | 1971-07-06 | Andar Iti Inc | Ion-pumped mass spectrometer leak detector apparatus and method and ion pump therefor |
| US3690151A (en) * | 1968-07-25 | 1972-09-12 | Norton Co | Leak detector |
| US3626760A (en) * | 1969-07-16 | 1971-12-14 | Varian Associates | Leak detection cyclic pumping control |
| US3616680A (en) * | 1969-10-27 | 1971-11-02 | Sargent Welch Scientific Co | Leak detector |
| US3762212A (en) * | 1971-07-15 | 1973-10-02 | Advanced Technologies Inc | Leak testing apparatus and methods |
| GB1382720A (en) * | 1971-09-24 | 1975-02-05 | Varian Associates | Leak detecting system and method for passing a measured sample of gas to a leak detector |
| US4472962A (en) * | 1981-08-03 | 1984-09-25 | Balzers Aktiengesellschaft | Low pressure leak detector |
| US4499752A (en) * | 1983-06-22 | 1985-02-19 | Varian Associates, Inc. | Counterflow leak detector with cold trap |
| US4608866A (en) * | 1985-03-13 | 1986-09-02 | Martin Marietta Corporation | Small component helium leak detector |
-
1986
- 1986-05-09 GB GB8611364A patent/GB2190204B/en not_active Expired - Fee Related
-
1987
- 1987-05-07 US US07/047,234 patent/US4776207A/en not_active Expired - Lifetime
- 1987-05-08 JP JP62112252A patent/JPS6324136A/ja active Pending
- 1987-05-08 DE DE3715452A patent/DE3715452C2/de not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5835434A (ja) * | 1981-08-26 | 1983-03-02 | Shimadzu Corp | リ−クデテクタ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4776207A (en) | 1988-10-11 |
| GB2190204B (en) | 1990-10-17 |
| DE3715452A1 (de) | 1987-11-19 |
| GB8611364D0 (en) | 1986-06-18 |
| GB2190204A (en) | 1987-11-11 |
| DE3715452C2 (de) | 1997-02-20 |
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