JPS5990784A - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
- Publication number
- JPS5990784A JPS5990784A JP19960082A JP19960082A JPS5990784A JP S5990784 A JPS5990784 A JP S5990784A JP 19960082 A JP19960082 A JP 19960082A JP 19960082 A JP19960082 A JP 19960082A JP S5990784 A JPS5990784 A JP S5990784A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tank
- pump
- cold trap
- liquefied gas
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空排気装置の改良に関する。
従来の真空排気装置においては、排気系内に極低温液体
窒素槽などからなるコールドトラップが介設され、ター
ボ分子ポンプ蛙どによる高真空排気においてア導入され
たガスに含まれた水分や凝集性物質を前記窒紫檀の外表
面に滴状に凝縮付着させて真空ポンプ機能をもたせるよ
うにしている。
窒素槽などからなるコールドトラップが介設され、ター
ボ分子ポンプ蛙どによる高真空排気においてア導入され
たガスに含まれた水分や凝集性物質を前記窒紫檀の外表
面に滴状に凝縮付着させて真空ポンプ機能をもたせるよ
うにしている。
ところでターボ分子ポンプの場合停止時は大気をリーク
するが、その場合大気中の多量の水分が槽の外表面に付
着する。したがってターボ分子ポンプを再び作動して排
気を行なうときは、まず水分が凍結し、それが昇華する
こととなり、そのために排気に長時間を要し作業性に問
題があった。そのため槽とターボ分子ポンプとの間に仕
切弁などを介設して槽を大気に触れさせぬように工夫し
ている□が１、口径が大きく大形化しコストも高いなど
の欠点を有している。
するが、その場合大気中の多量の水分が槽の外表面に付
着する。したがってターボ分子ポンプを再び作動して排
気を行なうときは、まず水分が凍結し、それが昇華する
こととなり、そのために排気に長時間を要し作業性に問
題があった。そのため槽とターボ分子ポンプとの間に仕
切弁などを介設して槽を大気に触れさせぬように工夫し
ている□が１、口径が大きく大形化しコストも高いなど
の欠点を有している。
本発明はこのよう）４従来の欠点を解決するもので、ポ
ンプ・停止前に槽外表面を加熱するようにし、停止時リ
ークされた大気中の水分が液化ガス槽の外表面に凝縮し
ないようにした真空排気装置を提供する。
ンプ・停止前に槽外表面を加熱するようにし、停止時リ
ークされた大気中の水分が液化ガス槽の外表面に凝縮し
ないようにした真空排気装置を提供する。
以下本発明の真空排気装置を漏洩検出器に使用された一
実施例をもとに図面にもとづいて説明する。ヘリウムガ
ス室りに収められた漏洩被試験体たる容器Ａが絞り弁２
を介してコールドトラップｌに接続される。該コールド
・トラップ１の他方側には分析管人口弁３を経てヘリウ
ムガス検知用の分析管４が接続されている。コールドト
ラップ１は液化ガス槽′５を内蔵し、該槽内には液体窒
素Ｂ（気化温度約−１８０℃）が収容されている。そし
て、前記液体窒素中には電源Ｃにより通電可能な加熱器
６が浸漬される。一方、前記コールドトラップ１の下方
にはオリフィス部１１を介してターボ分子ポンプ７が接
続される。ターボ分子ポンプ７は油回転真空ポンプ８を
経てコールドトラップ１内の空気およびガスを吸入して
前記コールドトラップ１内を急速に高真空状態にする。
実施例をもとに図面にもとづいて説明する。ヘリウムガ
ス室りに収められた漏洩被試験体たる容器Ａが絞り弁２
を介してコールドトラップｌに接続される。該コールド
・トラップ１の他方側には分析管人口弁３を経てヘリウ
ムガス検知用の分析管４が接続されている。コールドト
ラップ１は液化ガス槽′５を内蔵し、該槽内には液体窒
素Ｂ（気化温度約−１８０℃）が収容されている。そし
て、前記液体窒素中には電源Ｃにより通電可能な加熱器
６が浸漬される。一方、前記コールドトラップ１の下方
にはオリフィス部１１を介してターボ分子ポンプ７が接
続される。ターボ分子ポンプ７は油回転真空ポンプ８を
経てコールドトラップ１内の空気およびガスを吸入して
前記コールドトラップ１内を急速に高真空状態にする。
なお、前記ターボ分子ポンプ７の排気管９の途中には大
気リーク弁１０ａを備えた大気管１０が分岐接続されて
いる。
気リーク弁１０ａを備えた大気管１０が分岐接続されて
いる。
以１の装置において、漏洩試験は次の如くなされる。タ
ーボ分子ポンプ７を運転して急速に高真空状態とし、つ
いでコールドトラップ１内を低温に保つことにより真空
下の凝縮性ガスを低温面にトラップすることによりさら
にその圧力は低下する。そして、絞り弁２が開かれると
、被試験体Ａ内の空気またはガスはコールドトラップ内
へ吸引され、ここで水分および凝集性物質は槽５の外表
面に凝縮分離される。若し、被試験体Ａにピンホールの
ような漏れ部分があれば、外部からヘリウムガスが流入
し゛Ｃ分析管４により検知される。試験が終り装置を停
止するにあたっては、まず槽５内の液体窒素Ｂを加熱器
６にて急速に蒸発させて、槽５の壁の温度を常温以上に
上昇させる。その後、絞り弁２、分析管人口弁４を閉止
し、大気導入弁１０ａを開いて外気を導入し、ターボ分
子ポンプ７内を大気圧に戻す。この大気を入れることに
よりポンプ７の排気側の油蒸気や軸受潤滑油の蒸気が、
該ポンプ７の吸気口側へ逆流しないようにされ、ターボ
分子ポンプはオイルフリーの超高真空排気が可能となる
。これによって、導入された大気中に含まれる多量の水
分その他不純物は槽５の外表面に凝集して何着残留する
ことがないので、次の排気のとき排気特性に支障を来た
すことがなく、従来の欠点は完全に解消される。
ーボ分子ポンプ７を運転して急速に高真空状態とし、つ
いでコールドトラップ１内を低温に保つことにより真空
下の凝縮性ガスを低温面にトラップすることによりさら
にその圧力は低下する。そして、絞り弁２が開かれると
、被試験体Ａ内の空気またはガスはコールドトラップ内
へ吸引され、ここで水分および凝集性物質は槽５の外表
面に凝縮分離される。若し、被試験体Ａにピンホールの
ような漏れ部分があれば、外部からヘリウムガスが流入
し゛Ｃ分析管４により検知される。試験が終り装置を停
止するにあたっては、まず槽５内の液体窒素Ｂを加熱器
６にて急速に蒸発させて、槽５の壁の温度を常温以上に
上昇させる。その後、絞り弁２、分析管人口弁４を閉止
し、大気導入弁１０ａを開いて外気を導入し、ターボ分
子ポンプ７内を大気圧に戻す。この大気を入れることに
よりポンプ７の排気側の油蒸気や軸受潤滑油の蒸気が、
該ポンプ７の吸気口側へ逆流しないようにされ、ターボ
分子ポンプはオイルフリーの超高真空排気が可能となる
。これによって、導入された大気中に含まれる多量の水
分その他不純物は槽５の外表面に凝集して何着残留する
ことがないので、次の排気のとき排気特性に支障を来た
すことがなく、従来の欠点は完全に解消される。
なお、本発明は液体ヘリウム等の他の液化ガスにも適用
される。また、前記漏洩検出装置のほか、棹々の装置に
用いられる。槽の外表面を常温に加熱する手段としては
種々のもの（たとえば槽自体を電気による加熱体とする
もの）が考えられ、図示例には限定されない。
される。また、前記漏洩検出装置のほか、棹々の装置に
用いられる。槽の外表面を常温に加熱する手段としては
種々のもの（たとえば槽自体を電気による加熱体とする
もの）が考えられ、図示例には限定されない。
本発明は以上の如く、真空手段としてターボ分子ポンプ
を使用したので短時間で高真望が得られる（例えば、油
拡散ポンプと比較して単位消費電力当りの排気速度は５
〜６倍）。また、液化ガス槽内に加熱器が設けられ、ポ
ンプ停止の直前に加熱器によって液化ガスを蒸発させて
槽壁を常温以上に昇温させるようにしたので、ポンプを
通じて導入された多量の大気の水分も凝集することなく
、筒内が汚染されることがなくなった。
を使用したので短時間で高真望が得られる（例えば、油
拡散ポンプと比較して単位消費電力当りの排気速度は５
〜６倍）。また、液化ガス槽内に加熱器が設けられ、ポ
ンプ停止の直前に加熱器によって液化ガスを蒸発させて
槽壁を常温以上に昇温させるようにしたので、ポンプを
通じて導入された多量の大気の水分も凝集することなく
、筒内が汚染されることがなくなった。
図は本発明の使用態様の一実施例を示す一部切欠正面図
である。 １・・・コールドトラップ、４・・・ヘリウムガス検知
用分析管、５・・・液体窒素槽、６・・・加熱器、７・
・・ターボ分子ポンプ、１０・・・大気管 代理人 弁理士 犬 飼 新 平
である。 １・・・コールドトラップ、４・・・ヘリウムガス検知
用分析管、５・・・液体窒素槽、６・・・加熱器、７・
・・ターボ分子ポンプ、１０・・・大気管 代理人 弁理士 犬 飼 新 平
Claims (1)
- 液化ガス層を内蔵したコールドトップをターボ分子ポン
プによる吸気系に介設した排気装置において、前記液化
ガス槽の外表面を常温に加熱するための手段を設けたこ
とを特徴とする真空排気装置附。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19960082A JPS5990784A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19960082A JPS5990784A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 真空排気装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5990784A true JPS5990784A (ja) | 1984-05-25 |
Family
ID=16410545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19960082A Pending JPS5990784A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5990784A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01253590A (ja) * | 1988-03-31 | 1989-10-09 | Aisin Seiki Co Ltd | 高真空ポンプ |
| JPH01277698A (ja) * | 1988-04-30 | 1989-11-08 | Nippon Ferrofluidics Kk | 複合型真空ポンプ |
| JPH025792A (ja) * | 1988-03-07 | 1990-01-10 | Toshiba Corp | ターボ分子ポンプおよびその運転方法 |
| US4926648A (en) * | 1988-03-07 | 1990-05-22 | Toshiba Corp. | Turbomolecular pump and method of operating the same |
| JPH02294573A (ja) * | 1989-05-09 | 1990-12-05 | Toshiba Corp | 真空排気装置および真空排気方法 |
| JPH05106036A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-04-27 | Hitachi Ltd | 真空処理装置 |
| US5483803A (en) * | 1993-06-16 | 1996-01-16 | Helix Technology Corporation | High conductance water pump |
| USRE36610E (en) * | 1989-05-09 | 2000-03-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Evacuation apparatus and evacuation method |
-
1982
- 1982-11-12 JP JP19960082A patent/JPS5990784A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH025792A (ja) * | 1988-03-07 | 1990-01-10 | Toshiba Corp | ターボ分子ポンプおよびその運転方法 |
| US4926648A (en) * | 1988-03-07 | 1990-05-22 | Toshiba Corp. | Turbomolecular pump and method of operating the same |
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| US5062271A (en) * | 1989-05-09 | 1991-11-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Evacuation apparatus and evacuation method |
| JP2538796B2 (ja) * | 1989-05-09 | 1996-10-02 | 株式会社東芝 | 真空排気装置および真空排気方法 |
| USRE36610E (en) * | 1989-05-09 | 2000-03-14 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Evacuation apparatus and evacuation method |
| JPH05106036A (ja) * | 1992-03-30 | 1993-04-27 | Hitachi Ltd | 真空処理装置 |
| US5483803A (en) * | 1993-06-16 | 1996-01-16 | Helix Technology Corporation | High conductance water pump |
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