DE4326265A1 - Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art - Google Patents
Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser ArtInfo
- Publication number
- DE4326265A1 DE4326265A1 DE4326265A DE4326265A DE4326265A1 DE 4326265 A1 DE4326265 A1 DE 4326265A1 DE 4326265 A DE4326265 A DE 4326265A DE 4326265 A DE4326265 A DE 4326265A DE 4326265 A1 DE4326265 A1 DE 4326265A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- test gas
- gas detector
- inlet system
- selective
- detector according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 54
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 18
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 4
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 4
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 4
- 229920005597 polymer membrane Polymers 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 3
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 3
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 29
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 29
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 6
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 3
- 230000009471 action Effects 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 238000001275 scanning Auger electron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/207—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material calibration arrangements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
- G01M3/22—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators
- G01M3/226—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material for pipes, cables or tubes; for pipe joints or seals; for valves; for welds; for containers, e.g. radiators for containers, e.g. radiators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4326265A DE4326265A1 (de) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
KR1019960700591A KR960704218A (ko) | 1993-08-05 | 1994-07-14 | 누출 검색장치용 테스트 가스 검출기 및 그 테스트 가스 검출기의 작동 방법(test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind) |
EP94921645A EP0712488B1 (de) | 1993-08-05 | 1994-07-14 | Testgasdetektion mit Quarzglasschicht, Heizung und gasaufzehrendem Vakuummeter |
DE59409544T DE59409544D1 (de) | 1993-08-05 | 1994-07-14 | Testgasdetektion mit Quarzglasschicht, Heizung und gasaufzehrendem Vakuummeter |
PCT/EP1994/002311 WO1995004921A1 (de) | 1993-08-05 | 1994-07-14 | Testgasdetektor, vorzugsweise für lecksuchgeräte, sowie verfahren zum betrieb eines testgasdetektors dieser art |
US08/586,794 US5661229A (en) | 1993-08-05 | 1994-07-14 | Test gas detector, preferably for leak detectors, and process for operating a test gas detector of this kind |
JP7506173A JPH09501237A (ja) | 1993-08-05 | 1994-07-14 | 殊に漏洩探知器用のプローブガス検出器及びこの種のプローブガス検出器を操作する方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE4326265A DE4326265A1 (de) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE4326265A1 true DE4326265A1 (de) | 1995-02-09 |
Family
ID=6494497
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE4326265A Withdrawn DE4326265A1 (de) | 1993-08-05 | 1993-08-05 | Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art |
DE59409544T Expired - Lifetime DE59409544D1 (de) | 1993-08-05 | 1994-07-14 | Testgasdetektion mit Quarzglasschicht, Heizung und gasaufzehrendem Vakuummeter |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE59409544T Expired - Lifetime DE59409544D1 (de) | 1993-08-05 | 1994-07-14 | Testgasdetektion mit Quarzglasschicht, Heizung und gasaufzehrendem Vakuummeter |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5661229A (ko) |
EP (1) | EP0712488B1 (ko) |
JP (1) | JPH09501237A (ko) |
KR (1) | KR960704218A (ko) |
DE (2) | DE4326265A1 (ko) |
WO (1) | WO1995004921A1 (ko) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19521275A1 (de) * | 1995-06-10 | 1996-12-12 | Leybold Ag | Gasdurchlaß mit selektiv wirkender Durchtrittsfläche sowie Verfahren zur Herstellung der Durchtrittsfläche |
WO2002003057A1 (de) | 2000-06-30 | 2002-01-10 | Inficon Gmbh | Sensor für helium oder wasserstoff |
DE10122733A1 (de) * | 2001-05-10 | 2002-11-14 | Inficon Gmbh | Testleckvorrichtung |
DE102005021909A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
CN102317753A (zh) * | 2009-02-18 | 2012-01-11 | 因菲康有限公司 | 用于对检漏仪进行功能测试的方法 |
DE102020116660A1 (de) | 2020-06-24 | 2021-12-30 | Inficon Gmbh | Verfahren zur temperaturabhängigen Gasdetektion mit einer gasselektiven Membran |
Families Citing this family (33)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2761776B1 (fr) * | 1997-04-03 | 1999-07-23 | Alsthom Cge Alcatel | Detecteur de fuite a gaz traceur |
DE19846799A1 (de) * | 1998-10-10 | 2000-04-13 | Leybold Vakuum Gmbh | Verfahren zum Betrieb eines Folien-Lecksuchers sowie für die Durchführung dieses Verfahrens geeigneter Folien-Lecksucher |
DE602004010257T2 (de) * | 2003-06-11 | 2008-10-02 | Varian, Inc., Palo Alto | Verfahren und vorrichtung zum erfassen von grossen leckagen |
WO2004113862A1 (en) * | 2003-06-11 | 2004-12-29 | Varian, Inc. | Methods and apparatus for leak detection in contaminated environments |
EP1860419B1 (en) * | 2003-06-11 | 2014-02-26 | Agilent Technologies, Inc. | Apparatus for leak detection |
CN100523764C (zh) * | 2003-06-11 | 2009-08-05 | 瓦里安有限公司 | 通过累积方法检漏的方法和装置 |
US7320243B2 (en) * | 2003-06-11 | 2008-01-22 | Varian, Inc. | Methods and apparatus for detection of large leaks in sealed articles |
GB0414316D0 (en) * | 2004-06-25 | 2004-07-28 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
DE102004034381A1 (de) * | 2004-07-16 | 2006-02-16 | Inficon Gmbh | Gassensor und Verfahren zum Betreiben einer Getterpumpe |
DE102004045803A1 (de) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Inficon Gmbh | Leckprüfverfahren und Leckprüfvorrichtung |
DE102004062101A1 (de) * | 2004-12-23 | 2006-07-13 | Inficon Gmbh | Selektiver Gassensor |
DE602005010872D1 (de) * | 2005-09-20 | 2008-12-18 | Varian Spa | Vorrichtung und Verfahren zur Erfassung der Anwesentheit eines Prüfgases |
US7459677B2 (en) * | 2006-02-15 | 2008-12-02 | Varian, Inc. | Mass spectrometer for trace gas leak detection with suppression of undesired ions |
US7427751B2 (en) | 2006-02-15 | 2008-09-23 | Varian, Inc. | High sensitivity slitless ion source mass spectrometer for trace gas leak detection |
US7674309B2 (en) * | 2006-03-31 | 2010-03-09 | Corning Incorporated | Honeycomb filter defect detecting method and apparatus |
US20080202210A1 (en) * | 2007-02-28 | 2008-08-28 | Varian, Inc. | Test gas leak detection using a composite membrane |
US7497110B2 (en) * | 2007-02-28 | 2009-03-03 | Varian, Inc. | Methods and apparatus for test gas leak detection |
FR2921488A1 (fr) | 2007-09-26 | 2009-03-27 | Alcatel Lucent Sas | Dispositif et procede pour la detection de fuites a haute pression pr gaz traceur dans une piece a tester. |
US8555704B2 (en) * | 2008-10-20 | 2013-10-15 | Agilent Technologies, Inc. | Calibration systems and methods for tracer gas leak detection |
DE102009004363B4 (de) * | 2009-01-08 | 2022-08-25 | Inficon Gmbh | Leckdetektionsverfahren |
US8756978B2 (en) * | 2010-04-09 | 2014-06-24 | Inficon Gmbh | Leak detector with optical tracer gas detection |
US8361196B2 (en) * | 2010-04-09 | 2013-01-29 | Inficon Gmbh | Gas-selective membrane and method of its production |
DE102010048982B4 (de) | 2010-09-03 | 2022-06-09 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät |
US8453493B2 (en) | 2010-11-02 | 2013-06-04 | Agilent Technologies, Inc. | Trace gas sensing apparatus and methods for leak detection |
US9038439B2 (en) | 2012-11-28 | 2015-05-26 | Corning Incorporated | Apparatus and methods for testing a honeycomb filter |
US20160090976A1 (en) * | 2014-09-30 | 2016-03-31 | Honeywell International Inc. | Systems and methods for a dual purpose getter container |
FR3034192B1 (fr) * | 2015-03-23 | 2017-04-07 | Pfeiffer Vacuum Sas | Detecteur de fuites et procede de detection de fuites |
CN109211485B (zh) | 2017-07-06 | 2022-07-26 | 亚得克 | 检测中空零件泄露的方法和实施该方法的装置 |
FR3068781A1 (fr) | 2017-07-06 | 2019-01-11 | Ateq | Procede de detection de fuite d'une piece creuse et installation pour la mise en œuvre d'un tel procede |
FR3073623B1 (fr) | 2017-11-16 | 2019-11-08 | Ateq | Installation et procede de detection et de localisation de fuite dans un circuit de transport d'un fluide, notamment d'un aeronef |
FR3092171B1 (fr) | 2019-01-29 | 2021-04-30 | Ateq | Système de détection de fuite par gaz traceur et utilisation correspondante. |
CN110987327B (zh) * | 2019-11-22 | 2021-06-08 | 深圳市深科工程检测有限公司 | 一种门窗气密性检测设备 |
DE102021134647A1 (de) * | 2021-12-23 | 2023-06-29 | Inficon Gmbh | Vakuumlecksucher mit Ansprüh-Membran-Testleck und Verfahren |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1128946B (de) * | 1959-03-06 | 1962-05-03 | Varian Associates | Glimmentladungs? als Vakuumpumpe oder Vakuummeter |
DE1246933B (de) * | 1960-10-11 | 1967-08-10 | Varian Associates | Elektrodenanordnung fuer Ionenvakuumpumpen und Vakuummanometer |
DE2114338A1 (de) * | 1970-03-26 | 1971-10-14 | Pierre Maillard | Vorrichtung zur Feststellung von Leckagen bzw.undichten Stellen mit Helium als Spuergas |
US3837228A (en) * | 1973-04-09 | 1974-09-24 | Vacuum Inst Corp | Tracer gas-permeable probe for leak detectors |
DE2926112A1 (de) * | 1979-06-28 | 1981-01-08 | Bosch Gmbh Robert | Testleck-sonde |
US4492110A (en) * | 1983-06-01 | 1985-01-08 | Martin Marietta Corporation | Ultra sensitive noble gas leak detector |
DE3421533A1 (de) * | 1983-06-22 | 1985-01-10 | Varian Associates, Inc., Palo Alto, Calif. | Gegenstrom-leckdetektor mit kuehlfalle |
US4785666A (en) * | 1986-12-19 | 1988-11-22 | Martin Marietta Corporation | Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode |
EP0365042A1 (de) * | 1987-03-31 | 1990-04-25 | FINN-AQUA SANTASALO-SOHLBERG GmbH | Verfahren zur Lecküberwachung von fluidführenden Leitungssystemen bei Gefriertrocknungseinrichtungen und für die Durchführung dieses Verfahrens geeignete Gefriertrocknungseinrichtung |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR1181312A (fr) * | 1957-08-20 | 1959-06-15 | Commissariat Energie Atomique | Perfectionnement aux méthodes de mesure d'étanchéité |
US3591827A (en) * | 1967-11-29 | 1971-07-06 | Andar Iti Inc | Ion-pumped mass spectrometer leak detector apparatus and method and ion pump therefor |
IT1224604B (it) * | 1988-07-27 | 1990-10-04 | Varian Spa | Rivelatore perfezionato di perdite di elio |
FR2666410B1 (fr) * | 1990-09-05 | 1993-10-08 | Alcatel Cit | Detecteur de fuite haut flux a trois filtres moleculaires. |
US5386717A (en) * | 1991-02-08 | 1995-02-07 | Yamaha Corporation | Gas leakage testing method |
US5344480A (en) * | 1992-05-05 | 1994-09-06 | Praxair Technology, Inc. | Pressurizing with and recovering helium |
IT1256824B (it) * | 1992-05-14 | 1995-12-21 | Varian Spa | Unita' rivelatrice di elio perfezionata. |
-
1993
- 1993-08-05 DE DE4326265A patent/DE4326265A1/de not_active Withdrawn
-
1994
- 1994-07-14 KR KR1019960700591A patent/KR960704218A/ko not_active Application Discontinuation
- 1994-07-14 JP JP7506173A patent/JPH09501237A/ja active Pending
- 1994-07-14 EP EP94921645A patent/EP0712488B1/de not_active Expired - Lifetime
- 1994-07-14 WO PCT/EP1994/002311 patent/WO1995004921A1/de active IP Right Grant
- 1994-07-14 US US08/586,794 patent/US5661229A/en not_active Expired - Lifetime
- 1994-07-14 DE DE59409544T patent/DE59409544D1/de not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1128946B (de) * | 1959-03-06 | 1962-05-03 | Varian Associates | Glimmentladungs? als Vakuumpumpe oder Vakuummeter |
DE1246933B (de) * | 1960-10-11 | 1967-08-10 | Varian Associates | Elektrodenanordnung fuer Ionenvakuumpumpen und Vakuummanometer |
DE2114338A1 (de) * | 1970-03-26 | 1971-10-14 | Pierre Maillard | Vorrichtung zur Feststellung von Leckagen bzw.undichten Stellen mit Helium als Spuergas |
US3837228A (en) * | 1973-04-09 | 1974-09-24 | Vacuum Inst Corp | Tracer gas-permeable probe for leak detectors |
DE2926112A1 (de) * | 1979-06-28 | 1981-01-08 | Bosch Gmbh Robert | Testleck-sonde |
US4492110A (en) * | 1983-06-01 | 1985-01-08 | Martin Marietta Corporation | Ultra sensitive noble gas leak detector |
DE3421533A1 (de) * | 1983-06-22 | 1985-01-10 | Varian Associates, Inc., Palo Alto, Calif. | Gegenstrom-leckdetektor mit kuehlfalle |
US4785666A (en) * | 1986-12-19 | 1988-11-22 | Martin Marietta Corporation | Method of increasing the sensitivity of a leak detector in the probe mode |
EP0365042A1 (de) * | 1987-03-31 | 1990-04-25 | FINN-AQUA SANTASALO-SOHLBERG GmbH | Verfahren zur Lecküberwachung von fluidführenden Leitungssystemen bei Gefriertrocknungseinrichtungen und für die Durchführung dieses Verfahrens geeignete Gefriertrocknungseinrichtung |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
Chem. Techn., 19.Jg., H.1, Jan. 1967, S.47 * |
et al: Diffusion leak artifacts as a secondary standard for gas flow. In: Vacuum, Vol.38, No.8-10, 1988, S.883-886 * |
JITSCHIN, W. * |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19521275A1 (de) * | 1995-06-10 | 1996-12-12 | Leybold Ag | Gasdurchlaß mit selektiv wirkender Durchtrittsfläche sowie Verfahren zur Herstellung der Durchtrittsfläche |
WO2002003057A1 (de) | 2000-06-30 | 2002-01-10 | Inficon Gmbh | Sensor für helium oder wasserstoff |
DE10031882A1 (de) * | 2000-06-30 | 2002-01-10 | Leybold Vakuum Gmbh | Sensor für Helium oder Wasserstoff |
DE10122733A1 (de) * | 2001-05-10 | 2002-11-14 | Inficon Gmbh | Testleckvorrichtung |
DE102005021909A1 (de) * | 2005-05-12 | 2006-11-16 | Inficon Gmbh | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor |
CN102317753A (zh) * | 2009-02-18 | 2012-01-11 | 因菲康有限公司 | 用于对检漏仪进行功能测试的方法 |
CN102317753B (zh) * | 2009-02-18 | 2014-12-10 | 因菲康有限公司 | 用于对检漏仪进行功能测试的方法 |
DE102020116660A1 (de) | 2020-06-24 | 2021-12-30 | Inficon Gmbh | Verfahren zur temperaturabhängigen Gasdetektion mit einer gasselektiven Membran |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR960704218A (ko) | 1996-08-31 |
DE59409544D1 (de) | 2000-11-09 |
WO1995004921A1 (de) | 1995-02-16 |
EP0712488A1 (de) | 1996-05-22 |
JPH09501237A (ja) | 1997-02-04 |
US5661229A (en) | 1997-08-26 |
EP0712488B1 (de) | 2000-10-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE4326265A1 (de) | Testgasdetektor, vorzugsweise für Lecksuchgeräte, sowie Verfahren zum Betrieb eines Testgasdetektors dieser Art | |
EP0432305B1 (de) | Vorrichtung und Verfahren zur Leckprüfung | |
EP1238253B1 (de) | Verfahren zur lecksuche und lecklokalisierung sowie zur durchführung dieser verfahren geeignete vorrichtungen | |
DE102005021909A1 (de) | Schnüffellecksucher mit Quarzfenstersensor | |
EP0615615B1 (de) | Lecksucher für vakuumanlagen sowie verfahren zur durchführung der lecksuche an vakuumanlagen | |
EP2446243B1 (de) | Wasserstoffsensor | |
DE1673239B2 (de) | Vorrichtung zum Zuführen von nachzuweisenden Gasen oder Dämpfen in ein Gasanalysegerät | |
EP1769226A1 (de) | Gassensor und verfahren zum betreiben einer getterpumpe | |
EP0712489B1 (de) | Heliumlecksuche mit FEP Membran, Getter und Differenzierstufe | |
DE102009010064A1 (de) | Schnüffellecksucher | |
DE602004010257T2 (de) | Verfahren und vorrichtung zum erfassen von grossen leckagen | |
EP2999950B1 (de) | Schnüffellecksucher mit nanoporöser membrane | |
DE102015222554A1 (de) | Lecksuche mit Sauerstoff | |
EP0927345B1 (de) | Verfahren zur untersuchung einer mehrzahl ähnlicher prüflinge auf lecks | |
DE10156205A1 (de) | Testgaslecksuchgerät | |
EP3435053A1 (de) | Verfahren zur lokalisierung von leckstellen | |
EP0718613B1 (de) | Verfahren zur Gasanalyse und Gasanalysator | |
DE4316196C2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Gasanalyse | |
EP0690980A1 (de) | Vakuum-lecksuchgerät für die testgaslecksuche mit leichten gasen | |
DE1201583B (de) | Verfahren zur laufenden Fernueberwachung der Luftzusammensetzung, insbesondere in gift-, explosions- oder feuergefaehrdeten Raeumen und Anordnung zur Durchfuehrung des Verfahrens | |
EP3688438B1 (de) | Vorrichtung und verfahren zur unterscheidung eines aus einem leck austretenden prüfgases von störgas | |
DE10149219B4 (de) | Verfahren zur Partialdruck-Kalibrierung von Quadrupol-Massenspektrometern und Kalibriereinrichtung dazu | |
EP0584584A2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zum Nachweis eines leichten Testgases in einer Flüssigkeit | |
WO1995004922A1 (de) | Lecksuchgerät | |
DE102015217598A1 (de) | Leckdetektion beim Evakuieren einer Prüfkammer oder eines Prüflings |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: BALZERS UND LEYBOLD DEUTSCHLAND HOLDING AG, 63450 |
|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
8127 | New person/name/address of the applicant |
Owner name: UNAXIS DEUTSCHLAND HOLDING GMBH, 63450 HANAU, DE |
|
8139 | Disposal/non-payment of the annual fee |