KR960037236A - 와이어톱 - Google Patents

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KR960037236A
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reel
wire saw
row
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쇼죠 카타마찌
시게루 오쿠보
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오쯔보 히데오
가부시키가이샤 토쿄 세이미쯔
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    • B28D1/00—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor
    • B28D1/02—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing
    • B28D1/08—Working stone or stone-like materials, e.g. brick, concrete or glass, not provided for elsewhere; Machines, devices, tools therefor by sawing with saw-blades of endless cutter-type, e.g. chain saws, i.e. saw chains, strap saws
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D—PLANING; SLOTTING; SHEARING; BROACHING; SAWING; FILING; SCRAPING; LIKE OPERATIONS FOR WORKING METAL BY REMOVING MATERIAL, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23D57/00—Sawing machines or sawing devices not covered by one of the preceding groups B23D45/00 - B23D55/00
    • B23D57/003—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts
    • B23D57/0053—Sawing machines or sawing devices working with saw wires, characterised only by constructional features of particular parts of drives for saw wires; of wheel mountings; of wheels
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
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    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • B28D5/045—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools by cutting with wires or closed-loop blades

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Abstract

와이어링(112)을 구동하는 구동모터(128)의 회전축(162)에는 동축 상으로 턴테이블(170)이 연결되어 있다.
상기 와이어릴 (112)은 이 턴테이블(170) 위에 연결된다. 따라서, 와이어릴(112)은 구동모터(128)에 직접 구동된다.
그러므로, 구동모터(128)이 가감속시간이 단축이 가능하게 되고, 처리량이 향상된다. 또, 구동모터(128)에 관성이 낮은 모터, 즉 크기가 작은 모터를 사용하는 것이 가능하게 됨에 따라, 구동부를 소형화하는 것이 가능하다. 그리고, 종래 필요로 했던 밸트전동기구를 위한 공간을 생략하는 것이 가능해짐에 따라, 구동부를 소형화하는 것이 가능하다.

Description

와이어톱
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 와이어톱의 전체구성도, 제2도는 와이어릴의 구동부의 단면도.

Claims (5)

  1. 와이어를 일측 방향의 와이어릴로부터 계속 끌어내어 복수개의 홈부 롤러에 감아걸어 와이어열을 형성한 후 타측방향의 와이어릴에 감기도록 함과 동시에 상기 와이어열에 지립(砥粒)을 포함한 가공액을 공급하면서 피가공물을 가압 접촉시켜 그 피가공물을 다수의 박판상의 웨이퍼로 절단하는 와이어톱에 있어서, 상기 와이어릴을 구동하는 구동모터의 회전축에 그 회전축과 동축상으로 상기 와이어릴을 연결한 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구동모터는 상기 와이어톱의 본체 프레임에 일체로 형성된 빌트인(built-in)모터임을 특징으로 하는 와이어톱.
  3. 제1항에 있어서, 상기 구동모터의 회전축에는 동축상으로 턴테이블이 연결되고, 그 턴테이블에 상기 와이어릴이 연결된 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  4. 와이어를 일측 방향의 와이어릴로부터 계속 끌어내어 복수개의 홈부롤러에 감아 걸어 와이어열을 형성한 후 타측방향의 와이어릴에 감기도록 함과 동시에 상기 와이어열에 지립을 포함한 가공액을 공급하면서 피가공물을 가압 접촉시켜 그 피가공물을 다수의 박판상의 웨이퍼로 절단하는 와이어톱에 있어서, 상기 홈부롤러를 구동하는 구동모터의 회전축에 그 회전축과 동축상으로 상기 홈부롤러를 연결한 것을 특징으로 하는 와이어톱.
  5. 제4항에 있어서, 상기 구동모터는 와이어열을 구성하는 3개의 홉부롤러중의 1개의 홈부롤러의 회전축에 연결된 것을 특징으로 하는 와이어톱.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960011758A 1995-04-21 1996-04-18 와이어 톱 KR100394223B1 (ko)

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