KR960036111A - 규화크롬 저항막을 포함하는 저항콤포넌트 - Google Patents

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비흐 라이너
티옌 루돌프
보니쓰 헤닌그
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요트.게.아,롤페즈
필립스 일렉트로닉스 엔.브이.
헬무트 슈베르트
프라운호퍼-게젤샤프트 쥬르 푀르데르운그 데르 안게반텐 포르슌그 에.브
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    • Y10T428/265—1 mil or less

Abstract

필요에 따라 기판위에 제공될 수 있는 한개이상의 저항막으로 그중 적어도 한개는 CrSi를 기본으로하여 합성되는 저항 콤퍼넌트에서, CrSi를 기본으로한 저항막이 5-50원자% 크롬, 10-70%원자% 실리콘 5-50원자%산소와, 1-50원자% 농도의 붕소, 탄소, 질소로 형성된 그룹의 적어도 한 요소를 포함한다. 본 발명에 따른 저항 콤포넌트의 양호한 성질은 CrSi를 기본으로한 저항막으로 산소와 탄소 또는 산소와 질소 또는 산소와 질소의 반응물의 합체에 근거한 것이다.

Description

규화크롬 저항막을 포함하는 저항콤포넌트
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 기판위치와 반응가스의 형태의 함수로서 저항막의 저항율을 도시하면 도면

Claims (9)

  1. 필요에 따라 기판위에 제공될 수 있는 한개 이상의 저항막으로 그중 적어도 한개는 CrSi를 기본으로하여 합성되는 저항 콤포넌트있어서, CrSi를 기본으로 한 저항막이 5-50원자%크롬,10-70%원자% 실리콘,5-50원자%산소와 1-50%원자% 농도의 붕소,탄소,질소로 형성된 그룹의 적어도 한 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 콤포넌트
  2. 제1항에 있어서, CrSi를 기본으로 한 저항막이 20-40원자%의 코롬, 10-30%원자%의 실리콘 10-40원자%의 산소 그리고 1-40원자%의 농도의 붕소, 탄소와 질소로 형성된 그룹의 적어도 한 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 콤포넌트
  3. 제1항에 있어서, CrSi를 기본으로 한 저항막은 25-35원자%의 크롬, 15-25%원자%의 실리콘, 20-30원자%의 산소 그리고 1-40%의 농도의 붕소, 탄소와 질소로 형성된 그룹의 적어도 한 요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 콤퍼넌트
  4. 제1항에 있어서, CrSi를 기본으로 한 저항막은 10-30원자%의 크롬 20-60%원자%의 실리콘, 20-50원자%의 산소 그리고 1-40원자%의 농도의 붕소, 탄소와 질소로 형성된 그룹의 적어도 한 요소를 포함하는 것을 특징으로하는 저항 콤포넌트
  5. 제1항에 있어서, CrSi를 기본으로 한 저항막은 16-20원자%의 크롬. 35-45%원자%의 실리콘,20-30원자%의 산소 그리고 15-25원자%의 탄소를 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 콤포넌트.
  6. 제1항에 있어서, CrSi를 기본으로 한 저항막은 1-20원자%수소를 포함하는 것을 특징으로하는 저항 콤포넌트
  7. 제1항에 있어서, 상기 저항막은 부가적으로 1-5원자%의 G1,Ni,Co,Fe,A1,W,Mo,Ti,RU,또는 Cu를 포함하는 것을 특징으로 하는 저항 콤퍼넌트
  8. 제1항에 있어서, CrSi를 기본으로 한 저항막의 두께는 10nm내지 10㎛범위를 가지는 것을 특징으로하는 저항 콤퍼넌트
  9. 제1항에 있어서, 상기 기판은 Al2O3,BN,AIN,Si,SiC,Si3N4및＼또는 SiO2로 구성된 것을 특징으로 하는 저항 콤포넌트.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960006688A 1995-03-09 1996-03-09 규화크롬저항막을포함하는저항소자 KR100396932B1 (ko)

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