KR960035954A - 반도체 가공 장비를 위한 투입 및 방출 장치 - Google Patents

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Abstract

반도체 가공 장비를 위한 투입 및 방출 장치에서 본 발명의 목적은 크린룸 상태 하에서 운반 컨테이너로 부터의 장입이 진행되는 것을 보증하는 것이다.
이 운반 컨테이너 자체는 원판형 대상물을 위한 매거진으로서의 역할을 하고 측방이 개방되어진 상태이다. 선택적으로 다수의 이러한 운반 컨테이너를 투입하고 방출 하는 것이 역시 가능하여지고 여기서 운반 컨테이너의 교환은 유리한 인간 공학적 조건하에서 이루어져야만 한다.
이 발명에 따라 원판형 대상물을 투입, 방출 그리고 재투입하기 위한 운반 컨테이너는 마찰 맞물림의 방법으로 밀폐기를 갖는 컨테이너 덮개의 의해서 고정식으로 결합되어 진다. 컨테이너 덮개와 밀폐기가 반도체 가공장비로 공동으로 움직이여 내려가는 것에 의하여 장입구와 운반 컨테이너는 동시에 개방되어 진다.
반도체 가공장비에 배치된 조작장치가 장입구를 통해 운반 컨테이너를 몰릴때 투입과 방출이 수행되어진다. 이 발명은 집적 회로의 제조시에도 적용되어 질 수 있다.

Description

반도체 가공 장비를 위한 투입 및 방출 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 변위 가능한 쉬일드를 갖는 투입 및 방출 장치의 기본 측면도를 나타낸다.

Claims (13)

  1. 밀폐가능한 투입구를 가지며 이를 통하여 투입 그리고 방출평면에 수직적으로 향하여지도록 대체로 뻗쳐진 컨테이너 덮개를 운반 컨테이너가 갖고 있는 곳에서 운반 컨테이너 속에 내장된 원판형 대상물들이 밀폐기 제거후에 투입, 방출 그리고 재투입 되어질 수있는 반도체 가공장비를 위한 투입 및 방출장치에 있어서, 원판형 대상물의 투입, 방출 그리고 재투입을 위한 운반 컨테이너는 마찰 맞물림에 의하여 밀폐기를 가진 컨테이너 덮개에 의하여 고정방식으로 결합되고, 투입구와 운반 컨테이너의 동시 개방이 컨테이너 덮개와 밀폐기가 공동으로 반도체 가공 장비로 이동하여 내려가는 것에 의하여 이루어지며, 반도체 가공 장비에 배열된 조작장치가 장입구를 통해 운반 컨테이너로 맞물리면서 투입과 방출이 수행되어지는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  2. 제1항에 있어서, 밀폐기와 결합하려는 목적으로 운반 컨테이너를 정렬하고 고정시키기 위한 수단이 제공되는 수평으로 조정가능한 제1플랫폼 상에 운반 컨테이너가 배치되는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  3. 제2항에 있어서, 플랫폼이 위아래로 위치 하여진 적어도 2개의 평면들 사이에서 조절 가능하며 이평면들 중의 하나의 평면은 인체공학적 높이에서 운반 컨테이너의 장입을 위한 역할을 하며 또다른 평면은 반도체 가공 장비를 투입 및 방출하는 것을 역할을 하는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 운반 컨테이너를 정렬하고 고정시키기 위한 수단이 제공된 추가적이고 수평적으로 조정가능한 적합한 수의 플랫폼들이 적어도 하나의 추가적인 운반 컨테이너를 지지하기 위해 주어지는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  5. 제4항에 있어서, 적어도 하나의 플랫폼이 교대로 운반 컨테이너를 밀폐기에 결합시키는 역할을 하며 반면 또다른 플랫폼은 운반 컨테이너의 교환을 위해서 자유로운 상태로 남아 있는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출장치.
  6. 제2항 내지 제5항에 있어서, 운반 컨테이너들의 교환을 위한 저장소가 제공되어지고, 이 저장소에서는 그립퍼(gripper)가 위아래로 배열된 저장선반에 임의의 접근부를 가지며 운반컨테이너의 수동장입을 위하여 운반 컨테이너 홀더를 갖춘 장입구가 제공되며, 운반 컨테이너 홀더, 저장선반 그리고 플랫폼사이에서 운반 컨테이너를 이동시키기 위해서 운반 컨테이너의 크기에 해당하는 공간이 저장선반에 인접해서 개방된 채 주어지는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  7. 제6항에 있어서, 운반 컨테이너 홀더는 장입목적을 위해서 장입구를 통해서 이동되어질 수 있는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  8. 제1항 내지 제7항에 있어서, 밀폐기는 컨테이너 덮개와의 마찰 맞물림을 일으키기 위한 진공 흡입장치를 가지는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  9. 제8항에 있어서, 밀폐기는 마찰 맞물림이 일어나 전에 효과적일 수 있는 컨테이너 덮개에 관련하여 정렬을 시키기 위한 요소들이 제공되는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  10. 제9항에 있어서, 운반 컨테이너를 개방하기 위해서 컨테이너 덮개에 있는 잠금 요소를 작동하기 위한 열쇠가 밀폐기로부터 외부로 돌출되고 이러한 열쇠들에 짝이되는 열쇠구멍들이 컨테이너 덮개에 제공되어지며 이로인해서 밀폐기와 컨테이너 덮개가 마찰 맞물림에 추가적으로 고정되어지는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  11. 제10항에 있어서,밀폐기와 컨테이너 덮개의 접근하는 동안에 발생되는 차이들을 보상하기 위해서 정렬요소들과 열쇠들은 투입과 방출 평면에 수직이되는 스프링 작동방식으로 지탱되어지는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  12. 제1항 내지 제10항에 있어서, 지시된 위치에 따라 투입과 방출 평면에 수직이 되는 방향에서 원판형 대상물을 투입하고 방출하기 위해서 장입구는 조작장치와 관련되어 결합된 운반컨테이너와 공동으로 조정되어질 수 있는 쉬일드 속으로 가공되어지는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출 장치.
  13. 제1항 내지 제11항에 있어서, 원파형 대상물들은 투입하고 방출하기 위해서 지시된 위치에 따라 투입과 방출 평면에 수직이 되는 방향에서 조작장치가 조정되어질 수 있는 것을 특징으로 하는 투입 및 방출장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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