DE10119702A1 - Einrichtung zur Prüfung der Verschlußkräfte an der Verriegelung von Reinraumtransportboxen - Google Patents
Einrichtung zur Prüfung der Verschlußkräfte an der Verriegelung von ReinraumtransportboxenInfo
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- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
Abstract
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung, bei der standardisierte Reinraum-Transportboxen standardgemäß aufgesetzt und automatisch ver- und entriegelt werden können und dabei die Verschlußkräfte mit ihren charakteristischen Kraftkennlinien erfaßt, ausgewertet und somit fehlerhafte Verschlüsse erkennt.
Description
Substrate zur Herstellung von integrierten Halbleiter-Schaltungen und Belichtungs
masken für Halbleitersubstrate werden in speziellen Reinraum-Transportboxen
gelagert und so vor Kontamination geschützt. In diesen Boxen werden die Substrate
oder Masken von Anlage zu Anlage befördert. Dabei dient der Deckel der Box als
Schleusentüre, d. h. der Rand der Box wird auf die Schleuseneinrichtung der Anlage
aufgesetzt bzw. angedockt. Anschließend wird der Deckel automatisch über einen
Drehverschluß geöffnet und entfernt. Somit ist der Weg frei, um die Substrate oder
Masken ebenfalls automatisch der Bearbeitung in der Anlage zuzuführen. Nach
Beendigung der Arbeiten wird der Deckel wieder automatisch eingesetzt und
verschlossen. Der Verschluß und die Aufnahme bzw. das Aufsetzen der Boxen an
den Produktionsanlagen ist international standardisiert. Dabei gibt es zwei
verschiedene Ausführungen von Boxen. Bei den sogenannten SMIF-Boxen - SMIF
steht für "Standard Mechanical Interface" - ist der Deckel im Boden eingelassen und
wird nach unten entfernt. Bei den sogenannten FOUP-Boxen - FOUP steht für
"Front Opening Unified Pod" ist der Deckel frontseitig eingelassen. Beide
Ausführungen besitzen jedoch einen Drehverschluß - bei der FOUP-Technik jedoch
aufgrund der wesentlich größeren Abmaße in doppelter Ausführung.
Die eingelagerten Substrate oder Masken sind sehr empfindlich gegen Partikel-
Kontamination. Deshalb kommt dem Boxenverschluß eine hohe Sicherheitsfunktion
zu. Bei unbeabsichtigtem Lösen des Verschlusses würde der Deckel herausfallen
und die Kontamination des Produkts ermöglichen und damit einen großen Schaden
anrichten.
Durch das häufige Öffnen und Schließen im Produktionsablauf ist ein Verschleiß
des Verschlußmechanismus die Folge.
Die Erfindung betrifft eine Einrichtung, bei der standardisierte Reinraum-Transport
boxen standardgemäß aufgesetzt und automatisch ver- und entriegelt werden
können und dabei die Verschlußkräfte mit ihren charakteristischen Kraftkennlinien
erfaßt, auswertet und somit fehlerhafte Verschlüsse erkennt.
Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß die Reinraum-Transport
box (1) mit dem Drehverschluß (2) auf die Plattform (4) aufgesetzt wird und mit den
Schlüssellöchern (3) in die Schlüsselelemente (5) des oberen Drehflansches (8)
eingreifen und von dem Antriebsmotor (13) über den unteren Drehflansch (11) sowie
dem dazwischen gesetzten Drehkraftaufnehmer (19) gemäß Verschlußwinkel α hin-
und hergeschwenkt werden.
Weitere Einzelheiten der Erfindung sind den Ausführungsbeispielen zu entnehmen,
welche nachstehend beschrieben werden:
Fig. 1 Schnitt durch die Prüfeinrichtung mit eingesetzer Reinraum-Transpodbox
Fig. 2 Draufsicht der Prüfeinrichtung für Reinraum-Transportboxen mit boden
seitigem Deckel
Fig. 3 Seitenansicht der Prüfeinrichtung für Reinraum-Transportboxen mit front
seitigem Deckel
Die Prüfeinrichtung gemäß Fig. 1 und 2 besteht aus dem Gehäuse (19), das mit den
Standfüßen (18) auf einen Arbeitstisch aufgesetzt werden kann. Die Grundplatte
(17) trägt über die Zwischenstücke (16) die untere Plattform (15), in der der
Antriebsmotor (13) eingelassen ist. Über das Antriebsritzel (29) wird das Zahnrad
(12) angetrieben, das mit dem ebenfalls in der unteren Plattform (15) gelagerten
unteren Drehflansch (11) verbunden ist. Zwischen dem unteren Drehflansch (11)
und dem oberen Drehflansch (8) ist der Drehkraftaufnehmer (10) eingespannt. Der
obere Drehflansch (8) ist in der oberen Plattform (4) gelagert, die mit den Distanz
stücken (14) mit der unteren Plattform (15) drehtsteif verbunden ist. Die Schlüssel
elemente (5), die im oberen Drehflansch (8) eingelassen sind, greifen in die
Schlüssellöcher (3) des Drehverschlusses (2) des Boxendeckels (26) ein. Das
Gehäuse (19) besitzt als Einführhilfe und zur Vorzentrierung der Reinraum-
Transportbox (1) an den vier Ecken der nahezu quadratischen Aufsetzfläche jeweils
zwei Zentrierbolzen (6).
Zur Positionierung und Verdrehsicherung des Boxendeckels (26) sind zusätzlich in
der oberen Plattform (4) drei Stifte (7.1. . .7.3) befestigt, die in die entsprechenden
drei Aufnahmebohrungen (27) eingreifen.
Zur Überwachung und Begrenzung des Verschließwinkels α sind zwei Endschalter
(22, 23) angebracht, die über den Nocken (21) der Nockenscheibe (20) betätigt
werden. Die Nockenscheibe (20) ist fest mit dem oberen Drehflansch (8) verbunden.
Für den Prüfvorgang stehen die Schlüsselelemente (5) in der Grundposition, die der
verschlossenen Box (1) entspricht. Nach dem Aufsetzen der Box (1) bei betätigtem
Endschalter (22) auf die obere Plattform (4) wird der Antriebsmotor (13)
eingeschaltet und öffnet über die mechanische Verbindung zu den Schlüssel
elementen (5) den Drehverschluß (2) der Box (1). Der Antriebsmotor (13) schaltet
sofort ab, wenn der Endschalter (23) für die geöffnete Position erreicht ist. Nach
erneutem Einschalten des Antriebmotors (13) ändert sich die Drehrichtung und die
Box (1) wird wieder verschlossen. Während des Öffnens und Schließens wird die
Drehkraft mit dem Drehkraftaufnehmer (10) erfaßt und ausgewertet. Dies kann mit
einem eigenständigen Gerät oder einem entsprechend programmierten und schnitt
stellenangepaßten Computer erfolgen.
In Fig. 3 ist eine weitere Ausführungsform gezeigt, die das Prüfen von Reinraum-
Transportboxen (1') mit frontseitigem Deckel (26') und dem Drehverschluß (2')
ermöglicht. Dazu wird die Prüfeinrichtung (I) senkrecht gestellt und mit einer Grund
platte (25) fest verbunden. Eine weitere Plattform (28) ist über Verschiebeelemente
(24) ebenfalls mit der Grundplatte (25) verbunden. Die Plattform (28) enthält zur
Positionierung der Box drei standardgemäße Stifte (7'). Für das Aufsetzen der Box
(1') wird die Plattform (28) so weit zurückgezogen, daß der Deckel (26') der Box (1')
an den herausragenden Schlüsselelementen (5') vorbeigeführt werden kann. Durch
Zurückschieben der Box (1') gegen die Plattform (4) wird der Drehverschluß (2') in
die Schlüsselelemente (5') eingekuppelt. Nun kann mit der oben beschriebenen
Prüfprozedur begonnen werden.
Claims (4)
1. Einrichtung zur Prüfung der Verschlußkräfte an der Verriegelung von
Reinraum-Transportboxen (1, 1') dadurch gekennzeichnet, daß die Boxen an
eine obere Plattform (4) mit Ihrem Drehverschluß (2, 2') angedockt werden und
über Schlüsselelement (5, 5'), oberer Drehflansch (8), Drehkraftaufnehmer (10)
sowie unterer Drehflansch (11) mit dem Antriebsmotor (13) mechanisch
drehbar verbunden sind.
2. Einrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß der Meßbereich
und die Drehbewegung für das Öffnen und Schließen der Boxen (1, 1') durch
zwei Endschalter (22, 23) begrenzt und kontrolliert wird, die durch eine mit dem
oberen Drehflansch (8) fest verbundene Nockenscheibe (20) mit dem Nocken
(21) betätigt werden.
3. Einrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß der Drehkraft
aufnehmer (10) zwischen einem oberen Drehflansch (8) und dem unteren
Drehflansch (11) eingespannt ist.
4. Einrichtung nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß ein Reinraum-
Transportbehälter über eine standardisierte mechanische Schnittstelle mit
einer Drehkraft-Prüfeinrichtung verbunden wird.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001119702 DE10119702A1 (de) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | Einrichtung zur Prüfung der Verschlußkräfte an der Verriegelung von Reinraumtransportboxen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2001119702 DE10119702A1 (de) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | Einrichtung zur Prüfung der Verschlußkräfte an der Verriegelung von Reinraumtransportboxen |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE10119702A1 true DE10119702A1 (de) | 2002-10-24 |
Family
ID=7682310
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2001119702 Withdrawn DE10119702A1 (de) | 2001-04-20 | 2001-04-20 | Einrichtung zur Prüfung der Verschlußkräfte an der Verriegelung von Reinraumtransportboxen |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE10119702A1 (de) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2001
- 2001-04-20 DE DE2001119702 patent/DE10119702A1/de not_active Withdrawn
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