KR960035863A - 회전식 기판세정방법 및 회전식 기판세정장치, 회전식 기판세정장치에서 세정기구의 압압력 측정방법 - Google Patents

회전식 기판세정방법 및 회전식 기판세정장치, 회전식 기판세정장치에서 세정기구의 압압력 측정방법 Download PDF

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Abstract

기판을 연직방향의 축심주위로 회전가능하게 유지하는 기판유지수단을 구성하는 회전축에 회전대를 대신해서 통부재를 설치하고, 그 통부재에 연이어 접속한 지지브라켓에 세정브러쉬를 받아들여 세정브러쉬에서의 압압하중을 측정하는 하중계를 얹어 놓는다. 이때, 하중계의 감압부의 상면이 기판유지부재에 의해 유지되는 기판의 표면과 동일렐벨이 되도록 미리 설정되고, 실제로 처리하는 기판과 같은 위치에서 기판에 걸리는 압압력 측정한다.

Description

회전식 기판세정방법 및 회전식 기판세정장치, 회전식 기판세정장치에서 세정기구의 압압력 측정방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

Claims (8)

  1. 기판을 기판유지수단으로 유지시켜 연직방향의 축심주위로 회전시키고, 상기 기판에 세정액을 공급하여 소정의 세정처리를 행하는 회전식 기판 세정방법에 있어서, 기판표면을 세정기구로 세정하는 공정과, 상기 세정기구를 기판표면에 따라 수평방향으로 변위시키는 공정과, 상기 세정기구를 승강시키는 세정기구 승강공정과, 상기 기판표면의 세정기구에 의한 세정장소에 세정액을 공금하는 세정액 공급공정및, 상기 세정기구의 압압력을 측정하는 공정을 구비하는 회전식 기판세정방법.
  2. 제1항에 있어서, 기판유지수단에 의해 유지되는 간판의 표면과 동일 레벨이 되도록 설치되어 있는 하중 측정수단의 감압부에 상기 세정기구를 받아들여 상기 세정기구에서의 압압하중을 측정하는 공정을 더 구비하는 회전식 기판세정방법.
  3. 기판을 연직방향의 축심주위로 회전가능하게 유지하는 기판유지수단과, 기판표면을 세정하는 세정기구와, 상기 세정기구를 기판표면에 따라서 수평방향으로 변위시키는 세정기구 이동수단과, 상기 세정기구를 승강시키는 세정기구 승강수단과, 기판표면의 세정기구에 의한 세정장소에 세정액을 공급하는 세정액 공급수단을 구비한 회전식 기판세정장치에 있어서, 상기 기판유지수단에 의해 유지되는 기판의 표면과 동일레벨에서 상기 세정기구를 받아들여 상기 세정기구에서의 압압하중을 측정하는 하중 측정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 하중측정수단은, 기판유지수단을 구성하는 회전축에 착탈 가능하게 설치하는 지지부재와, 상기 지지부재상에 설치외는 하중계로 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 지지부재는 하중계를 얹어 놓은 지지브라켓과, 상기 지지브라켓에 설치되어 회전축에 설치된 위치결정핀에 바깥에서 끼워 일체로 회전가능하게 설치되는 통부재 및, 상기 통부재를 상기 회전축에 조여 고정하는 나사로 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  6. 제3항에 있어서, 상기 하중측정수단은 기판유지수단의 주위를 덮는 컵에 착탈 가능하게 설치되는 지지부재와, 상기 지지부재상에 설치되는 하중계로 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 지지부재는. 하중계를 얹어놓은 지지브라켓과, 상기 지지브라켓에 설치되어 컵의 종벽에 바깥에서 끼워 걸어맞추는 걸어맞춤부재 및, 상기 걸어맞춤부재를 상기 컵에 조여 고정하는 나사로 구성하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치.
  8. 기판을 연직방향의 축심주위로 회전가능하게 유지하는 기판유지수단과, 기판표면을 세정하는 세정기구와, 상기 세정기구를 기판표면에 따라서 수평방향으로 변위시키는 세정기구 이동수단과, 상기 세정기구를 승강하는 세정기구 승강수단과, 기판표면의 상기 세정기구에 의한 세정장소에 세정액을 공급하는 세정측정수단을 그 감압부와, 상기 기판유지수단에 의해 유지되는 기판의 표면이 동일레벨이 되도록 설치하고, 상기 감압부에 세정기구를 받아들여 상기 세정기구에서의 압압하중을 측정하는 것을 특징으로 하는 회전식 기판세정장치에서 세정기구의 압압력 측정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960008169A 1995-04-03 1996-03-25 회전식 기판세정방법 및 회전식 기판세정장치, 회전식 기판세정장치에서의 세정기구의 압압력 측정방법 KR100207946B1 (ko)

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