KR960035762A - 노광장치 - Google Patents

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KR960035762A
KR960035762A KR1019950004993A KR19950004993A KR960035762A KR 960035762 A KR960035762 A KR 960035762A KR 1019950004993 A KR1019950004993 A KR 1019950004993A KR 19950004993 A KR19950004993 A KR 19950004993A KR 960035762 A KR960035762 A KR 960035762A
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김창규
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  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
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Abstract

글라스탄(11)의 주변부(26a)(26b)(26c)(26d)에 묻은 포토레지스터의 잔류로 인하여 후공정에서 발생할 수 있는 불량의 소지를 없애고, 하나의 광원(1)으로 주변부(26a)(26b)(26c)(26d)노광까지 완료 하므로 제조 원가를 감소시키며, 다양한 크기의 글라스(11)을 용이하게 노광하기 위하여, 광원(1)으로부터 광을 접속하여 셧터(5)을 통하여 회로 패턴이 형성되어 있는 마스크(7)를 통과하고 상기 마스크(7)를 통과한 광이 포토레지스터가 도포되어 있는 글라스판(11)을 노광하는 노광장치에 있어서, 광원(1)으로부터 일부의 광을 인출하여 접속하고, 상기 집속되어진 광을 소정의 위치까지 이동시켜 결상하는 다수의 글라스판(11)의 주변부 노광수단과, 상기 노광수단으로 글라스판(11)을 노광하기 위하여 3축이상으로 이동가능하며, 별도의 구동원으로 구동되는 이송수단으로 구성하여, 별도의 주변 노광용광원이 불필요하므로 이에대한 비용을 감소시킬 수 있으며, 글라스판(11)의 주변부 (26a)(26b)(26c)(26d)의 노광을 완벽하게 수행하므로 포토레지스터가 잔류해 있을 경우 분진으로 변하여 후 공정시 이로 인한 오염의 원인이 될 수 있는 소지를 제거하는 노광장치.

Description

노광장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 의한 실시예를 도시한 정면도, 제2도는 본발명에의한 노광장치의 노광 과정을 도시한 사시도로서, (가)는 글라스판의 주변부 2면을 노광하는 상태를 도시한 사시도이고, (나)는 (가)의 작업이 완료된 후 글라스판의 다른 주변부를 노광하기 위하여 이송수단의 방향을 바꾸는 상태를 도시한 사시도이고, (다)는 글라스판의 다른 주변부 2면을 노광하는 상태를 도시한 사시도이다.

Claims (4)

  1. 광원으로부터 광을 집속하여 셧터를 통하여 회로 패턴이 형성되어 있는 마스크를 통과하고, 상기 마스크를 통과한 광이 포토레지스터가 도포되어 있는 글라스판을 노광하는 노광장치에 있어서, 광원(1)으로부터 일부의 광을 인출하여 집속하고, 상기 집속되어진 광을 소정의 위치까지 이동시켜 결상하는 다수의 글라스판(11)의 주변부 노광수단과, 상기 노광수단으로 글라스판(11)을 노광하기 위하여 별도의 구동원으로 구동되며 3축이상으로 이동 가능한 이송수단으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 주변부 노광수단은 광원(1)으로부터 광을 집속하여 경로를 바꾸어주는 1개 이상의 집속부재와, 상기 집속부재를 통과한 광을 모아주는 집광렌즈(25)와, 상기 집광렌즈(25)와 일측이 연결되며, 광을 소전의 위치까지 전달하는 광섬유(27)와, 상기 광섬유(27)의 다른 일측에 연결되며, 이를 통과한 광을 방사하는조명계 (29)로 이루어진 것을 특징으로 하는 노광장치.
  3. 제1항에 있어서, 이송수단은 받침대에 고정되며 상, 하 및 회전운동을 하는 엑츄에이터(16)와, 이의 일끝에 고정되며 직선운동을 하는 엑츄에이터(18)와, 상기 엑츄에이터(18)의 상단에 고정되며 글라스판(11)을 이동하기 위한 핸드(19)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
  4. 제2항에 있어서, 접속부재는 광원의 일측에 설치되며 프리즘(23)으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 노광장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950004993A 1995-03-10 1995-03-10 노광장치 KR0163091B1 (ko)

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