KR960033655A - 화학적/기계적 연마방법 및 장치 - Google Patents

화학적/기계적 연마방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명의 화학적/기계적 연마방법 및 장치는 반도체장치의 제조프로세스에 있어서, 단차(段差)를 가지는 기체(基體)를 평탄화함에 적용된다. 회전정반(定盤)에 팽팽하게 배설된 연마포상에 연마제를 공급하면서, 이 연마포에 기체를 슬라이드 접촉시킴으로써, 이 기체에 대한 연삭을 행하는 연마방법에 있어서, 도중까지는, 연마포에 대하여 회전연삭헤드의 연삭지립(砥粒)을 슬라이드 접촉시켜서 소정 조건으로 연삭함으로써, 이 연마포의 표면조도(組渡)가 연마개시 전의 표면조도와 대략 같고 일정하게 유지되는 조건 (제1의 조건)하에서 연마를 행하고, 그 후, 상기 연마를 정지함으로써, 이 연마포의 표면조도가 점감(漸減)하는 조건 (제2의 조건)하에서 잔여의 연마를 연속적으로 행한다. 높은 연마속도와 우수한 평탄성을 양립시킬 수 있으므로, 평탄성이 우수한 연마를 단시간에 달성할 수 있다.

Description

화학적/기계적 연마방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 관련기술의 연마장치의 모식적 측면도, 제2도는 본 발명의 제1의 실시예에 관한 연마장치를 나타낸 모식적 측면도, 제3도는 본 발명을 적용하여 층간절연막의 평탄화를 행하는 프로세스를 나타낸 것이며, 배선패턴을 피복하는 층간절연막이 형성된 상태의 기체(基體)를 나타낸 모식적 단면도, 제8도는 본 발명의 제2의 실시예에 관한 연마장치를 나타낸 모식적 측면도, 제11도는 본 발명의 제3의 실시예에 관한 연마장치를 나타낸 모식적 상면도.

Claims (14)

  1. 회전정반(定盤)에 팽팽하게 배설된 연마포상에 연마제를 공급하면서, 이 연마포에 기체(基體)의 피연마면을 슬라이드 접촉시킴으로써, 이 기체에 대한 연마를 행하는 연마방법에 있어서, 상기 연마포의 표면조도(粗度)가 상기 연마개시 전의 표면조도와 대략 같고 일정하게 유지되는 제1의 조건하에서 상기 연마를 도중까지 행한 후, 상기 표면조도가 점감(漸減)하는 제2의 조건하에서 잔여의 연마를 상기 제1의 조건하의 상기 연마에 연속하여 행하는 것을 특징으로 하는 연마방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1의 조건은 상기 연마포에 대한 소정 조건의 연삭을 상기 연마돠 동시에 행함으로써 생성시키고, 상기 제2의 조건은 이 연삭을 정지함으로써 생성시키는 것을 특징으로 하는 연마방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 연마가 종료되고, 상기 기체를 상기 연마포로부터 이간시킨 후, 이 연마포에 대하여 소정 조건의 연삭을 행함으로써, 이 연마포의 표면조도를 연마개시 전의 표면조도와 대략 같아지도록 회복시키는 것을 특징으로 하는 연마방법.
  4. 회전정반에 팽팽하게 배설된 연마포상에 연마제를 공급하면서, 이 연마포에 기체의 피연마면을 슬라이드 접촉시킴으로써, 이 기체에 대한 연마를 행하는 연마방법에 있어서, 상기 연마포의 표면조도가 상대적으로 크고 일정하게 유지되는 제1의 조건하에서 상기 연마를 도중까지 행한 후, 상기 표면조도가 상대적으로 작고 일정하게 유지되는 제2의 조건하에서 잔여의 연마를 상기 제1의 조건하의 상기 연마에 연속하여 행하는 것을 특징으로 하는 연마방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 제1의 조건은 어떤 회전정반에 팽팽하게 배설된 어떤 연마포에 대하여 소정 조건의 연삭을 행함으로써 생성시키고, 상기 제2의 조건은 다른 회전정반에 팽팽하게 배설된 다른 연마포에 대하여 상이한 조건의 연삭을 행함으로써 생선시키는 것을 특징으로 하는 연마방법.
  6. 제5항에 있어서, 상기 연마포에 대한 연삭은 회전연삭헤드를 그 연삭지립(砥粒) 유지면을 회전시키면서 이 연마포에 슬라이드 접촉시킴으로써 행하고, 상기 상이한 조건의 연삭은 상기 소정 조건의 연삭보다도, 상기 회전연삭헤드의 압압력, 회전수, 연삭지립의 입경, 연삭지립의 경도의 최소한 어느 하나를 감하여 행하는 것을 특징으로 하는 연마방법.
  7. 제4항에 있어서, 상기 제1의 조건은 단일의 회전정반에 팽팽하게 배설된 연마포에 대하여, 어떤 소정 지점에 있어서 소정 조건의 연삭을 행함으로써 생성시키고, 상기 제2의 조건은 동일한 연마포에 대하여, 다른 소정 지점에 있어서 상이한 조건의 연삭을 행함으로써 생성시키는 것을 특징으로 하는 연마방법.
  8. 제7항에 있어서, 상기 연마포에 대한 연삭은 회전연삭헤드를 그 연상지립 유지면을 회전시키면서 이 연마포에 슬라이드 접촉시킴으로써 행하고, 상기 상이한 조건의 연삭은 상기 소정 조건의 연삭보다도, 상기 회전연삭헤드의 압압력, 회전수, 연삭지립의 입경, 연삭지립의 경도의 최소한 어느 하나를 감하여 행하는 것을 특징으로 하는 연마방법.
  9. 각각 연마포가 팽팽하게 배설된 2 이상의 회전정반과, 상기 각 연마포상에 각각 연마제를 공급하는 연마제공급수단과, 상기 각 회전정반마다 상기 각 연마포에 대향하도록 배설되고, 그 연삭지립유지면을 회전시키면서 이 각 연마포에 슬라이드 접촉시킴으로써, 이 각 연마포에 서로 상이한 표면조도를 부여하도록 연삭을 행하는 회전연삭헤드와, 기체를 밀착지지하고, 이것을 회전시키면서 상기 각 연마포에 슬라이드 접촉시키기 위한 기체지지대와, 상기 기체를 상기 각 회전정반 사이에서 이동시키는 이동수단과를 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  10. 제9항에 있어서, 상기 회전연삭헤드의 각각은 그 연마포에의 압압력 및 또는 회전수를 서로 상이하도록 제어가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  11. 제9항에 있어서, 상기 회전연삭헤드의 각각은 연삭지립의 경도 및 또는 입경이 상이한 것을 특징으로 하는 연마장치.
  12. 연마포가 팽팽하게 배설된 단일의 회전정반과, 상기 연마포상에 연마제를 공급하는 연마제공급수단과, 상기 연마포에 대향하는 2개소 이상의 소정 지점에 각각 배설되고, 그 연삭지립 유지면을 각각 회전시키면서 이 연마포에 슬라이드 접촉시킴으로써, 각 소정 지점의 각 하류측 영역에 있어서 이 연마포에 상이한 표면조도를 부여하도록 연삭을 행하는 복수의 회전연삭헤드와, 기체를 밀착지지하고, 이것을 회전히키면서 상기 연마포에 슬라이드 접촉시키기 위한 기체지지대와, 상기 기체를 상기 각 하류측 영역사이에서 이동시키는 이동수단과를 구비하는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  13. 제12항에 있어서, 상기 회전연삭헤드의 각각은 그 연마포에의 압압력 및 또는 회전수를 서로 상이하도록 제어가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 연마장치.
  14. 제12항에 있어서, 상기 회전연삭헤드의 각각은 연삭지립의 경도 및 또는 입경이 상이한 것을 특징으로 하는 연마장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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