KR960033622A

KR960033622A - 와이어소(wire saw)및 가공품에서 웨이퍼를 절삭하는 방법

Info

Publication number: KR960033622A
Application number: KR1019960007426A
Authority: KR
Inventors: 에글후버 칼
Original assignee: 귄터 쉬르베ㆍ게르트 켈러; 와커 실트로닉 게셀샤프트 퓌르 할브라이 테르 마테리아리엔 엠 베하
Priority date: 1995-03-23
Filing date: 1996-03-19
Publication date: 1996-10-22
Also published as: JPH08267446A; JP3010426B2; EP0733429B1; DE19510625A1; DE59601098D1; EP0733429A1; KR0171513B1; TW353781B; US5616065A

Abstract

이 발명은 가공품에서 웨이퍼를 절삭하는 와이어소(wire saw)와, 그 와이어소를 사용하는 톱질방법에 관한 것이다.

그 와이어소는 그 사용 절삭평면으로 와이어 세그멘트를 안내하는 안내시스템을 구성하며, 적어도 하나의 측정장치와 적어도 하나의 제어장치를 구비하여, 그 측정장치는 공간위치가 와이어 세그멘트의 부정확한 위치에 따라 결정되는 측정지점까지의 거리를 측정함으로서 그 사용 절삭평면에 대하여 와이어 세그멘트의 부정확한 위치를 검출하고, 그 제어장치는 필요할 경우 와이어 세그멘트 또는 가공품의 보상운동을 힘전달(force transsmission)에 의해 행하고, 그 보상운동은 와이어 세그멘트를 그 사용 절삭평면으로 이동한다.

Description

와이어소(wire saw) 및 가공품에서 웨이퍼를 절삭하는 방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 4개의 와이어가이드롤러(wire guide rollers)를 가진 롤러시스템(roller system)의 개략도,

제2도 내지 제5도는 제1도의 롤러시스템을 가진 이 발명에 의한 와이어소(wire saw)실시예의 일부절단 측면도, 제2a도는 제2도의 확대단면도.

Claims

가공품으로부터 웨이퍼를 절삭시키며, 머신프레임(machine frame)을 구비하고 공급장치(feed device)을 가지며, 조합하여 절삭헤드(cutting head)를 형성하는 롤러시스템을 구비하고, 베어링 스핀들(bearing spindles)에 링크되고 회전할 수 있도록 장착되며 그 베어링스핀들중 적어도 하나가 구동되는 다수의 와이어가이드롤러(wire guiderollers)를 구성하며, 톱질공구로서 사용되는 적어도 하나의 와이어 웨브(wire web)를 가지며, 2개의 와이어 가이드롤러 사이에 평행하게 설정되고 그 롤러시스템 주위에 와이어 가이드롤러의 축에 수직이동을 하며 그 가공품을 통하여 그 사용 절삭평면에 의해 그 공급장치에 따라 작동하여 침식수단(eroding means)이 공급되며 다수의 평행한 톱질간극(sawing gaps)를 형성하게 하는 와이어 세그멘트(wire segments)를 구성하는 와이어소(wire saw)에 있어서, 적어도 하나의 측정장치와 적어도 하나의 제어장치를 가진 사용 절삭평면으로 와이어 세그멘트(wire segments)를 안내하는 안내시스템(guidance system)을 구성하며, 그 측정장치는 와이어 세그멘트의 부정확한 위치에 따라 공간위치(spatial position)가 결정되고 측정지점으로부터의 거리를 측정함으로써 그 사용 절삭평면에 대한 와이어 세그멘트의 부정확한 위치를 검출하며, 그 제어장치는 필요할 경우 힘전달(force transmission)에 의해 와이어 세그멘트 또는 가공품의 보상운동을 행하며, 그 보상운동은 그 와이어 세그멘트를 그 사용 절삭평면으로 이동하도록 함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 기계적 측정원리, 광측정원리, 유압측정원리, 공기압축 측정원리, 용량 또는 유도 측정원리에 의해 작동하는 일군의 거리측정장치에서 선택되는 측정장치를 구성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항 또는 제2항에 있어서, 응동압변환기(piezoelectric translators), 열로드(thermal rods) 및 유압, 공기압축, 자기 또는 기계적으로 작동하는 제어기어로 구성되는 그룹에서 선택한 제어장치를 구성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 그 베어링스핀들 및 와이어웨브의 와이어 가이드롤러의 내부냉각용으로 사용되는 원추형 경사채널(conically tapered channels)을 가진 베어링스핀들로 구성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 그 사용 절삭평면에 대하여 횡방향인 가공품을 운동하도록 하는 수단을 구성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 그 공급장치는 공급가이드(feed guide)와 평행하게 설정된 측정구성요소로서 감지바(sensing ber)를 구성하며, 그 측정장치쪽으로 향한 측표면에는 측정지점을 형성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 측정구성요소로서, 탄성 지지구성요소에 의해 중공의 베어링스핀들에 센터링(centering)되고 그 축방향센터에서 그 와이어웨브의 와이어 가이드롤러상에 장착되어 있는 측정축을 구성하며, 그 측정장치쪽으로 향한 그 단면(end face)에는 측정지점을 형성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 측정구성요소로서, 그 와이어웨브의 최초 또는 최종 와이어 세그멘트의 선상에서 가급적 밀접하게 그 와이어가이드 롤러와 인접베어링 스핀들 사이에 고정시킨 측정디스크를 구성하며, 그 측정장치쪽으로 향한 측면에는 측정지점을 형성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 측정 구성요소로서 탄성 지지구성요소에 의해 그 중공의 베어링 스핀들에 센터링되고, 그 와이어웨브의 최초 또는 최종 와이어 세그멘트의 선상에서 가급적 밀접하게 그 베어링스핀들상에 장착시킨 측정축을 구성하며, 그 고정기준점쪽으로 향한 단면(end face)에는 측정지점을 형성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제9항에 있어서, 그 측정축은 와이어 가이드롤러의 베어링에 링크된 축으로 구성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 그 와이어웨브의 와이어 가이드롤러를 축방향으로 가동할 수 있게 장착시킴을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 그 사용 절삭평면에 대하여 횡방향으로 이동할 수 있도록 장착시킨 절삭헤드(cutting head)를 구성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 다수의 가공품을 동시가공하는 다수의 와이어웨브를 구성함을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항에 있어서, 그 측정구성요소와, 선택적으로 그 와이어웨브의 와이어 가이드롤러가 열팽창계수 α<=1.0*10^-6K^-1의 재료로부터 제조됨을 특징으로 하는 와이어소(wire saw).
제1항 내지 제14항 중 어느 한 항의 와이어소(wire saw)에 의해 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법에 있어서, 그 사용 절삭평면에 대한 와이어 세그멘트의 부정확한 위치를, 공간위치가 와이어 세그멘트의 부정확한 위치상에서 결정되는 측정지점까지의 거리를 측정함으로서 측정장치에 의해 검출되며, 설정거리로부터 측정거리의 편차가 발생할 경우, 그 와이어 세그멘트 또는 가공품의 보상운동이 제어장치에 의해 행하여지고, 그 보상운동으로 와이어 세그멘트를 사용 절삭평면으로 이동함을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.
제15항에 있어서, 그 가공품의 보상운동은 그 가공품의 힘전달로 그 제어장치에 의해 행하여짐을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.
제15항에 있어서, 그 가공품의 보상운동은 제어장치에 의한 그 가공품의 힘전달에 의해 행하여짐을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.
제15항에 있어서, 그 와이어 세그멘트의 보상운동은 그 제어장치에서 와이어웨브의 와이어 가이드롤러까지 힘전달(force transmission)에 의해 행하여짐을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.
제15항에 있어서, 그 와이어 세그멘트의 보상운동은 제어장치에서 그 절삭헤드까지 힘전달에 의해 행함을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.
제15항에 있어서, 그 와이어 세그멘트의 보상운동은 가공품에서 웨이퍼절삭을 개시하기전에 행하며, 그 와이어 세그멘트는 가공품에 대하여 소정의 위치배향을 얻음을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.
제15항에 있어서, 그 설정거리는 가공품에서 웨이퍼를 절삭할때 소정의 프로그램에 따라 변경시킴을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.
제15항에 있어서, 그 공급운동은 가공품에서 웨이퍼를 절삭한 후 종료되고, 그 와이어웨브의 2개의 와이어 세그멘트 사이의 거리와 적어도 동일한 그 와이어 세그멘트의 보상운동을 행하여 축방향으로 향하게함을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.
제15항에 있어서, 그 안내 시스템은 베어링의 작동할 수 있는 공간(bearing plays)의 초기검출에 사용함을 특징으로 하는 가공품으로부터 웨이퍼를 절삭하는 방법.

※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.