KR960032780A - 레일-인(Rail-in) 센서 - Google Patents
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Abstract
신규한 레일-인 센서(Rail-in Sensor)가 개시되어 있다. 본 발명의 레일-인 센서는, 포토 센서의 규격에 맞는 터미널이 부착된 센서 보드(sensor board)와, 센서가 장착되는 윗 부분에 캡(cap)이 씌어진 센서 어시(sensor assiy)를 구비한다. 장비의 오동작 및 공정 불량을 방지하고, 웨이퍼의 생산성을 향상시킬 수 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명에 의한 레일-인 센서가 부착된 현상장비의 개략도.
Claims (2)
- 포토 센서의 규격에 맞는 터미널이 부착된 센서 보드(sensor board); 및 센서가 장착되는 윗 부분에 캡(cap)이 씌어진 센서 어시(sensor assiy)를 구비하는 것을 특징으로 하는 레일-인 센서.
- 제1항에 있어서, 상기 센서 어시는, 상기 센서 보드와 센서 어시가 정확하게 밀착되도록 그 측면에 홀(hole)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 레일-인 센서.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950003548A KR960032780A (ko) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 레일-인(Rail-in) 센서 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950003548A KR960032780A (ko) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 레일-인(Rail-in) 센서 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960032780A true KR960032780A (ko) | 1996-09-17 |
Family
ID=66549222
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950003548A KR960032780A (ko) | 1995-02-23 | 1995-02-23 | 레일-인(Rail-in) 센서 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR960032780A (ko) |
-
1995
- 1995-02-23 KR KR1019950003548A patent/KR960032780A/ko not_active Application Discontinuation
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