KR960030980A - 삼불화질소 희석물에 의한 열세정 방법 - Google Patents

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앤쏘니 슈나이더 찰스
제임스 깁슨 알.
마틴 앵글 죠지
앨런 헐링 브루스
Original Assignee
윌리엄 에프. 마쉬
에어 프로덕츠 앤드 케미칼스, 인코오포레이티드
제이. 더블유. 액터펠트
애스펙트 시스템즈, 인코오포레이티드
죠지 앵글
지이씨, 인코오포레이티드
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Abstract

본 발명은 고온, 일반적으로 공정 작업 온도에서 열 활성화된 삼불화질소 희석물로 반도체 제조 장치 및 특히 석영 재료를 동력학적으로 세정하는 방법에 관한 것이며, 이때 세정 배출액은 안전하게 제거되고 세정 부산물은 분리 또는 희석되어 효율적인 세정을 제공하고 세정된 제조 장치는 신속하게 재개시킬 수 있다.

Description

삼불화질소 희석물에 의한 열세정 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 냉각 트랩 및 진공 벤츄리를 사용하는 본 발명의 세정 장치의 제1양태의 개요도.
제2도는 제1도에 도시한 본 발명의 세정장치의 제1양태에 있어서, 기계식 진공 펌프를 사용하여 진공을 거는 또 다른 양태를 도시한 부분 개요도.
제3도는 제1도에 도시한 본 발명의 세정 장치에 있어서, 냉각 트랩을 사용하지 않고 가열된 기체를 진공 벤츄리에 사용하는 바람랍직한 양태의 부분 개요도.

Claims (14)

  1. 삼불화질소 희석물을 사용하여 반도체 제조시에 재료 및/또는 장치의 표면을 세정하는 하기 (a) 내지 (e) 단계를 포함하는 방법 : (a) 상기 재료 및/또는 장치의 표면이 접하는 구역(zone)을 일치 배기시키는 단계 ; (b) 상기 구역을 삼불화질소를 해리시키기에 충분한 고온으로 유지시키는 단계 ; (c) 상기 구역을 통해 삼불화질소와 불활성 기체의 혼합물(이 혼합물의 삼불화질소 : 불활성 기체의 비가 약 2% : 98% 내지 70% : 30% 범위이고, 상기 불활성 기체가 질소, 아르곤, 헬륨 및 이의 혼합물로 구성된 군에서 선택됨)을 유입시키는 단계 ; (d) 상기 삼불화질소 및/또는 삼불화질소에서 해리된 불소 세정 시약과 화학 반응시켜 휘발성 반응 생성물을 형성시킴으로써 상기 재료 및/또는 장치의 표면상에 있는 바람직하지 않은 물질을 세정하는 단계 ; 및 (e) 상기 구역을 2차 배기시키므로서 이 구역에서 상기 폐기물인 휘발성 반응 생성물, 임의의 잔류 삼불화질소 및 불활성 기체를 제거하는 단계(이때 상기 폐기물은 가열된 배기 도관을 통해 배기됨).
  2. 제1항에 있어서, 단계 (b)의 고온 범위가 약 550℃ 내지 1000℃인 방법.
  3. 제1항에 있어서, 단계 (b)의 고온 범위가 약 600℃ 내지 900℃인 방법.
  4. 제1항에 있어서, 단계 (b)의 고온 범위가 약 620℃ 내지 850℃인 방법.
  5. 제1항에 있어서, 폐기물을 가압 기체 진공 벤츄리를 사용하여 배기시키는 방법.
  6. 제5항에 있어서, 가압 기체를 가열한 후 진공 벤츄리에 통과시키는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 폐기물 기계식 진공 펌프를 사용하여 배기시키는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 폐기물을 냉각 트랩으로 배기시켜 상기 폐기물을 이 냉각 트랩안에 포획하는 방법.
  9. 제8항에 있어서, 냉각 트랩을 상기 구역에서 연속적으로 분리시키고, 이 냉각 트랩을 다시 배기시켜 폐기용 냉각 트랩에서 폐기물을 제거하는 방법.
  10. 제5항에 있어서, 폐기물을 가압 기체로 희석시키는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 폐기물을 세척하고 배출시키는 방법.
  12. 제5항에 있어서, 가압 기체가 질소, 아르곤, 헬륨 및 이의 혼합물로 구성된 군에서 선택되는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 상기 구역을 2차 배기시킨 후 불활성 기체로 퍼지(purge)하는 방법.
  14. 제1항에 있어서, 일차 배기를 200토르 이하의 압력에서 실시하고, 삼불화질소 희석물의 유동은 750토르 이하의 압력에서 실시하고, 가열은 620 내지 850℃에서 실시하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960003557A 1995-02-17 1996-02-14 삼불화질소 희석물에 의한 열세정 방법 KR960030980A (ko)

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