KR960030099A - 박막 자기 헤드의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 박막 자기 헤드의 제조방법에 관하여 개시한 것으로서, 본 발명에 의한 박막 자기 헤드의 제조방법은 자성막에 Cr 금속마스크를 형성하고, 이 금속마스크를 포토레지스트를 사용하여 반응성 이온증착법(RIE) 또는 화학적 에칭법으로 식각한 다음, 자성막을 이온 빔 증착법에 의해 IB E장비와 Ar개스 및 H2개스 그리고 N2개스를 이용하여 식각함으로써 트랙폭의 미세선폭을 정밀하게 제어할 수 있도록 한 것이다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제6도는 본 발명에 의한 박막 자기 헤드의 제조방법에 대한 일예를 나타내 보인 개략적 제조공정도이며, 제7도는 제6도에 도시된 본 발명의 제조 공정에서 이온 빔 에칭시 H2및 N2첨가 개스를 사용하지 않은 경우의 각 금속막에 대한 선택성을 나타내 보인 도표, 그리고 제8도는 제6도에 도시된 본 발명의 제조 공정에서 이온 빔 에칭시 H2및 N2첨가 개스를 사용한 경우의 각 금속막에 대한 선택성을 나타내 보인 도표이다.
Claims (3)
- 자성막에 금속마스크를 형성하는 단계와; 상기 금속마스크를 포토레지스트를 사용하여 반응성 이온증착법(RIE) 또는 화학적 에칭법으로 식각하는 단계; 및 상기 자성막을 이온 빔 증착법에 의해 식각하는 단계를 순차 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 박막 자기 헤드의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 자성막 식각 단계는 IBE 장비와 Ar개스 및 H2개스 그리고 N2개스를 이용하여 식각하는 것을 특징으로 하는 박막 자기 헤드의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 금속마스크는 Cr로 형성하는 것을 특징으로 하는 박막 자기 헤드의 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950001558A KR960030099A (ko) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 박막 자기 헤드의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1019950001558A KR960030099A (ko) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 박막 자기 헤드의 제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960030099A true KR960030099A (ko) | 1996-08-17 |
Family
ID=66531559
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1019950001558A KR960030099A (ko) | 1995-01-27 | 1995-01-27 | 박막 자기 헤드의 제조방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR960030099A (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100623419B1 (ko) * | 2005-06-29 | 2006-09-13 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 쉐도우 마스크 및 그의 제조 방법 |
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1995
- 1995-01-27 KR KR1019950001558A patent/KR960030099A/ko active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100623419B1 (ko) * | 2005-06-29 | 2006-09-13 | 엘지.필립스 엘시디 주식회사 | 쉐도우 마스크 및 그의 제조 방법 |
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