KR960026065A - 주사전자 현미경의 단면시료 제작방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 주사전자 현미경(Scanning Electron Microscope)을 이용하여 시료내 특정부위의 단면을 관찰하기 위한 특정부위 단면시료 제작방법에 관한 것이다.

종래의 단면시료 제작방법은 관찰하고자 하는 부위가 작을 경우 정확히 전달하기가 불가능하였으며, 특정부위의 단면시료는 원하는 부위까지 기계적으로 연마할때 시료의 연마된 부위가 손상되는 문제점들이 있었다,

본 발명은 상술한 문제점들을 극복하기 위한 것으로 주사전자 현미경으로 관찰하고자 하는 부위를 4×5㎜로 절단하여 슬라이드 유리로 보호한 후 트리포드로 연마하는 수동적 기계연마 공정과, 상기 공정 후 트리포드 시료지지대를 딤플기의 시료지지대에 장착하여 딤플연마하는 공정과, 상기 공정 후 트리포드 시료지지대를 이온연마기의 시료지지대에 장착하여 이온연마하는 공정을 포함하여 손상되지 않는 단면시료를 제작하도록 하였다.

Description

주사전자 현미경의 단면시료 제작방법

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도는 본 발명의 딤플(dimple) 연마를 위한 시료지지대를 나타낸 것으로, (A)는 사시도, (B)는 평면도이다.

Claims (3)

1. 관찰하고자 하는 시료를 소정 크기로 절단한 후 슬라이드 유리로 보호하여 트리포드를 이용하여 시료를 연마하는 수동적 기계연마 공정과, 상기 수동적 기계연마 공정을 마친 시료가 장착된 트리포드 시료지지대를 딤플연마기의 시료지지대(10)에 직접 장착하여 시료의 원하는 부위까지 연마하는 딤플연마공정과, 상기 딤플 연마 공정 후 시료가 장착된 상기 트리포드 시료지지대를 이온연마기의 시료지지대(20)에 장착하여 기계연마공정에서 발생한 시료의 손상된 부위를 제거하는 이온연마 공정을 포함하는 주사전자 현미경의 단면시료 제작방법.
2. 제1항에 있어서, 상기 딤플연마기의 시료지지대는 상기 트리포드 시료지지대가 삽입되는 이 트리포드 시료지지대와 동일한 직경의 구멍(11)을 구비하되 이 구멍과 편심을 갖는 소정크기의 원통으로 형성한 주사전자 현미경의 단면시료 제작방법.
3. 제1항에 있어서, 상기 이온연마기의 시료지지대(20)는 상기 트리포드 시료지지대에 장착된 시료이온 연마시 아르곤 빔의 중앙에 위치하도록 장착하는 주사전자 현미경의 단면시료 제작방법.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.