KR960025349A - 기판 상에 소자를 형성하는 자기 헤드의 제조 방법 및 자기 헤드가 형성된 기판 - Google Patents

기판 상에 소자를 형성하는 자기 헤드의 제조 방법 및 자기 헤드가 형성된 기판 Download PDF

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KR960025349A
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이사무 유이또
도우루 미야자끼
하루노부 사이또
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가나이 쯔도무
가부시끼가이샤 히다찌 세이사꾸쇼
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Abstract

자기 저항 효과 헤드 및 기록 재생 분리형 복합 헤드 소자의 형성시에 있어서, 정전기에 의한 소자의 절연 파괴를 방지하고, 높은 수율로 소자를 형성하기 위해, 자기 저항 효과형 헤드를 구성하는 전극과 실드막과, 혹은 전극과 실드막 및 유도형 박막 자기 헤드의 자극을 전기적으로 접속하여, 기판 상에 다수의 헤드 소자를 형성하는 제조 프로세스를 실시하고, 소자의 제조 후, 분리시에 상기 접속을 제거한다. 이에 따라, 프로세스 도중의 정전기에 의한 소자의 절연 파괴를 방지할 수 있고, 높은 수율로 소자를 형성한다.

Description

기판 상에 소자를 형성하는 자기 헤드의 제조 방법 및 자기 헤드가 형성된 기판
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 따른 기록 재생 분리형 복합 헤드의 단면 구조로 도시한 도면.

Claims (5)

  1. 상부, 하부 실드막, 자기 저항 효과막, 상기 자기 저항 효과막에 바이어스 자계를 인가하기 위한 바이어스막, 상기 자기 저항 효과막에 전기적으로 접속된 전극, 상기 전기 저항 효과막 및 전극과 상기 상부, 하부 실드막과의 사이에 형성된 상부, 하부 갭막, 바크하우겐 노이즈(Barkhausen noise)를 억지하기 위하여 자기 저항 효과막과 전기적으로 접속되고, 또한 그 양단에 형성된 자구 제어막 등으로 이루어지는 자기 저항 효과형 헤드 소자의 복수개를 상기 전극과 상기 상부 및 하부 실드막을 전기적으로 접속하여 기판 상에 형성하고, 기판 상에 형성된 상기 자기 저항 효과형 헤드 소자를 1개식 분리하고, 상기 전극과 상부 및 하부 실드막과의 전기적인 접속을 분리하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드의 제조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 자기 저항 효과형 헤드 소자와, 기록을 위하여 유도형 박막 자기 헤드 소자를 적층하고, 상기 하부 실드막을 상기 유도형 박막 자기 헤드 소자와 공용하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드의 제조방법.
  3. 상부, 하부 실드막, 자기 저항 효과막, 상기 자기 저항 효과막에 바이어스 자계를 인가하기 위한 바이어스막, 상기 자기 저항 효과막에 전기적으로 접속된 전극, 상기 자기 저항 효과막 및 전극과 상기 상부, 하부 실드막과의 사이에 형성된 상부·하부갭막, 바크하우겐 노이즈를 억지하기 위하여 자기 저항 효과막과 자기적으로 접속되고, 또한 그 양단에 형성된 자구 제어막 등으로 이루어지는 자기 저항 효과형 헤드 소자의 복수개가 상기전극과 상부 및 하부 실드막을 전기적으로 접속하여 기판 상에 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 소자군을 갖는 기판.
  4. 제3항에 있어서, 상기 자기 저항 효과형 헤드 소자와, 기록을 위하여 유도형 박막 자기 헤드 소자를 적층하고, 상기 하부 실드막을 상기 유도형 박막 자기 헤드 소자와 공용하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 소자군을 갖는 기판.
  5. 상부, 하부 실드막, 자기 저항 효과막, 상기 자기 저항 효과막에 바이어스 자계를 인가하기 위한 바이어스막, 상기 자기 저항 효과막에 전기적으로 접속된 전극, 상기 자기 저항 효과막 및 전극과 상기 상부, 하부 실드막과의 사이에 형성된 상부·하부갭막, 바크하우젠 노이즈를 억지하기 위하여 자기 저항 효과막과 자기적으로 접속되고, 또한 그 양단에 형성된 자구 제어막을 순차 형성하는 행정을 포함하고, 상기 하부 갭막 및 상부 갭막의 형성시, 이러한 막에 스루 홀을 설치하고, 상기 스루 홀을 통하여 상기 전극과 상부 및 하부 실드막을 전기적으로 접속하는 것을 특징으로 하는 자기 헤드 소자군을 갖는 기판의 제조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950048700A 1994-12-13 1995-12-12 기판 상에 소자를 형성하는 자기 헤드의 제조 방법 및 자기 헤드가 형성된 기판 KR960025349A (ko)

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