KR960019810A - 자기 정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법 - Google Patents
자기 정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 실리콘 V-홈과 플립칩 본딩을 이용하는 광섬유-광소자간의 광결합장치를 제조하는 방법에 관한 것으로 보다 상세하게는 레이저 다이오드나 포토 다이오드 같은 광소자를 플립칩 본딩하여 V-홈에 실장되는 광섬유와 결합시킬때 광소자가 실장될 플립칩 본딩 패드의 위치를 V-홈에 대해 재정렬할 필요가 없도록 하기 위한 자기정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법에 관한 것이다.
특징적인 구성으로는 실리콘 기판위에 실리콘 질화막 혹은 실리콘 산화막 등의 절연막을 형성하는 제1공정과, 상기 제1공정에 의해 형성된 절연막 위에 증착 금속층을 사진 전사공정과 리프트-오프 공정으로 형성하는 제2공정과, 상기 제2공정에 의해 형성된 실리콘 기판 전면에 플라즈마 보강 화학 기상 증착법(PECVD; plasma enhanced chemical vapor deposition)에 의한 실리콘 질화막 혹은 저온방식에 의한 실리콘 질화막을 형성시키는 제3공정과, 상기 제3공정에 의해 형성된 실리콘 기판에 사진전사 공정과 실리콘 질화막 혹은 실리콘 산화막의 식각작업에 의해 실리콘 V-홈 식각창과 솔더댐을 동시에 형성하는 제4공정과, 상기 제4공정에 의해 형성된 기판위에 이방성 실리콘 식각용액으로 실리콘 V-홈을 형성하고 솔더를 증착금속층 패턴위에 증착함으로써 V-홈과 솔더범프를 가진 광섬유-광소자 결합장치를 위한 실리콘 기판을 완성하는 제5공정으로 이루어짐에 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1J도는 본 발명에서의 실리콘 V-홈과 솔더범프가 자기정렬되는 실리콘 기판을 제조하는 방법을 도시한 단면도.
Claims (6)
- 실리콘 기판위에 실리콘 질화막 혹은 실리콘 산화막 등의 절연막을 형성하는 제1공정과, 상기 제1공정에 의해 형성된 절연막 위에 증착 금속층을 사진전사 공정과 리프트-오프 공정으로 형성하는 제2공정과, 상기 제2공정에 의해 형성된 실리콘 기판 전면에 플라즈마 보강 화학 기상 증착법 (PECVD)에 의한 실리콘 질화막 혹은 저온방식에 의한 실리콘 질화막 등을 절연막을 재 형성시키는 제3공정과, 상기 제3공정에 의해 형성된 실리콘 기판에 사진전사 공정과 실리콘 질화막 혹은 실리콘 산화막의 식각작업에 의해 실리콘 V-홈 식각창과 솔더차단막을 동시에 형성하는 제4공정과, 상기 제4공정에 의해 형성된 기판위에 이방성 실리콘 식각용액으로 실리콘 V-홈을 형성하고 솔더물질을 증착 금속층 패턴위에 증착함으로써 V-홈과 솔더범프를 가진 광섬유-광소자 결합장치를 위한 실리콘 기판을 완성하는 제5공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 자기 정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2공정은 증착 금속층위에 금을 전기도금하여 V-홈식각시 금속층의 부식을 방지하는 것을 특징으로 하는 자기정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2공정은 증착 금속층 패턴을 실리콘 기판위에 형성시킬 때 실리콘 웨이퍼에 대하여 평행하게 혹은 수직하게 금속층 패턴을 정렬시켜 V-홈 패턴의 형성시 금속층 패턴에 의해 V-홈 패턴이 웨이퍼의 결정 방향과 정렬되게 하는 것을 특징으로 하는 자기정렬된 광섬유-광소자 결합장치치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제2공정은 증착 금속층 패턴을 실리콘 기판위에 형성시킬 때 실리콘 웨이퍼에 대하여 평행하게 혹은 수직하게 정렬되어 미리 형성된 정렬용 V-홈 패턴에 정렬하여 금속층 패턴이 결정방향과 정렬되게 하는 것을 특징으로 하는 자기정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제4공정은 V-홈의 식각 이전에 솔더범프를 먼저 형성시키고 그 후에 V-홈을 식각하여 V-홈과 솔더범프를 자기정렬시키는 것을 특징으로 하는 자기정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제4공정은 솔더 차단막의 크기를 금속층 패드의 크기보다 작게하여 솔더댐으로 하여금 솔더범프의 위치를 결정하게 하는 것을 특징으로 하는 자기정렬된 광섬유-광소자 결합장치의 제조방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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