KR960018313A - 밸브구동제어방법과 밸브구동제어장치 및 유동체공급장치 - Google Patents

밸브구동제어방법과 밸브구동제어장치 및 유동체공급장치 Download PDF

Info

Publication number
KR960018313A
KR960018313A KR1019950038419A KR19950038419A KR960018313A KR 960018313 A KR960018313 A KR 960018313A KR 1019950038419 A KR1019950038419 A KR 1019950038419A KR 19950038419 A KR19950038419 A KR 19950038419A KR 960018313 A KR960018313 A KR 960018313A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
control
valve
control medium
fluid
damping characteristic
Prior art date
Application number
KR1019950038419A
Other languages
English (en)
Inventor
하루오 아마다
다까시 고마쯔
Original Assignee
가나이 쯔또무
가부시끼가이샤 히다찌세이사꾸쇼
가와마따 히로아끼
가부시끼가이샤 고가네이
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가나이 쯔또무, 가부시끼가이샤 히다찌세이사꾸쇼, 가와마따 히로아끼, 가부시끼가이샤 고가네이 filed Critical 가나이 쯔또무
Publication of KR960018313A publication Critical patent/KR960018313A/ko

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/02—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic
    • F16K31/06—Actuating devices; Operating means; Releasing devices electric; magnetic using a magnet, e.g. diaphragm valves, cutting off by means of a liquid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K23/00—Valves for preventing drip from nozzles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/02—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm
    • F16K7/04—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force
    • F16K7/07—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force by means of fluid pressure
    • F16K7/075—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with tubular diaphragm constrictable by external radial force by means of fluid pressure a rigid body being located within the tubular diaphragm
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7736—Consistency responsive

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Nozzles (AREA)
  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Abstract

약액 둥의 매체를 안내하는 공급관로에 마련되는 밸브의 작동을 제어하는 밸브구동제어기술에 관한 것으로서, 약액 등의 유동체의 흐름을 제어하기 위한 밸브의 작동을 정밀도 좋게 제어할 수 있는 기술을 재공하기 위해서, 유동체를 안내하는 유입측관로와 유출측관로를 연통시키는 연통부, 가쇠특성제어매체가 봉입된 제어 매체수용실, 연통부와 제어매체수용실을 구획하는 탄성변형부재, 감쇠특성제어매체를 가압해서 감쇠특성제어매체를 거쳐서 탄성변형부재를 변형시키는 구동부, 유동체의 동적유동특성과 감쇠특성제어매체의 동적유동특성에서 구해진 밸브기구부의 변형량과 밸브기구부 구동압력값의 관계를 나타내는 밸브구동특성에 따라서 구동부를 제어하는 제어부를 갖는 구성으로 하였다. 이러한 구성에 의해 고밀도이며 또한 정밀도 좋게 정속으로 정량의 유동체를 공급해서 처리할 수 있다.

Description

밸브구동제어방법과 밸브구동제어장치 및 유동체공급장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제7도는 본 발명의 개폐밸브의 1실시예를 도시한 단면도,
제8도는 본 발명의 서크백밸브의 1실시예를 도시한 단면도,
제9도는 본 발명의 밸브의 밸브작동기구부의 구동모델도,
제10도는 밸브의 구동특성을 도시한 그래프.

Claims (9)

  1. 연통부내를 흐르는 유동체의 동적유동특성과 상기 연통부에 탄성변형부재를 거쳐서 형성된 제어매체수용 실내의 감쇠특성제어매체의 동적유동특성에서 밸브기구부의 변형량과 밸브기구부 구동압력값의 관계를 나타내는 밸브구동특성을 구하는 스텝, 구해진 상기 밸브구동특성에 따라서 상기 감쇠특성제어매체에 부가된 구성제어값을 구하는 스텝 및 구해진 상기 구동제어값에 따라서 상기 감쇠특성제어매체를 구동하여 상기 감쇠특성제어매체를 거쳐서 상기 연통부내의 열린정도를 제어하는 스텝을 포함하는 밸브구동제어방법.
  2. 각각 유동체를 안내하는 유입측관로와 유출측관로가 마련되고, 이들의 관로를 연통시키는 연통부를 갖는 하우징, 상기 하우징에 형성되어 내부에 감쇠특성제어매체가 봉입되는 제어 매체수용실과 상기 연통부를 구획하는 탄성변형부재, 상기 감쇠특성제어매체를 가압해서 상기 감쇠특성제어매체를 거쳐서 상기 탄성변형부재를 변형하는 구동수단 및 상기 유동체의 동적유동특성과 상기 감쇠특성제어매체의 동적유동특성에서 구해진 밸브기구부의 변형량과 밸브기구부 구동압력값의 관계를 나타내는 밸브구동특성에서 구해진 구동제어값에 따라서 상기 구동수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 밸브구동제어장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 구동수단은 가스체에 의해 탄성변형하는 팽창, 수축부재를 포함하고, 상기 제어수단은 상기 구동제어값에 대응한 전기적인 제어량을 발생하는 전기신호 발생수단과 상기 전기신호 발생수단으로부터의전기적인 제어량에 대응한 가스체의 압력을 설정하는 압력설정수단을 포함하는 밸브구동제어장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 구동수단은 물리적으로 변위하는 가압부재를 포함하고, 상기 제어수단은 상기 구동제어값에 대응한 전기적인 제어량을 발생하는 전기신호 발생수단과 상기 전기신호 발생수단으로부터의 전기적인 제어량에 대응한 상기 가압부재의 변위량을 설정하는 압력설정수단을 포함하는 밸브구동제어장치.
  5. 제2항에 있어서, 상기 감쇠특성제어매체는 점성감쇠특성을 갖는 액체또는 분말 또는 액체와 분말의 혼합물을 포함하는 밸브구동제어장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 연통부는 상기 제어매체수용실을 관통하도록 마련되고, 상기 연통부와 상기 제어매체수용실을 구획하는 상기 탄성변형부재는 상기 연통부와 수직인 단면이 링형상의 단면을 갖고, 상기 밸브구동 제어장치는 상기 연통부내에 코마를 또 포함하고, 상기 제어수단은 상기 코마와 상기 탄성변형부재 사이의 거리를 상기 구동제어값에 따라서 상기 유동체의 유동상태를 제어하는 수단을 포함하는 밸브구동제어장치.
  7. 유동체공급부, 유동체유출부, 상기 유동체공급부와 상기 유동체유출부를 접속하는 관로도중에 마련되고, 유동체유입관로와 유동체유출관로를 연통시키는 연통부의 열린정도를 변화시켜서 유동체의 유동상태를 제어하는 적어도 1개의 밸브를 구비한 유동체공급제어장치로서, 상기 밸브의 적어도 1개는 감쇠특성제어매체가 봉입된 제어매체수용실, 상기 제어매체수용실과 상기 연통부를 구획하는 탄성변형부재, 상기 감쇠특성제어매체를 가압해서 감쇠특성제어매체를 거쳐서 상기 탄성변형부재를 변형시키는 구동부 및 상기 유동체의 동적유동특성과 상기 감쇠특성제어매체의 동적유동특성에서 구해진 밸브기구부의 변형량과 밸브가구부 구동압력값의 관계를 나타내는 구동특성에 따라서 상기 구동수단을 제어하는 제어수단을 포함하는 유동체공급제어장치.
  8. 제7항에 있어서, 감쇠특성제어매체를 거쳐서 탄성변형부재를 변형시키는 상기 밸브는 상기 연통부를 개폐하는 개폐밸브인 유동체공급제어장치.
  9. 제7항에 있어서, 감쇠특성제어매체를 거쳐서 탄성변형부재를 변형시키는 상기 밸브는 상기 연통부의 용적을 변화시키는 서크백밸브인 유동체공급제어장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950038419A 1994-11-01 1995-10-31 밸브구동제어방법과 밸브구동제어장치 및 유동체공급장치 KR960018313A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP94-268547 1994-11-01
JP6268547A JPH08128389A (ja) 1994-11-01 1994-11-01 バルブ駆動制御方法およびバルブ駆動制御装置ならびに流動体供給制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR960018313A true KR960018313A (ko) 1996-06-17

Family

ID=17460053

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019950038419A KR960018313A (ko) 1994-11-01 1995-10-31 밸브구동제어방법과 밸브구동제어장치 및 유동체공급장치

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5857661A (ko)
JP (1) JPH08128389A (ko)
KR (1) KR960018313A (ko)

Families Citing this family (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19726481A1 (de) * 1997-06-21 1998-12-24 Bosch Gmbh Robert Ventil zum Steuern von Flüssigkeiten
JP4035670B2 (ja) * 1997-09-11 2008-01-23 Ｓｍｃ株式会社 サックバックバルブの制御方法
KR100252224B1 (ko) * 1997-09-26 2000-06-01 윤종용 반도체장치 제조설비의 포토레지스트 셕크백장치
KR100649852B1 (ko) * 1999-09-09 2006-11-24 동경 엘렉트론 주식회사 기화기 및 이것을 이용한 반도체 제조 시스템
JP4966475B2 (ja) * 2000-05-12 2012-07-04 ポール・コーポレーション フィルタ
AU2002213400A1 (en) 2000-10-18 2002-04-29 Research Foundation Of State University Of New York Microvalve
US6425145B1 (en) * 2001-09-21 2002-07-30 Arichell Technologies, Inc. Push button for metered flow
US6934976B2 (en) * 2000-11-20 2005-08-30 Arichell Technologies, Inc. Toilet flusher with novel valves and controls
JP3857059B2 (ja) * 2001-02-09 2006-12-13 住友ベークライト株式会社 生体組織接着剤塗布用具
US7275562B2 (en) * 2001-10-17 2007-10-02 Agilent Technologies, Inc. Extensible spiral for flex circuit
JP3990567B2 (ja) * 2001-12-18 2007-10-17 大日本スクリーン製造株式会社 ダイヤフラムバルブ、基板処理ユニットおよび基板処理装置
JP4002892B2 (ja) * 2002-02-18 2007-11-07 ダンフォス アクチーセルスカブ 液体態様の薬物を投与するためのデバイス
US7562399B2 (en) * 2002-04-10 2009-07-21 Arichell Technologies Toilet flusher for water tanks with novel valves and dispensers
GB0208840D0 (en) * 2002-04-18 2002-05-29 Novamedix Distrib Ltd Fluid control valve
JP4659616B2 (ja) * 2003-06-23 2011-03-30 正明 池田 渦流式液体微粒化ノズル
JP4499012B2 (ja) * 2005-09-30 2010-07-07 シーケーディ株式会社 複合流体制御ユニット
CN101365904A (zh) * 2006-01-06 2009-02-11 安格斯公司 焊接式隔膜阀
US7591027B2 (en) 2007-02-22 2009-09-22 Donald Ernest Scruggs Flushette partial and full toilet flush devices
JP5301805B2 (ja) * 2007-10-17 2013-09-25 サーパス工業株式会社 サックバックバルブシステム及びその閉弁動作制御方法
TWI399246B (zh) * 2009-02-04 2013-06-21 Inotera Memories Inc 改良式供液裝置及其使用方法
JP5075858B2 (ja) * 2009-03-06 2012-11-21 八千代工業株式会社 塗料用バルブの作動不良検出方法
DE102009020064A1 (de) * 2009-05-06 2010-11-11 Dürr Systems GmbH Fluidventil, insbesondere Rückführventil für eine Lackieranlage
JP5184481B2 (ja) * 2009-09-30 2013-04-17 Ｃｋｄ株式会社 薬液弁
US9211378B2 (en) 2010-10-22 2015-12-15 Cequr Sa Methods and systems for dosing a medicament
JP5418616B2 (ja) * 2011-05-13 2014-02-19 株式会社デンソー 熱磁気サイクル装置
EP3191751B1 (en) * 2014-09-09 2020-11-04 Proteus Industries Inc. Systems and methods for coolant drawback
EP3559464B1 (de) 2016-12-21 2020-11-25 Fresenius Medical Care Deutschland GmbH Membranpumpeneinrichtung und membranpumpe mit einer membranpumpeneinrichtung und einer betätigungseinrichtung
DE102017011623A1 (de) * 2017-12-15 2019-06-19 Dräger Safety AG & Co. KGaA Vorspüleinheit für die Durchführung eines Vorspülvorgangs bei einem Atemgaskreislauf eines Kreislaufatemschutzgerätes
US10705543B2 (en) * 2018-08-29 2020-07-07 Illinois Tool Works, Inc. Mass flow controller and controller algorithm
US20220205467A1 (en) * 2019-04-18 2022-06-30 Smc Corporation High-pressure fluid discharge device

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1810353A (en) * 1928-07-14 1931-06-16 Standard Oil Co Automatic valve
US3039733A (en) * 1958-12-30 1962-06-19 Montedison Spa Fluid flow control valve
US3677248A (en) * 1970-08-27 1972-07-18 American Hospital Supply Corp Surgical irrigation apparatus and method of using same
JPS6051266B2 (ja) * 1977-09-26 1985-11-13 株式会社日立製作所 テ−プキヤリア製造用レジン塗布装置
JPS57177365A (en) * 1981-04-24 1982-11-01 Hitachi Ltd Coater
JPS57177570A (en) * 1981-04-27 1982-11-01 Hitachi Denshi Ltd Junction type field effect transistor
US4549570A (en) * 1982-10-12 1985-10-29 Cook Kenneth D Waste disposal monitoring system
JPS6095977A (ja) * 1983-10-31 1985-05-29 Toshiba Corp 光起電力装置
JP2814496B2 (ja) * 1988-09-20 1998-10-22 東レ株式会社 ポリエステル複合フィルム
NL8903042A (nl) * 1989-12-11 1991-07-01 Ratelband Johannes B Membraanafsluiter en werkwijze voor de vervaardiging van zulk een afsluiter.
US5158230A (en) * 1990-08-21 1992-10-27 Curran John R Air flow control apparatus
JP2868379B2 (ja) * 1992-09-17 1999-03-10 静岡日本電気株式会社 バックアップメモリの試験方法

Also Published As

Publication number Publication date
JPH08128389A (ja) 1996-05-21
US5857661A (en) 1999-01-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR960018313A (ko) 밸브구동제어방법과 밸브구동제어장치 및 유동체공급장치
Forster et al. Design, fabrication and testing of fixed-valve micro-pumps
DE59101930D1 (de) Durchflussregler.
KR970075396A (ko) 유체 제어 장치
US7093605B2 (en) Pressure control device for a pipeline
ATE202288T1 (de) Flüssigkeitsdruckmessvorrichtung und regelungsverfahren einer solchen vorrichtung
MXPA03003547A (es) Valvula electromagnetica de diafragma y metodo para controlar el flujo de fluido.
ATE214634T1 (de) Mikrodosiervorrichtung
WO2001062069A3 (en) Flow regulators with flexible diaphragms
JP2003529132A (ja) バルブ、特に圧力制御バルブ
EA200101219A1 (ru) Система и способ регулирования расходов и давления текучей среды
DE69935528D1 (de) Durchflussregler
US2926691A (en) Electric pressure regulator
Rahmeyer et al. Cavitation testing results for a tortuous path control valve
ATE1206T1 (de) Gasdruckregler.
KR880014302A (ko) 압력조절장치
ATE661T1 (de) Gasdruckregler.
DE60219485D1 (de) Einsatz für dynamische flusssteuerung
DK164073C (da) Anordning til bestemmelse af volumenstroemmen af et flydende medium ved hjaelp af en reguleringsenhed i en reguleringsstraekning
DE69734355D1 (de) Flüssigkeitschromatographiesäule
SU1608620A1 (ru) Регул тор расхода
SU953628A1 (ru) Регул тор давлени
RU2079028C1 (ru) Разгруженный дисковый клапан
SU455326A1 (ru) Регул тор давлени
SU628546A1 (ru) Преобразователь давлени

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid