KR960016950A - 화학적 기상 성장장치 배기가스 처리방법 및 장치 - Google Patents

화학적 기상 성장장치 배기가스 처리방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 분진 및 점성물질을 함유한 화학적 기상성장장치 배기가스를 여과집진기에 도입하여 분진 및 점성 물질을 분리, 제거함으로써 이룬 화학적 기상 성장장치 배기가스 처리방법에 있어서, 그 배기가스를 여과조제와 접촉시킴으로서 분진 및 점성물질을 여과 조제에 응집시켜서 응집체로 하여 그 여과집진기의 필터에 분진 및 점성물질이 직접 부착하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장치 배기가스처리방법을 제공하는데 있다. 더욱이, 본 발명은 화학적 기상성장장치의 배기가스 통로에 설치되어, 배기가스 중의 부진 및 점성물질을 분리·제거하기 위한 필터를 가지는 여과집진기, 여과집진기에 의해 분진 및 점성물질을 제거된 배기가스를 무해화하기 위한 가스 처리탑 및 배기팬을 갖추고 있는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치에 있어서, 화학적 기상성장장치와 여집진기의 사이 또는 여과집진기에 여과조제를 첨가하기 위한 여과조제 공급장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치를 제공하는데 있다.

Description

화학적 기상 성장장치 배기가스 처리방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 CVD 배기가스 처리장치의 1 실시양태를 도시한 도면이다,
제2도는 본 발명의 CVD 배기가스 처리장치의 다른 실시양태를 도시한 도면이다,
제3도는 본 발명의 CVD 배기가스 처리장치의 또 다른 실시양태를 도시한 도면이다.

Claims (26)

  1. 분진 및 점성물질을 함유한 화학적 기상 성장장치 배기가스를 여과집진기에 도입하여 분진 및 점성물질을 분리·제거함으로써 이루어진 화학적 기상 성장장치 배기가스 처리방법에 있어서, 상기 배기가스를 여과조제와 접촉시킴으로서 분진 및 점성물질을 여과조제에 응집시켜서 응집체로 하여, 그 여과집진기의 필터에 분진 및 점성물질이 직접 부착하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장치 배기가스 처리방법.
  2. 제1항에 있어서, 여과조제가 배기가스에 첨가, 혼합되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  3. 제1항에 있어서, 여과집진기에 공기를 도입하여 여과집진기의 필터에 부착해 있는 응집체 및 필터를 건조시키는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  4. 제1항에 있어서, 여과조제를 순환하여 리사이클하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상 성장장치 배기가스 처리방법.
  5. 제1항에 있어서, 여과집진기의 필터를 압축가스를 도입함으로써 역세척하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  6. 분진 및 점성물질을 함유한 화학적 기상성장장치 배기가스를 여과집진기에 도입하여 분진 및 점성물을 분리·제거함으로써 이루어진 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법에 있어서, 상기 여과집진기의 필터에 여과조제를 코팅한 후, 배기가스를 도입함으로써, 상기 배기가스를 여과조제와 접촉시켜서 분진 및 점성물질을 여과 조제에 응집시켜서 응집체로 하여, 상기 여과집진기의 필터에 분진 및 점성물질이 직접 부착하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  7. 제6항에 있어서, 여과조제가 배기가스의 첨가, 혼합시키는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  8. 제6항에 있어서, 여과조제를 순환시켜 리사이클하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  9. 제6항에 있어서, 여과집진기의 필터를, 압축가스를 도입함으로써 역세척하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  10. 분진 및 점성물질을 함유한 화학적 기상성장장치 배기가스를 여과집진기에 도입하여 분진 및 점성물질을 분리ㆍ제거함으로써 이루어진 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법에 있어서, 상기 여과집진기에 공기를 도입하여 여과조제를 확산시킴으로써 필터에 여과조제를 코팅한 후, 배기가스를 도입함으로써, 상기 배기가스를 여과조제와 접촉시켜서 분진 및 점성물질을 여과 조제에 응집시켜서 응집체로 하여, 상기 여과집진기의 필터에 분진 및 점성물질이 직접 부착하는 것을 방지하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  11. 제10항에 있어서, 여과조제가 배기가스에 첨가, 혼합되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  12. 제10항에 있어서, 여과집진기에 공기를 도입하여 여과집진기의 필터에 부착하여 있는 응집체 및 필터를 건조시키는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  13. 제10항에 있어서, 여과조제를 순환시켜서 리사이클하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  14. 제10항에 있어서, 여과집진기의 필터를 압축가스를 도입함으로써 역세척하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  15. 분진 및 점성물질을 함유한 화학적 기상성장장치 배기가스를 여과집진기에 도입하여 분진 및 점성물을 분리·제거함으로써 이루어진 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법에 있어서, 상기 배기가스를 여과조제와 접촉시킴으로써 분진 및 점성물질을 여과조제에 응집시켜서 응집체로 하여, 상기 여과집진기의 필터에 분진 및 점성물질이 직접 부착하는 것을 방지하는 것을 동시에, 상기 여과 집진기에 공기를 도입하여 상기 여과 집진기의 필터에 부착하여 있는 응집체 및 필터를 건조시키는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  16. 제15항에 있어서, 여과조제가 배기가스에 첨가, 혼합되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  17. 제15항에 있어서, 여과조제를 순환시켜서 리사이클 하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  18. 제15항에 있어서, 여과집진기의 필터를, 압축가스를 도입함으로써 역세척는 하는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리방법.
  19. 화학적 기상성장장치의 배기가스 통로에 설치되어, 배기가스 중의 분진 및 점성물질을 분리ㆍ제거하기 위한 필터를 가지는 여과집진기, 여과집진기에 의해 분진 및 점성분리를 제거된 배기가스 가스를 무해화하기 위한 가스처리탑 및 배기팬을 갖추어 있는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치에 있어서, 화학적 기상성장장치와 여과집진기의 사이 또는 여과집진기의 여과조제를 첨가하기 위한 여과조제 공급장치가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치.
  20. 제19항에 있어서, 여과집진기에 공기를 도입하기 위한 공기 도입구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치.
  21. 제20항에 있어서, 공기 도입구에 연통하는 도관에 히터가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치.
  22. 제19항에 있어서, 여과집진기가 필터를 역세척하기 위하여 압축가스를 도입하기 위한 압축가스 조정밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치.
  23. 화학적 기상성장장치의 배기가스 통로에 설치되어, 배기가스 중의 분진 및 점성물질을 분리ㆍ제거하기 위한 필터를 가지는 여과집진기, 여과집진기에 의해 분진 및 점성분리를 제거된 배기가스를 무해화하기 위한 가스처리탑 및 배기팬을 갖추어져 있는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치에 있어서, 화학적 기상성장장치와 여과집진기의 사이 또는 여과집진기에 여과조제를 첨가하기 위한 여과조제 공급장치, 여과조제 공급장치에서 첨가된 여과조제 및 여과집진기로부터 리사이클 되는 여과조제를 배기가스와 혼합하기 위한 순환·혼합장치 및 여과집진기에서 여과조제를 리사이클하기 위한 분체 순환 조정밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치.
  24. 제23항에 있어서, 여과집진기가 공기를 도입하기 위한 공기 도입구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치.
  25. 제24항에 있어서, 공기도입구에 연통하는 도관 히터가 설치되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치.
  26. 제23항에 있어서, 여과집진기가 필터를 역세척하기 위한 압축가스를 도입하기 위한 압축가스 조정밸브로 구성되는 것을 특징으로 하는 화학적 기상성장장치 배기가스 처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019950044469A 1994-11-29 1995-11-28 화학적기상성장장치의배기가스처리방법및장치 KR100377605B1 (ko)

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