KR960010764B1 - 반도체검사기의 슬리이브 방향검출장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

반도체검사기의 슬리이브 방향검출장치

제1도는 종래의 장치가 설치된 슬리이브 분리부의 평면도 및 정면도.

제2도는 본 발명이 설치된 슬리이브 분리부의 평면도 및 정면도.

제3도는 적재편에 적재된 1개의 슬리이브를 분리하는 상태도.

제4도는 슬리이브의 방향을 검출하는 상태를 설명하기 위한 종단면도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1:전재편 2:슬리이브

3:공급레일 4:베이스

6:푸셔 8:회동블럭

9:스윙실린더 13:마이크로스위치

14:이젝트실린더

본 발명 제조완료된 반도체의 성능을 검사하는 반도체검사기의 분리부에서 1개씩 분리되어 공급되는 슬리이브의 방향을 검출하는 장치에 관한 것으로서, 좀더 구체적으로는 요철의 변화가 극히 적은 경우에도 슬리이브의 방향을 용이하게 검출할 수 있도록 한 것이다.

일반적으로 제조공정에서 제조완료된 반도체는 검사기에서 성능검사를 실시, 양품으로 분류된 제품만 출하된다.

상기 검사기에서 제조완료된 반도체를 성능검사하기 위해서는 반도체를 검사기의 테스트부로 1개씩 순차공급하여야 되는데, 이를 위해서는 제조완료된 반도체를 슬리이브(Sleeve)에 차례로 삽입하여 상기 슬리이브를 검사기의 투입부인 공급레일과 동일한 각도로 기울여 주므로서 슬리이브내에 있던 반도체가 자중에 의해 테스트부로 공급된다.

이와 같이 슬리이브내에 있는 반도체를 공급레일로 공급하는 방법은 작업자가 슬리이브내에 들어있는 반도체를 수동으로 공급레일에 쏟아넣는 수동식과, 반도체가 들어있는 다수개의 슬리이브를 적재부에 쌓아놓고 순차적으로 1개씩 공급레일측에 이동시킨 다음 공급레일과 동일한 각도로 기울여 쏟아넣는 자동식이 있다.

종래에는 제1도에 도시한 바와 같이 적재편(1)에 적재된 슬리이브(2)를 공급레일(3)측으로 1개씩 순차 공급하기 위해, 베이스(4)에 푸셔실린더(5)의 동작에 따라 적재편의 최하방에 위치된 슬리이브(2)를 분리하여 공급레일측으로 이동시키는 푸셔(6)가 진퇴가능하게 설치되어 있고 상기 공급레일(3)의 입구측에는 이송되는 온 슬리이브를 파지하는 클램프실린더(7)가 회동블럭(8)에 고정 설치되어 있으며 상기 회동블럭에는 스윙실린더(9)와 스윙암(10)으로 연결된 축(11)이 고정되어 있다.

따라서 반도체(도시는 생략함)가 담겨진 슬리이브(2)를 적재편(1)에 차례로 적재시켜 놓으면 적재편에 적재된 최하방의 슬리이브(2)는 푸셔(6)에 형성된 요입홈내에 삽입된다.

이러한 상태에서 푸셔실린더(5)가 동작하여 푸셔의 요임홈내에 삽입된 슬리이브(2)를 공급레일(3)측으로 밀어 공급레일과 일직선상에 위치되도록 하면 후셔(6)에 얹혀진 슬리이브(2)가 회동블럭(8)과 클램프실린더(7)사이에 위치된다.

이에따라 클램프실린더(7)가 동작하여 슬리이브(2)를 회동블럭(8)사이에 파지한 상태에서 스윙실린더(9)가 동작하면 상기 스윙실린더의 회전력이 스윙암(10)을 통해 축(11)으로 전달되어 회동블럭(8)을 공급레일(3)과 동일한 기울기로 경사지게 회동시키게 되므로 슬리이브내에 있던 반도체가 자중에 의해 공급레일을 통해 테스트부로 공급된다.

이때 이송된 슬리이브는 공급레일의 일직선상에 위치되게 베이스(4)에 고정된 센서(12)가 감지하여 스윙실린더(9)를 구동시키게 된다.

그러나 이러한 종래의 장치는 적재편에 슬리이브가 뒤집어지게 삽입되어 뒤집어진 상태로 공급레일측에 이송되더라도 이송된 슬리이브의 뒤집어진 상태를 검출하는 기능이 없어 반도체가 공급레일에 역방향으로 삽입되어 쨈 (JAM)이 발생되었고, 이에 따라 역방향으로 공급된 반도체를 공급레일에서 제거시켜야 되었으므로 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.

본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 그 구조를 개선하여 공급레일측으로 슬리이브가 뒤집어진 상태로 공급될 경우 이를 감지하여 뒤집어진 슬리이브를 푸셔에서 자동으로 제거시킬 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 베이스에 대향되게 설치된 적재편에서 1개의 슬리이브를 푸셔가 분리하여 이동함에 따라 스위칭실린더가 동작하여 회동블럭을 공급레일의 기울기와 동일한 각도로 기울이도록 된 것에 있어서, 공급레일의 일직선상에 위치되는 베이스상에 이송된 슬리이브의 방향을 검출하는 마이크로스위치를 설치하고 그 일측으로는 역방향으로 이송된 슬리이브를 취출시키는 한쌍의 이젝트실린더를 설치하여서 된 반도체검사기의 슬리이브 방향검출장치가 제공된다.

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 첨부도면 제2도 내지 제4도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제2도는 본 발명이 설치된 슬리이브 분리부의 평면도 및 정면도이고 제3도는 적재편에 적재된 1개의 슬리이브를 분리하는 상태도이며 제4도는 슬리이브의 방향을 검출하는 상태를 설명하기 위한 상태도로서, 종래 장치의 구조와 동일한 부분은 그 설명을 생략하고 동일 부호를 부여하기로 한다.

본 발명은 공급레일(3)의 일직선상에 위치되는 베이스(4)상에 푸셔(6)에 의해 이송되어 오는 슬리이브(2)의 방향을 검출하는 마이크로스위치(13)가 설치되어 있고 상기 마이크로스위치의 일측으로 역방향(슬리이브가 뒤집어진 상태)으로 이송된 슬리이브(2)를 취출시키는 한쌍의 이젝트실린더(14)가 설치되어 있으며 상기 마이크로스위치의 근접부에는 이송된 슬리이브(2)를 감지하여 스윙슬린더(9)의 구동을 제어하는 센서(12)가 설치되어 있다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용, 효과를 설명하면 다음과 같다.

먼저 적재편(1)에 다수개의 슬리이브(2)가 적재되고 푸셔실린더(5)가 구동되지 않는 상태에서는 제3도의 실선으로 도시한 바와 같이 최하방에 위치되는 슬리이브가 푸셔(6)에 형성된 요입홈내에 위치된다.

이러한 상태에서 푸셔실린더(5)가 구동하여 푸셔(6)를 공급레일(3)측으로 밀으면 푸셔에 얹혀진 슬리이브는 공급레일과 일직선상에 위치된다.

이와 같이 슬리이브가 공급레일과 일직선상에 위치된 상태에서 클램프실린더(7)가 동작하여 이송되어온 슬리이브(2)를 회동블럭(8)에 파지시킬 때 제4도의 (a)와 같이 슬리이브에 형성된 요입홈이 하부를 향하고 있으면 슬리이브의 직하방에 위치된 마이크로스위치(13)가 눌리지 않게 되므로 슬리이브의 방향이 정방향임을 감지하여 종래의 장치와 동일하게 스윙실린더(9)가 동작, 슬리이브내에 담긴 반도체를 공급레일로 공급하게 된다.

그러나 이송되어온 슬리이브(2)의 방향이 제4도의 (b)와 같이 역방향일 경우에는 클램프실린더(7)의 동작으로 슬리이브가 회동블럭(8)에 파지될 때 마이크로스위치(13)가 슬리이브의 저면에 의해 눌려 온(ON)되므로 스윙실린더(9)는 동작되지 않고, 푸셔(6)에 역방향으로 얹혀진 슬리이브를 취출시키기 위한 이젝트실린더(14)가 동작된다.

이에 따라 제3도의 일점쇄선과 같은 상태에서 한쌍의 이젝트실린더가 동작하면 푸셔(6)의 요임홈에 얹혀져 있던 슬리이브는 이젝트실린더(14)에 의해 분리됨과 동시에 푸셔실린더(5)의 동작으로 푸셔(6)가 초기상태로 환원되어 적재편(1)의 최하방에 위치되어 있던 슬리이브가 푸셔의 요입홈내에 끼워지게 되므로 공급레일측으로 슬리이브를 공급할 수 있게 된다.

상기 동작시 이젝트실린더(14)에 의해 취출된 역방향의 슬리이브(2)는 계속적인 슬리이브의 공급동작시 작업자가 수동으로 제거하거나, 또는 별도의 취출수단에 의해 제거시킬 수 있게 되므로 슬리이브의 연속적인 공급작업이 가능하게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 발명은 역방향으로 이송되어온 슬리이브를 감지하여 자동으로 취출시키도록 되어 있어 반도체가 공급레일에 역방향으로 공급되지 않게 되므로 작업시 쨈이 발생되는 것을 미연에 방지하게 되고, 이에 따라 장비의 가동률을 높여 생산성을 향상시키게 되는 잇점을 얻게 된다.

Claims (1)

1. 베이스(4)에 대향되게 설치된 적재편(1)에서 1개의 슬리이브(2)를 푸셔(6)가 분리하여 이동함에 따라 스윙실린더(9)가 동작하여 회동블럭(8)을 공급레일(3)의 기울기와 동일한 각도로 기울이도록 된 것에 있어서, 공급레일(3)의 일직선상에 위치되는 베이스상(4)에 이송된 슬리이브(2)의 방향을 검출하는 마이크로스위치(13)를 설치하고 그 일측으로는 역방향으로 이송된 슬리이브(2)를 취출시키는 한쌍의 이젝트실린더(14)를 설치하여서 된 반도체검사기의 슬리이브 방향검출장치.