KR0143332B1 - 반도체소자 검사기용 벌크 로더 - Google Patents

Abstract

본 발명은 제조 공정을 거쳐 생산된 반도체소자(이하소자라함)의 성능을 검사하는 반도체소자 검사기에 적용되는 벌크 로더(Bulk Loader)에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 생산완료된 소자가 담긴 튜브를 적재함내에 무작위로 넣어두면 1개씩 자동으로 분리하여 정방향으로 교정한 다음 소자공급부측으로 로딩시킬 수 있도록 한 것이다.

이를 위해, 소자(18)가 담겨진 튜브(4)를 저장하는 적재함(2)과, 상기 적재함의 송출구(3)측에 설치되어 튜브를 일정방향으로 정렬하는 정렬수단과, 상기 정렬수단에 의해 정렬된 튜브를 순차적으로 1개씩 분리하는 분리수단과, 상기 분리수단에 의해 분리된 튜브를 경사수단의 내부로 밀어 넣는 제1푸싱판(24)과, 상기제1푸싱판과 수평선상에 설치되어 삽입된 튜브를 일정각도 경사지게 회동시켜 튜브내의 소자중 개방부측에 위치된 1개의 소자를 외부로 약간 꺼내는 경사수단과, 상기 경사수단에 설치되어 튜브내의 소자가 튜브의 일측으로 빠져 나옴에 따라 소자의 리드방향을 검출하는 검출수단과, 상기 검출수단에 설치되어 소자의 리드방향이 검출되고 나면 일축으로 빠져 나왔던 소자를 튜브의 내부로 다시 밀어 넣음과 동시에 경사수단으로 부터 튜브를 취출시키는 취출수단과, 상기 경사수단의 직하방에 설치되어 검출수단의 검출결과에 따라 튜브의 전환방향을 결정하는 튜브방향 전환수단과, 상기 튜브방향 전환수단과 수평선상에 설치되어 방향이 정방향으로 교정된 튜브를 소자공급부측으로 이송시킬 수 있도록 대기시키는 안착판(40)과, 상기 안착판에 얹혀진 튜브(4)를 소자공급부측으로 이송시키는 이송수단으로 구성 하여서 된 것이다.

Description

반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더

제1도는 본 발명을 나타낸 사시도

제2도는 제1도의 우측면도

제3도는 제1도의 종단면도로써,

(a)는 적재함내의 튜브가 가이드레일과 이동레일상에 차례로 정렬된 상태도

(b)는 이동레일이 최하단에 위치한 튜브를 분리하여 이송시킨 상태도

제4도는 제1도의 정면도로써,

(a)는 이동레일에 얹혀진 튜브가 경사수단과 일직선상에 위치된 상태도

(b)는 제1푸싱판이 튜브를 경사수단의 홀딩블럭사이로 밀어 넣은 상태도

(c)는 하부 홀딩 블럭이 상승하여 튜브를 홀딩한 상태도

(d)는 경사구단이 회동하여 튜브내에 삽입된 반도체 소자가 일측으로 빠져나온 상태도

제5도는 제1도의 A부를 나타낸 배면도

제6도는 제5도의 B-B선 단면도로써,

(a)는 공압실린더의 작동으로 근접센서가 일측으로 이동된 상태도

(b)는 일측으로 이동되었던 근접센서가 반도체소자측으로 이동된 상태도

제7도는 제5도의 C방향에서 바라본 상태도로써,

(a)는 공압실린더의 작동으로 근접센서가 일측으로 이동된 상태도

(b)는 일측으로 이동되었던 근접센서가 반도체소자측으로 이동된 상태도

제8도는 튜브내에 담겨져 있는 반도체소자의 방향에 따라 방향을 튜브의 전환시키는 상태도로써,

(a)는 반도체소자가 담겨진 튜브가 방향전환블럭의 내부로 이송된 상태도

(b)는 반도체소자의 방향에 따라 방향전환블럭이 정, 역방향으로 90°회전된 상태도

(c)는 제3푸싱판이 방향전환블럭에 얹혀진 튜브를 안착판상으로 밀어준 상태도

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1:베이스 2:적재함

3:송출구 9:가이드레일

11:제1실린더 13:이동레일

14:제1스토퍼 15:제2스토퍼

18:소자 20:회동블럭

21,23:상,하부 홀딩블럭 24:제1푸싱판

26:근접센서 27:브라켓

34:제2푸싱판 36:보조레일

37:방향전환블럭 38:지지봉

39:센서고정판 40:안착판

41:제3푸싱판 43:스토퍼

본 발명은 제조공정을 거쳐 생산된 반도체소자(이하소자라함)의 성능을 검사하는 반도체소자 검사기에 적용되는 로더(Loader)에 관한 것으로써, 좀더 구체적으로는 생산완료된 소자가 담긴 튜브를 적재함내에 무작위로 넣어두면 1개씩 자동으로 분리하여 정방향으로 교정한 다음 소자공급부측으로 로딩시켜 주는 벌크(Bulk) 로더에 관한 것이다.

일반적으로 DIP(Dual Inline Package) 또는 SOJ(Small Outlie J-bend)타입의 소자는 생산 완료된 상태에서 튜브내에 담겨져 공정간에 이송된다.

상기한 소자의 성능을 검사하기 위해 종래에는 소자가 담겨진 튜브를 소자공급부의 트랙상에 직접 로딩하여 상기 튜브에 담겨진 소자를 테스트부로 1개씩 공급하거나, 또는 상기 튜브를 스택커(Stacker)사이에 적재하여 놓으면 분리수단이 튜브를 최하방으로 부터 순차적으로 1개씩 분리하여 소자공급부의 트랙상에 로딩하게 되므로 소자의 테스트를 실시하게 된다.

그러나 전자인 경우에는 작업자가 소자공급부의 트랙상에 튜브를 직접 로딩하여 주어야 되므로 공정의 자동화실현이 불가능해졌음은 물론 생산성의 저하를 초래하게 되었다.

또한, 후자인 경우에는 전자의 문제점을 어느 정도 해결할 수 있게 되지만, 작업자가 튜브내에 담겨진 소자의 방향을 정확히 식별하여 스텍커상에 적재하여 주어야 되었으므로 튜브내에 담겨진 소자의 방향이 뒤집어진 상태로 적재하여 놓으면 소자가 소자공급부의 트랙상으로 공급되지 못하고 쨈(Jam)이 발생되었음은 물론 스택커상에 적재되는 튜브의 수가 한정되므로 작업자가 주기적으로 스택커에 튜브를 적재하여야 되는 문제점이 있었다.

본 발명은 종래의 이와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로써, 작업자가 적재함내에 소자가 삽입된 튜브를 무작위로 넣어 두기만 하면 상기 적재한내에 담겨진 튜브가 순차적으로 1개씩 분리되어 위치를 교정한 다음 소자공급부측으로 공급될 수 있도록 하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 형태에 따르면, 베이스에 고정되어 소자가 담겨진 튜브를 저장하는 적재함과, 상기 적재함의 송출구측에 설치되어 튜브를 일정방향으로 정렬하는 정렬수단과, 상기 정렬수단에 의해 정렬된 튜브를 순차적으로 1개씩 분리하는 분리수단과, 상기 분리수단에 의해 분리된 튜브를 경사수단의 내부로 밀어 넣어넣는 제1푸싱판과, 상기 제1푸싱판과 수평선상에 설치되어 삽입된 튜브를 일정각도 경사지게 회동시켜 튜브내의 소자중 개방부측에 위치된 1개의 소자를 외부로 약간 꺼내는 경사수단과, 상기 경사수단에 설치되어 튜브내의 소자가 튜브의 일측으로 빠져 나옴에 따라 소자의 리드방향을 검출하는 검출수단과, 상기 경사수단에 설치되어 소자의 리드방향이 검출되고 나면 일측으로 빠져 나왔던 소자를 튜브의 내부로 다시 밀어 넣음과 동시에 경사수단으로 부터 튜브를 취출시키는 취출수단과, 상기 경사수단의 직하방에 설치되어 검출수단의 검출결과에 따라 튜브의 전환방향을 결정하는 튜브방향 전환수단과, 상기 튜브방향 전환수단과 수평선상에 설치되어 방향이 정방향으로 교정된 튜브를 소자공급부측으로 이송시킬 수 있도록 대기시키는 안축판과, 상기 안착판에 얹혀진 튜브를 소자공급부측으로 이송시키는 이송수단으로 구성된 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더가 제공된다.

이하, 본 발명을 일 실시예로 도시한 첨부된 도면 제1도 내지 제8도를 참고로 하여 더욱 상세히 설명하면 다음과 같다.

첨부도면 제1도는 본 발명을 나타낸 사시도이고 제2도는 제1도의 우측면도로써, 제조공정에서 생산완료된 소자(18)가 담긴 튜브(4)를 소자공급부측으로 이송하여 제조공정에서 생산완료된 소자(18)가 담긴튜브(4)를 소자공급부측으로 이송하여 소자를 테스트하기 위해서는 소자가 담겨지는 튜브의 일측은 플러그(9)를 폐쇄하고, 다른 일측은 튜브를 일정각도 기울였을때 튜브내의 소자가 자중에 의해 빠져 나오도록 개방시켜 놓게 한다.

본 발명은 튜브(4)의 개방부가 동일방향을 향하도록 무작위로 담아 놓는 적재함(2), 상기 적재함내에 담겨진 튜브를 일정한 방향으로 정렬하는 정렬수단, 정렬된 튜브를 하측에서 부터 순차적으로 1개씩 분리하는 분리수단, 분리수단에 의해 분리된 튜브를 경사수단으로 밀어 넣는 제1푸싱판(24), 분리된 튜브를 개방부측이 하측을 향한 상태에서 기울이는 경사수단, 튜브내의 소자가 개방부로 빠져 나옴에 따라 소자의 리드방향을 검출하는 검출수단, 튜브로 부터 빠져 나왔던 소자를 다시 튜브내의 소자가 개방부로 빠져 나옴에 따라 소자의 리드방향을 검출하는 검출수단, 튜브로 부터 빠져 나왔던 소자를 다시 튜브의 내부로 밀어 넣음과 동시에 경사수단으로 부터 튜브를 분리시키는 취출수단, 튜브내의 소자방향에 따라 튜브의 방향을 전환시키는 튜브방향 전환수단, 정방향으로 교정된 튜브가 얹혀져 대기하는 안착판(40), 안착판에 얹혀진 튜브를 소자공급부측으로 이송시키는 이송수단등으로 구성한다.

첨부도면 제3도는 제1도의 종단면도이고 제4도는 제1도의 정면도로써, 베이스(1)에 바닥이 하향 경사진 경사면(2a)을 갖는 적재함(2)이 고정되어 있고 상기 경사면의 최하방에는 송출구(3)가 형성되어 있으며 상기 송출구의 근접부에는 적재함내에 무작위로 쌓여진 튜브(4)를 정렬하는 정렬수단이 설치되어 있다.

상기 정렬수단으로는 송출구(3)측으로 노출되게 한쌍의 이송로울러(5a)(5b)가 회전가능하게 축(6)으로 고정 설치되어 있어 구동모터(7)의 동력이 타이밍벨트(8a)(8b)를 통해 축(6)으로 전달되어 옴에 따라 상기 이송로울러가 동일방향으로 회전하도록 되어 있고 상기 이송로울러의 직하방에 위치되는 적재함(2)의 양측면에는 튜브(4)의 양측면을 안내하는 가이드레일(9)이 설치되어 있는데, 이때 상기 가이드레일(9)에 형성되는 가이드홈(9a)은 상부에서 하부로 갈수록 튜브(4)의 세로방향의 폭보다 점진적을 좁게 형성되다가 가이드홈(9a)의 하부측에서는 튜브의 세로방향폭보다 약간 크게 형성되어 있다.

이는 적재함(2)내의 튜브(4)가 가이드레일(9)의 가이드홈(9a)을 따라 하부로 이송하면서 정렬될 때 가이홈의 내부로 보다 용이하게 안내되도록 하기 위함이다.

상기 가이드레일(9)의 가이드홈(9a)내에 가지런히 정렬된 튜브를 최하단으로 부터 1개씩 분리하는 분리수단으로 본 발명의 일 실시예에서는 측판(10)에 제1실린더(11)의 동작에 따라 가이더(12)에 안내되어 진퇴운동하며 가이드레일(9)에 형성된 가이드홈(9a)과 일치하는 또 다른 가이드홈(13a)을 갖는 이동레일(13)을 설치하고 가이드레일(9)과 이동레일(13)에는 튜브(4)의 자유낙하를 제어하기 위한 제1스토퍼(14)와 제2스토퍼(15)를 설치하여 상기 각 스토퍼가 제2,3실린더(16)(17)에 의해 간헐적으로 동작하도록 되어 있다.

즉, 제2스토퍼(15)가 전진된 상태에서는 제1스토퍼(14)가 후퇴하여 정렬수단의 동작으로 정렬되어 자유낙하하는 튜브가 이동레일(14)상의 가이드홈(13a) 내부로 공급되도록 하고, 이와는 반대로 이동레일(13)이 제1실린더(11)의 동작으로 전진하기 직전에는 제2실린더(16)의 동작으로 제1스토퍼(14)가 전진하여 가이드홈(9a)(13a)의 최하단으로 부터 2번째에 위치된 튜브(4a)를 파지하여 이동레일(13)의 이동에 따라 가이드레일(9)상에 위치된 튜브가 하방으로 떨어지지 않도록 되어 있으며, 이동레일(13)이 경사수단과 일직선상으로 이동된 상태에서는 제3실린더(17)의 동작으로 제2스토퍼(15)가 후퇴하여 상기 제2스토퍼상에 얹혀진 튜브를 튜브방향 전환수단측으로 자유 낙하시키도록 되어 있다.

따라서 상기 이동레일(13)에 형성된 가이드홈(13a)이 가이드레일(9)에 형성된 가이드홈(9a)과 일치되고 제1스토퍼(14)는 후퇴, 제2스토퍼(15)는 전진된 상태에서 정렬수단의 동작으로 1개의 튜브(4)가 가이드홈(13a)의 내부로 공급됨과 동시에 제2실린더(16)의 동작으로 제1스토퍼(14)가 최하단에서 부터 2번째에 위치된 튜브(4a)의 측면을 파지하면 제1실린더(11)가 이동레일(13)을 수평방향으로 밀어 가이드홈(13a)의 내부에 삽입된 튜브(4)를 경사수단의 일직선상으로 이송시키게 된다. 이때 상기 이동레일(13)은 가이더(12)에 의해 안내되므로 안정적으로 이동된다.

상기한 분리수단은 측판(10)의 양측에 상호 대칭되게 설치된다.

상기 분리수단의 일측으로 설치되어 튜브(4)를 홀딩한 상태에서 일정각도 기울여 튜브의 개방부측에 위치된 1개의 소자(18)를 외부로 약간 빠져 나오도록 하는 경사수단은 제4도 및 제5도에 도시한 바와같이 회전실린더(19)의 구동으로 회동하는 회동블럭(20)에 상부 홀딩블럭(21)이 고정되어 있고 상기 상부 홀딩블럭의 직하방에는 승강실린더(22)의 동작으로 승,하강하면서 튜브(4)를 홀딩하거나, 홀딩상태에서 해제하는 하부 홀딩블럭(23)이 설치되어 있으며 상기 경사수단의 반대편에는 이동레일(13)의 제2스토퍼(15)에 얹혀져 있는 튜브(4)를 경사수단의 상,하부 홀딩블럭(21)(23) 사이로 밀어 넣어 주는 제1푸싱판(24)이 제4실린더(25)에 의해 진퇴 운동하도록 설치되어 있다.

상기 경사수단의 일측에 설치되어 튜브(4)내의 소자(18)가 일측으로 빠져 나옴에 따라 소자의 리드(18a)방향을 검출하는 검출수단은 제5도 내지 제7도에 도시한 바와 같이 회동블럭(20)의 일측면에 근접센서(26)가 고정된 브라켓(27)이 설치되어 있고 상기 브라켓에는 한쌍의 가이봉(28)이 회동블럭에 관통되게 고정되어 있으며 가이드봉에는 코일스프링(29)이 끼워진 상태로 멈춤링(30)으로 고정되어 상기 브라켓이 회동블럭에서 이탈되지 않도록 되어 있다.

또한, 회동블럭(20)에는 브라켓(27)의 일측면과 접속되어 상기 근접센서(26)가 고정된 브라켓을 진퇴시키는 공압실린더(32)가 고정되어 있다.

따라서 공압실린더(32)가 동작함에 따라 브라켓(27)내에 고정된 근접센서(26)가 회동블럭(20)의 내부를 출몰하면서 튜브(4)로 부터 빠져 나온 소자의 리드(18a)를 검출하게 된다.

상기 검출수단에 의해 튜브(4)의 일측으로 빠져 나온 소자(18)의 리드를 검출하고 나면 튜브로 부터 빠져 나온 소자를 다시 튜브의 내부로 밀어 넣음과 동시에 홀딩블럭(21)(23)에서 튜브를 취출시키는 취출수단은 제5도에 도시한 바와 같이 회동블럭(20)의 상측에 제5실린더(35)가 고정되어 있고 상기 제5실린더의 로드에는 제2푸싱판(36)이 고정된 고정판(37)이 고정되어 있는데, 상기 제2푸싱판(34)은 상,하부 홀딩블럭(21)(23)사이에 고정된 튜브(4)와 수평선상에 위치되게 회동블럭(20)의 내부로 삽입되어 있으며 상기 제2푸싱판의 끝단(소자와 접속되는 면)은 창형상(34a)과 같이 뾰쪽하게 되어 있다.

이는 제5실린더(33)의 동작으로 제2푸싱판(34)이 이동하여 상, 하부 홀딩블럭(21)(23)사이에 위치된 튜브(4)를 경사수단으로 부터 취출시킬 때 제2푸싱판(34)의 끝단에 형성된 창형상(34 a)이 튜브(4)로 부터 빠져 나온 소자(18)를 튜브(4)내에 삽입완료한 상태에서 수평면(34a)이 튜브(4)의 일측면을 밀어 튜브를 경사수단으로부터 취출하기 위함이다.

이와 같이 튜브(4)내에 담겨진 소자(18)의 방향을 검출한 상태에서 소자의 방향에 따라 튜브의 방향을 전환하는 튜브방향 전환수단은 제8도에 도시한 바와 같이 경사수단과 제1푸싱판(24)을 잇는 일직선상(분리수단에 의해 분리되어 이송되어 온 초기위치)의 하부에 위치하는 측판(10)에 가이드홈(36a)이 형성된 보조레일(36)이 대향되게 고정되어 있고 상기 보조레일의 직하방에는 가이드홈(37a)을 갖는 방향 전환블럭(37)이 정, 역방향으로 회전가능하게 설치되어 있으며 상기 방향전환블럭(37)에는 한쌍의 지지봉(38)이 고정되어 있어 튜브(4)가 보조레일(36)의 가이드홈(36a)에 안내되어 방향전환블럭(37)측으로 이송되어 옴에 따라 튜브가 지지봉(38)의 사이에 위치하도록 되어 있다.

상기 보조레일(36)에는 튜브(4)의 공급을 감지하는 센서(도시는 생략함)가 고정된 센서고정판(39)이 고정되어 있는데, 이는 소자의 리드방향이 검출된 상태에서 튜브(4)가 방향전환수단측으로 공급됨을 감지하여 소자의 리드방향에 따라 튜브의 방향을 전환하는 튜브방향 전환수단을 구동시키기 위함이다.

상기 지지봉(38)의 수평면상에 위치하는 베이스(1)상에는 소자의 리드위치에 따라 방향이 전환된 튜브(4)를 안착판(40)측으로 이송시키는 제3푸싱판(41)이 제6실린더(42)의 구동에 따라 진퇴가능하도록 설치되어 있으며 상기 안착판(40)의 끝부분에는 튜브의 이송을 제어하기 위한 스토퍼(43)가 고정되어 있다.

그리고 상기 스토퍼의 근접부에는 소장의 삽입위치에 따라 방향이 교정된 튜브를 소자공급부측으로 이송시키는 엘리베이터(도시는 생략함)등과 같은 이송수단이 설치된다.

이와 같이 구성된 본 발명의 작용, 효과를 설명하면 다음과같다.

먼저, 적재함(2)내에 개방부측이 동일방향이 되게 튜브(4)를 무작위로 집어 넣은 상태에서 전원을 인가하면 이송로울러(5a)(5b)를 회전시키는 구동모터(7)가 구동하게 되므로 상기 구동모터의 동력이 타이밍벨트(8a)(8b)를 통해 전달되고, 이에 따라 한쌍의 이송로울러(5a)(5b)가 동일방향으로 회전하게 된다.

이와 같이 이송로울러가 동일방향으로 회전하면 적재함(2)내에 무작위로 넣어진 튜브(4)가 이송로울러에 밀려 대향되게 측판(10)에 고정된 가이드레일(9)의 가이드홈(9a)을 통해 이동레일(13)의 가이드홈(13a)의 내부로 자유 낙하되는데, 이때 제1스토펴(14)는 후퇴되고, 제2스토퍼(15)는 제3실린더(17)에 의해 전진되어 있으므로 자유 낙하된 최선단의 튜브(4)가 제3도의 (a)와 같이 제2스토퍼(15)에 걸려 이동레일(13)의 하방으로 떨어지지 않게 된다.

상기한 바와 같은 동작시 이송로울러(5a)(5b)는 정방향으로 3회정도 회전한 다음 역방향으로 1회전하게 되는데, 이는 이송로울러(5a)(5b)의 정방향회전으로 튜브(4)가 가이드레일(9)에 형성된 가이드홈(9a)으로 안내될 때 상호 엉키더라도 역방향회전으로 엉킨 상태를 해제시키기위함이다.

이와 같은 동작으로 적재함(2)내의 튜브(4)가 가이드레일(9)에 형성된 가이드홈(9a)으로 안내될 때 상기 가이드홈(9a)의 입구측이 튜브의 쪽보다 훨씬 넓게 형성되어 있으므로 튜브(4)가 이송로울러(5a)(5b)의 회전으로 송출구(3)를 통과하는 시점에서 일측으로 삐뚤어져 있더라도 가이드홈(9a)의 내부로 용이하게 안내되고, 이와 같이 가이드홈으로 안내된 튜브는 가이드홈이 상광하협되어 있으므로 하단부측으로 자유 낙하하면서 저위치하게 된다.

이러한 상태에서 이동레일(13)의 가이드홈(13a) 내부에 삽입된 튜브(4)를 분리시키기 위해 제2실린더(16)가 동작하여 제1스토퍼(14)를 전진시키면 상기 제1스토퍼(14)가 최하단으로 부터 2번째에 위치한 튜브(4a)의 측면을 홀딩함과동시에 이동레일(13)을 이동시키는 제1실린더(11)가 구동하게 되므로 이동레일은 가이더(12)에 안내되어 경사수단과 수평선상에 위치하는 지점(플러그로 폐쇄된 튜브의 일측면이 제1푸싱판에 위치하는 지점)까지 이동된다.

이에따라 최하단에 위치된 튜브(4), 즉 이동레일(13)의 가이드홈(13a)내에 위치한 1개의 튜브(4)가 분리된다.

제4도의 (a)와 같이 이동레일(13)에 얹혀진 1개의 튜브(4)가 경사수단과 수평선상에 위치되고 나면 제1푸싱판(24)을 전진시키는 제4실린더(25)가 동작하여 튜브(4)를 경사수단측으로 밀게 되는데, 이때 상기 경사수단의 하부 홀딩블럭(23)은 승강실린더(22)에 의해 하사점에 위치하여 제1푸싱판(24)이 튜브의 일측면을 밀때 튜브의 개방부측이 상, 하부 홀딩블럭(21)(23)사이로 용이하게 삽입되도록 한다.

상기한 바와 같은 동작으로 (b)와 같이 제4실린더(25)가 동작하여 제1푸싱판(24)을 전진시키면 상기 제1푸싱판이 튜브(4)의 일측을 밀어 상기 튜브의 개방부가 상,하부 홀딩블럭(21)(23)사이에 위치되도록 한 다음 상기 제푸싱판(24)은 제4실린더의 복원으로 초기상태인 (c)와 같은 상태로 환원된다.

상기 동작시 제2스토퍼(15)는 계속해서 전진된 상태를 유지하고 있으므로 튜브가 상기 제2스토퍼에 얹혀진 상태에서 경사수단측으로 이동된다.

이와 같이 제2스토퍼(15)에 엊혀진 튜브(4)가 경사수단의 상,하부 홀딩블럭(21)(23)사이에 삽입되고 나면 하부 홀딩블럭(23)을 동작시키는 승강실린더(22)가 동작하여 상기 하부 홀딩블럭을 상사점에 위치시키게 되므로 튜브의 개방부측이 상,하부 홀딩블럭(21)(23)사이에서 지지된다.

그후, 경사수단의 회동블럭(20)을 회동시키는 회전실린더(19)가 동작하여 회동블럭을 제4도의 (d)와 같이 일정각도 회동시키면 튜브(4)의 개방부를 통해 튜브내에 삽입되어 있던 소자(18)가 자중에 의해 일측으로 빠져 나오게 된다.

이때 근접센서(26)가 고정된 브라켓(27)은 공압실린더(32)의 동작으로 제6도의 (a) 및 제7도의 (a)와 같이 가이드봉(28)에 끼워진 코일스프링(29)을 압축시키면서 일측으로 이동된 상태이고, 제2푸싱판(34)은 제5실린더(33)의 동작으로 제5도와 같이 후퇴된 상태이므로 튜브로 부터 소자가 빠져나오게 된다.

상기한 동작으로 튜브(4)내에 삽입되어 있던 소자(18)가 튜브의 일측으로 빠져 나온 상태에서 브라켓(27)을 일측으로 밀도록 공압실린더(32)의 내부로 공급되던 압축공기의 공급을 중단하면 제6도의 (a)와 같이 위치되어 있던 브라켓(27)은 코일 스프링(29)의 복원력에 의해 제6도의 (b) 및 제7도의 (b)와 같이 회동블럭(20)측으로 이동하게 되므로 근접센서(26)가 회동블럭(20)의 내부로 삽입된다.

이러한 상태에서 근접센서(26)가 튜브(4)내에 삽입되어 있는 소자(18)의 방향을 검출하게 되는데 이를 좀더 구체적으로 설명하면 다음과 같다.

제7도의 (b)와 같이 튜브(4) 일측으로 빠져 나온 소자(18)의 리드(18a)가 근접센서(26)를 향하고 있으면 회동블럭(20)의 내부까지 전진된 근접센서(26)가 소자의 리드(18a)를 검출하게 되므로 튜브(4)내에 소자가 정방향으로 삽입되었음을 CPU(중앙처리장치)에서 검출하여 방향전환블럭(37)을 정방향으로 회전시키게 된다.

그러나 전술한 바와는 반대로 튜브(4) 일측으로 빠져 나온 소자(18)의 리드(18a)가 근접센서(26)와 반대방향으로 향하고 있으면 회동블럭(20)의 내부까지 전진된 근접센서(26)가 소자의 리드(18a)를 검출하지 못하게 되므로 튜브(4)내에 소자가 역방향으로 삽입되었음을 CPU(중앙처리장치)에서 검출하여 방향전환블럭(37)을 역방향으로 회전시키게 되는데, 상기 소자의 삽입방향에 따라 방향전환블럭(37)의 회전방향을 결정하는 상세한 설명은 후술하기로 한다.

상기한 동작으로 튜브(4)내에 삽입된 소자(18)의 방향을 검출하고 나면 압축공기의 공급 중단으로 코일스프링(29)의 복원력에 의해 후퇴되어 있던 공압실린더(32)의 내부로 압축공기가 다시 공급되므로 회동블럭(20)측으로 전진되어 있던 브라켓(27)이 제6도의 (a) 및 제7도의 (a)와 같이 회동블럭(20)에서 멀어지도록 밀리게 되고, 이에따라 상기 브라켓에 고정된 근접센서(26)도 회동블럭으로 부터 멀어지게 된다.

이와 같이 튜브(4)의 일측으로 빠져 나온 소자의 방향을 검출하고 난 다음 근접센서(26)가 고정된 브라켓(27)이 초기 상태로 환원되고 나면 회전실린더(19)가 다시 동작하여 회동시켰던 튜브(4)를 다시 수평상태로 환원시킴과 동시에 승강실린더(22)를 동작하여 하부 홀딩블럭(23)을 하강시키게 되므로 튜브(4)가 다시 제2스토퍼(15)의 상면에 얹혀지게 된다.

상기 회동블럭(20)이 제5도와 같이 수평상태가 되면 제5실린더(33)의 동작으로 제2푸싱판(34)이 전진하여 상,하부 홀딩블럭(21)(23)사이에 위치된 튜브(4)를 분리수단에 의해 이동되었던 위치로 밀어내게 된다.

즉, 제2푸싱판(34)이 전진하면 먼저 튜브(4)의 외측으로 빠져 나왔던 소자(18)가 제2푸싱판(34)의 선단에 형성된 창형상(34a)에 접속되어 밀리게 되므로 튜브(4)의 내부로 삽입되는데, 이때 튜브는 제2푸싱판(34)의 수평선(34b)과 접속되지 않은 상태이므로 이동되지 않는다.

이러한 상태에서 계속해서 제2푸싱판(34)이 전진하면 상기 제2푸싱판의 수평면(34b)이 튜브(4)의 개방부와 접속된 상태로 전진되므로 상,하부 홀딩블럭(21)(23)사이에 위치된 튜브가 밀려 초기상태(이동레일상의 정위치)로 환원된다.

이와 같이 튜브(4)내에 삽입된 소자(18)의 위치를 경사수단과 검출수단에 의해 검출하고 난 상태에서 튜브(4)의 자유 낙하를 제어하고 있던 제2스토퍼(15)를 후퇴시키면 제2스토퍼에 얹혀져 있던 튜브(4)가 보조레일(36)의 가이드홈(36a)을 따라 하방으로 자유 낙하되어 방향전환블럭(37)에 형성된 가이홈(37a)내에 위치됨과 동시에 대향된 방향전환블럭의 사이에 고정된 한쌍의 지지봉(38)에 의해 지지된다.

상기한 바와 같이 튜브(4)가 보조레일(36)에 형성된 가이드홈(36a)을 따라 자유 낙하될 때 상기 보조레일상에 고정된 센서고정판(39) 사이를 통과하게 되므로 상기 센서고정판에 고정된 센서가 튜브의 통과를 감지하게 된다.

상기 센서고정판(39)에 고정된 센서가 튜브의 통과를 감지함과 동시에 튜브(4)가 방향전환블럭(37)에 형성된 가이드홈(37a)내에 제8도의 (a)와 같이 위치되고 나면 검출수단에 의해 튜브내에 담겨진 소자의 방향을 검출한 결과에 따라 방향전환블럭(37)이 정,역방향으로 90° 회동된다.

예를 들어, 튜브(4)내에 소자(18)가 정방향으로 삽입되어 있으면 방향전환블럭(37)이 제8도 (a)에 도시된 화살표방향으로 회전하고, 이와는 반대로 튜브(4)내에 소자(18)가 역방향으로 삽입되어 있으면 방향전환블럭(37)이 제8도 (a)에 도시된 화살표방향과 반대방향으로 회전하여 튜브(4)를 뒤집으므로써, 튜브내에 삽입된 소자를 정위치로 교정하게 된다.

상기 방향전환블럭(37)의 정,역방향 회전으로 튜브(4)내에 삽입된 소자의 방향이 교정되고 나면 베이스(1)에 고정 설치된 제6실린더(42)가 동작하여 제3푸싱판(41)을 전진시키게 되므로 상기 제3푸싱판(41)이 방향전환블럭(37)의 가이드홈(37a)내에 삽입된 튜브(4)를 안착판(4)상으로 밀게 되는데, 이때 상기 튜브는 안착판상에 고정된 스토퍼(43)에 걸려 이송이 제어되므로 튜브를 엘리베이터(도시는 생략함)등과 같은 이송수단에 의해 소자공급부측으로 이송시킬 수 있게 되는 것이다.

이와같이 1개의 튜브를 소자공급부측으로 이송 완료하고 나면 회동되었던 방향전환블럭(37)이 초기상태(가이드홈이 수직인 상태)로 환원됨과 동시에 제1실린더(11)의 동작으로 이동레일(13)이 제3도이 (a)와 같은 상태로 환원된다.

그후 제3실린더(17)의 동작으로 제2스토퍼(15)가 전진되고, 제2실린더(16)의 동작으로 제1스토퍼(14)가 후퇴되므로 가이드레일(9)상에 대기하고 있던 튜브(4)가 자중에 의해 자유 낙하되어 제2스토퍼(15)상에 얹혀짐과 동시에 제2실린더(16)의 동작으로 제1스토퍼(14)가 전진되어 최하단으로 부터 2번째의 위치된 튜브(4a)를 파지하게 되므로 계속해서 튜브의 방향을 교정한 다음 소자공급부측으로 튜브를 이송시킬 수 있게 되는 것이다.

이상에서와 같이 본 발명은 적재함내에 많은 양의 튜브를 무작위로 적재시켜 놓기만 하면 소자의 리드방향에 따라 튜브의 방향을 교정한 다음 소자공급부측으로 계속해서 이송시키게 되므로 기기의 자동화실현이 가능해지게 되고, 이에따라 생산성이 극대화되는 효과를 얻게 된다.

Claims (12)

1. 베이스(1)에 고정되어 소자(18)가 담겨진 튜브(4)를 저장하는 적재함(2)과, 상기 적재함의 송출구(3)측에 설치되어 튜브를 일정방향으로 정렬하는 정렬수단과, 상기 정렬수단에 의해 정렬된 튜브를 순차적으로 1개씩 분리하는 분리수단과, 상기 분리수단에 의해 분리된 튜브를 경사수단의 내부로 밀어 넣는 제1푸싱판(24)과, 상기 제1푸싱판과 수평선상에 설치되어 삽입된 튜브를 일정각도 경사지게 회동시켜 튜브내의 소자중 개방부측에 위치된 1개의 소자를 외부로 약간 꺼내는 경사수단과, 상기 경사수간에 설치되어 튜브내의 소자가 튜브의 일측으로 빠져 나옴에 따라 소자의 리드방향을 검출하는 검출수단과, 상기 경사수단에 설치되어 소자의 리드방향이 검출되고 나면 일측으로 빠져 나왔던 소자를 튜브의 내부로 다시 밀어 넣음과 동시에 경사수단으로 부터 튜브를 취출시키는 취출수단과, 상기 경사수단의 직하방에 설치되어 검출수단의 검출결과에 따라 튜브의 전환방향을 결정하는 튜브방향 전환수단과, 상기 튜브방향 전환수단과 수평선상에 설치되어 방향이 정방향으로 교정된 튜브를 소자공급부측으로 이송시킬 수 있도록 대기시키는 안착판(40)과, 상기 안착판에 얹혀진 튜브(4)를 소자공급부측으로 이송시키는 이송수단으로 구성된 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
2. 제1항에 있어서, 정렬수단은 적재함(2)의 송출구(3)측으로 노출되게 한쌍의 이송 로울러(5a)(5b)를 회전가능하게 설치하고 상기 이송로울러의 직하방에 위치되는 적재함(2)의 양측면에는 튜브(4)의 양측면을 안내하도록 가이드홈(9a)이 형성된 가이드레인(9)을 대칭되게 설치함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
3. 제2항에 있어서, 가이드레일(9)에 형성되는 가이드홈(9a)은 상부에서 하부로 갈수록 튜브(4)의 세로방향의 폭보다 점진적으로 좁게 형성되다가 가이드홈(9a)의 하부측에서는 튜브의 세로방향폭보다 약간 크게 형성함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크( Bulk) 로더.
4. 제2항에 있어서, 이송로울러(5a)(5b)가 정방향으로 일정횟수 회전하다가 역방향으로 1회 회전하도록 함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
5. 제1항에 있어서, 분리수단은 측판(10)에 제1실린더(11)의 동작에 따라 가이더(12)에 안내되어 진퇴운동하며 가이드레일(9)에 형성된 가이드홈(9a)과 일치하는 또다른 가이드홈(13a)를 갖는 이동레일(13)을 설치하고 가이드레일(9)과 이동레일(13)에는 제1스토퍼(14)와 제2스토퍼(15)를 설치하여 상기 스토퍼가 제2, 3실린더(16)(17)에 의해 간헐적으로 동작하도록 함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
6. 제1항에 있어서, 경사수단은 회전실린더(19)의 구동으로 회동하는 회동블럭(20)에 상부 홀딩블럭(21)을 고정하고 상기 상부 홀딩블럭의 직하방에는 승강실린더(22)의 동작으로 승,하강하면서 튜브(4)를 홀딩하거나, 홀딩상태를 해제하는 하부 홀딩블럭(23)을 설치하여 상기 튜브가 상,하부 홀딩블럭(21)(23)의 내부로 삽입된 상태에서 홀딩됨에 따라 회전실린더(19)가 구동하면 튜브(4)내의 소자가 일측으로 빠져 나오도록 함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
7. 제1항에 있어서, 검출수단은 공압실린더(32)의 동작에 따라 진퇴운동하도록 회동블럭(20)의 일측면에 근접센서(26)가 고정된 브라켓(27)을 설치하고 상기 브라켓에는 한쌍의 가이드봉(28)을 회동블럭에 관통되게 고정함과 동시에 가이드봉에 코일스프링(29)을 끼워 멈춤링(30)으로 고정함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
8. 제1항에 있어서, 추출수단은 회동블럭(20)의 상측에 제5실린더(33)를 고정하고 상기 제5실린더의 로드에는 제2푸싱판(34)이 고정된 고정판(35)을 고정하여 상기 제2푸싱판의 선단이 상,하부 홀딩블럭(21)(23)사이에 고정된 튜브(4)와 수평선상에 위치되도록 함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
9. 제8항에 있어서, 제2푸싱판(34)의 선단에 수평면(34b)과 뽀쪽한 창형상(34b)을 형성하여 제2푸싱판의 수평명(34b)이 튜브(4)에 닿기전에 창형상(34a)이 튜브의 외측으로 빠져 나온 소자(18)와 먼저 닿아 소자의 튜브의 내부로 밀어 넣도록 함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
10. 제1항에 있어서, 튜브방향 전환수단은 경사수단과 제1푸싱판(224)을 잇는 일직선상의 하부에 위치하는 측판(10)에 가이드홈(36a)을 갖는 보조레일(36)을 대향되게 고정하고 상기 보조레일의 직하방에는 가이드홈(37a)을 갖는 방향전환블럭(37)을 정,역방향으로 회전가능하게 설치함과 동시에 상기 방향전환블럭에 한쌍의 지지봉(38)을 고정하여 튜브(4)가 보조레일(36)의 가이드홈(36a)을 따라 방향전환블럭(37)측으로 이송됨에 따라 지지봉(38)의 사이에 위치되도록 함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
11. 제10항에 있어서, 상기 보조레일(36)에 튜브(4)의 공급을 감지할 수 있도록 센서가 고정된 센서고정판(39)을 고정하여 소자(18)의 리드방향이 검출된 상태에서 튜브(4)가 방향전환블럭(37)측으로 공급됨을 감지함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.
12. 제1항에 있어서, 안착판(40)의 일측에 튜브(4)의 이송량을 제어하기 위한 스토퍼(43)을 고정함을 특징으로 하는 반도체소자 검사기용 벌크(Bulk) 로더.