KR960003087U - 웨이퍼 건조장치 - Google Patents
웨이퍼 건조장치Info
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- South Korea
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- drying equipment
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019940013911U KR960003087U (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 웨이퍼 건조장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR2019940013911U KR960003087U (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 웨이퍼 건조장치 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR960003087U true KR960003087U (ko) | 1996-01-22 |
Family
ID=60667281
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR2019940013911U KR960003087U (ko) | 1994-06-15 | 1994-06-15 | 웨이퍼 건조장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR960003087U (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100724184B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-05-31 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 제조용 세라믹 설비부품의 오염물질 제거 방법 |
-
1994
- 1994-06-15 KR KR2019940013911U patent/KR960003087U/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100724184B1 (ko) * | 2005-12-28 | 2007-05-31 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | 반도체 제조용 세라믹 설비부품의 오염물질 제거 방법 |
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