KR950703611A - 노볼락 수지 혼합물(novolak resin mixtures) - Google Patents

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Abstract

본 발명은 분자량 분포가 50% 이상이 중첩되며 용해 속도가 2.0 이상씩 차이가 나는 두가지 이상의 노블락 수지들의 혼합물에 관한 것이다. 또한 볼 발명은 그러한 노블락 수지 혼합물을 제조하는 방법에 관한 것이다.

Description

노볼락 수지 혼합물(NOVOLAK RESIN MIXTURES)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 실시예 1의 노볼락 수지에 대한 GPC 분자량 분포를 나타내는 그래프이다.
제2도는 실시예 2의 노볼락 수지에 대한 GPC 분자량 분포를 나타내는 그래프이다.
제3도는 실시예 3의 노볼락 수지에 대한 GPC 분자량 분포를 나타내는 그래프이다.
제4도는 95℃ 내지 110℃의 노출후(P.E)소성 온도에서 실시예 5의 포토레지스트의 E의 등고선식 플롯이다.
제5도는 97℃ 내지 110℃의 PEB온도에서 실시예 5의 포토레지스트의 노출(Expo)허용도의 등고선식 플롯이다.

Claims (10)

  1. 구성수지들의 분자량 분포가 동일 면적으로 표준화되고, 50% 이상이 중첩되어 있으며, 구성수지의 용해 속도가 2.0 이상씩 차이가 나는, 같거나 상이한 화학적 조성을 갖는, 2종 이상의 노볼락 수지들의 혼합물을 포함하는 불수용성, 수성 알칼리 가용성 필름 형성 노볼락 수지.
  2. 제1항에 있어서, 상기 노볼락 수지들의 분자량 분포가 60 내지 100% 중첩되는 노볼락 수지 혼합물.
  3. 제1항에 있어서, 상기 노볼락 수지들의 분자량 분포가 70 내지 95% 중첩되는 노볼락 수지 혼합물.
  4. 제1항에 있어서, 상기 노볼락 수지들이 2.0 내지 약 6.0씩 차이가 나는 용해속도를 갖는 노볼락 수지 혼합물.
  5. 제1항에 있어서, 상기 노볼락 수지들이 각각 포름알데히드와 한개 이상의 다중-치환된 페놀과의 반응생성물인 노볼락 수지 혼합물.
  6. 구성수지들의 분자량 분포가 동일 면적으로 표준화되고, 50% 이상이 중첩되어 있으며, 구성수지 용해 속도가 2.0 이상씩 차이가 나는, 같거나 상이한 화학적 조성을 갖는, 2종 이상의 노볼락 수지를 혼합하여 불수용성, 수성 알칼리 가용성 필름 형성 수지를 제조하는 방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기 노볼락 수지들의 분자량 분포가 60 내지 100% 중첩되는 방법.
  8. 제6항에 있어서, 상기 노볼락 수지들의 분자량 분포가 70 내지 95% 중첩되는 방법.
  9. 제6항에 있어서, 상기 노볼락 수지들이 2.0 내지 약 6.0씩 차이가 나는 용해속도를 갖는 방법.
  10. 제6항에 있어서, 상기 노볼락 수지들이 각각 포름알데히드와 한개 이상의 다중-치환된 페놀과의 반응생성물인 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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