KR950701741A - 스캐닝 대물렌즈(scanning object lens) - Google Patents

Abstract

본 발명은 스캐닝 대물렌즈에 관한 것이다. 피사체 표면의 선 또는 점으로 된 삼차원 스캐닝을 위해 높은 검사 속도와 아울러서 높은 해상도의 대물렌즈가 필요로 한다. 높은 해상도로 가능한한 많은 영상점을 맺도록 하기 위해서, 스캐닝 대물렌즈는 그에 대응하는 큰 수치 개구와 동시에 큰 영상 필드를 나타내어야 한다. 이러한 목적을 위해서, 상기 대물렌즈는 세개의 렌즈 그룹(1,2,3)으로 구성된다, 제1및 제2렌즈 그룹(1,2)은 스캔 각 감소 및 퓨필 확장을 야기시킨다. 입구 퓨필(61)은 제3렌즈 그룹(3)의 입구 퓨필(63)로 상이 맺힌다. 제3렌즈 그룹(3)은 예를 들면 0.6의 큰 수치 개구를 갖는다. 더우기, 실제의 중간 영상(5)은 정의 굴절력과 제1렌즈그룹(1)보다 큰 촛점 길이(f)를 갖고 제2렌즈 그룹(2)에 의해 상이 맺힌다. 스캐닝 대물렌즈의 입구에서 비임직경(D)이 7.5mm, 스캔 각(θ)이 +/16°, 스캔 길이 S가 3.5mm로, 예들 들어 5mm로 작용간격을 얻은 것이 가능하다.

Description

스캐닝 대물렌즈(SCANNING OBJECT LENS)

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제2도는 제1도의 도면과 비교해서 수치 개구가 확대된 스캐닝 대물렌즈의 비임 경로를 도시하며,

제3도는 높은 수치 개구의 스캐닝 대물렌즈의 상세한 구조도이며,

제4도는 제3도에 따른 스캐닝 대물렌즈의 기본도를 도시한다.

Claims (8)

1. 전자 회로 기판 조립체의 표면 검사를 위한 스캐닝 시스템에 특별히 사용되는, 조사 비임 또는 조사 비임및 측정 비임의 유도를 위한 스캐닝 대물렌즈에 있어서, 세개의 렌즈 그룹(1,2,3)을 포함하며, 여기서, 비임 편향 장치(4)에 결합시키기 위해 제1렌즈 그룹(1)이 제공되며 상기 그룹은 정의 회절력을 갖으며 수치 개구로 중간 영상(5)을 발생하며 상기 개구는 전체 스캐닝 대물렌즈와 관련해서 작으며 동시에 큰 스캔 각(θ)을 갖으며, 피사체 측에는 제1렌즈 그룹(1)에 비해 더 큰 수치 개구를 갖는 제3렌즈그룹(3)이 제공되며, 정기 회절력을 갖으며 제1렌즈 그룹(1)에 비해 더 큰 촛점길이(f)를 갖는 삽입된 제2렌즈 그룹(2)이 제공되며, 상기 렌즈그룹은 무한대로, 제1렌즈 그룹(1)에 의해 발생된 중간 영상(5)을 맺히게 하며, 제1및 제2렌즈 그룹(1,2)에 의해 형성된 출구 퓨필(62)은 제3렌즈 그룹(3)의 전방에 놓이게 되며, 제1및 제2렌즈 그룹(1,2)에 의해 스캔 각 감소가 이루어지며, 그에 따라 제3렌즈 그룹(3)이 시준기 광학 시스템과 유사해지는 효과를 얻는 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.
2. 제1항에 있어서, 스캐닝 대물렌즈가 F-θ 대물렌즈인 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.
3. 전항 중 어느 한 항에 있어서, 주요 선(rays)(7)이 제1및 제2렌즈 그룹(1,2) 사이에서 광학 축(10)에, 평행한 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.
4. 전항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 스캐닝 대물렌즈가 전체적으로 하나의 텔레센트릭 비임 경로를 나타내는 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.
5. 전항 중 어느 한 항에 있어서, 제1렌즈 그룹(1)의 제1렌즈 표면의 정점과 그 정면에 놓이는 스캐닝 대물렌즈의 입구 퓨필(61) 사이의 간격(a)이 스캐닝 대물렌즈의 전체 촛점 길이(f)보다 긴 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.
6. 전항 중 어느 한 항에 있어서, 제1렌즈 그룹(1)의 수치 개구가 적어도 0.15인 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.
7. 전항 어느 한항에 있어서, 스캔 각(θ)이 약 16°의 값을 갖으며 스캐닝 대물렌즈의 입구 퓨필(61)의 비임 직경(D)은 약 7.5mm인 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.
8. 전항 중 어느 한 항에 있어서, 제3렌즈 그룹(3)에서 수치 개구는 적어도 0.25이며 스캔 각(θ)은 약 2.5°인 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.