KR0177848B1 - 스캐닝 대물렌즈 - Google Patents

Abstract

본 발명은 스캐닝 대물렌즈에 관한 것이다. 피사체 표면의 선 또는 점으로된 삼차원 스캐닝을 위해 높은 검사 속도와 아울러서 높은 해상도의 대물렌즈가 필요로 한다. 높은 해상도로 가능한한 많은 영상점을 맺도록 하기 위해서, 스캐닝 대물렌즈는 그에 대응하는 큰 수치 개구와 동시에 큰 영상 필드를 나타내어야 한다. 이러한 목적을 위해서, 상기 대물렌즈는 세개의 렌즈 그룹(1, 2, 3)으로 구성된다.

제1 및 제2렌즈 그룹(1, 2)은 스캔 각 감소 및 퓨필 확장을 야기시킨다. 입구 퓨필(61)은 제3렌즈 그룹(3)의 입구 퓨필(63)로 상이 맺힌다. 제3렌즈 그룹(3)은 예를들면 0.6의 큰 수치 개구를 갖는다. 더욱이, 실제의 중간 영상(5)은 정의 굴절력과 제1렌즈 그룹(1) 보다 큰 초점 길이(f)를 갖고 제2렌즈 그룹(2)에 의해 상이 맺힌다. 스캐닝 대물렌즈의 입구에서 비임 직경(D)이 7.5㎜, 스캔 각(θ)이 +/-16°, 스캔 길이S가 3.5㎜로, 예를들어 5㎜로 작용간격을 얻은 것이 가능하다.

Description

스캐닝 대물렌즈

본 발명은 높은 해상도 및 높은 검사 속도로 피사체 표면을 라인 또는 점으로 삼차원 스캐닝하기 위한 스캐닝 대물렌즈에 관한 것이다.

전자 조립 제품에서 점증하는 패킹 밀도로 인해 그에 따른 채용 검사가 요구된다. 보통, 이러한 검사는 고해상도 광학 검사 시스템에 의해 수행된다. 원칙적으로, 표면의 빠른 스캐닝을 위해 시스템과 관련하여 삼각함수가 사용될 수 있다. 그러나 구조물의 반사 표면의 경우에도 보통, 콘포컬 원리가 더 적합하다. 이 경우에, 보통 개구 막에 의해 한정되는 점광원이 피시체 표면으로 영상이 맺혀지며 배후 산란광이 거의 점 검출기로 영상이 형성된다. 이에 관련하여, 유럽특허원 제91 120 863.5호를 참조해 볼 수 있다. 콘포컬 광학 구성의 필드 깊이는 시스템의 가장 높은 해상도의 측정이다. 이 경우에, 필드의 깊이는 수치 개구의 제곱에 반비례한다. 고속으로 회전하는 다각형 거울과 같이, 높은 수치 개구 및 매우 빠른 비임 편향 장치를 스캐닝 대물렌즈는 자동 검사 시스템에 대한 높은 해상도의 요구 사항을 만족시킨다. 그러나 지금, 충분히 높은 수치 개구를 갖는 스캐닝 대물렌즈가 사용되지 않는다. 충분히 높은 수치 개구가 적어도 0.15의 값으로 나타나야 한다.

회절 제한 스캐닝 대물렌즈이 설계시에 필요하며 이론적으로 획득이 가능한 화상 형성을 야기시키는 량은 라그란지(Lagrange) 상수 L이다. 이것은 비임 편향 장치의 위치에서 비임 직경 D의 반과 스캐닝 각 또는 편향 각 θ의 적(produce)으로 형성된다. 이것은 수치 개구 NA와 스캐닝 대물렌즈의 스캔 길이 S의 반의 적(Product)과 유사하다.

분해능이 수치 개구에 의해 결정되므로, L은 스캔 라이딩 스캔된 점의 수와 비례한다. 따라서 높은 스캐닝 중에 높은 편향 속도와 스캐닝 시스템의 가장 가능성 있는 라그란지 상수 L에 의해서 높은 스캔 속도를 얻을 수 있다. 전술된 의존성에 따라, 비임 편향장치 및 스캐닝 대물렌즈는 서로 적응되어야 한다.

비임 편향장치에 대해, 다른 비임 편향기와 비교해서 다각형 거울을 회전시키기 위해, 큰 비임 직경과 동시에 적당한 각 속도와, 화소 데이터 속도가 매우 높게 된다. 다른 비임 편향기는 예를 들어 음향 광학 편향기, 공명 스캐너 또는 검류계 거울과 같은 것을 포함함을 알 수 있다. 상방으로 데이터 속도의 한계는, 거울의 비임 단면이 증가하거나 거울면의 직경이 증가하므로 회전 관성의 모멘트를 증가시키므로 제공된다. 시용된 물질과 다각형 거울의 기계적 구성에 따라서, 결과는 다각형 거울의 최적의 규격화가 야기된다.

스캐닝 대물렌즈의 근본적 설계는 다음의 의존성을 고려해야 한다. 즉,

-라그란지 상수(큰 영상 필드를 갖는 높은 해상도)가 클수록, 기하학적 영상 결함을 최소화하며 생산 방식으로 스캐닝 대물렌즈를 설계하는 것이 더 어렵다.

-수치 개구의 확장과 유사하게 해상도의 요구조건을 강화시킬때, 스캔 길이는 변화없는 라그란지 상수로 감소된다.

-만약, 선정된 라그란지 상수를 갖는 시스템에서, 수치 개구가 상수 초점길이로 증가되면, 대물렌즈 초점 길이는 줄어든다. 이것은 종래의 스캔 대물렌즈의 경우에 전면 및 후면 초점 평면이 렌즈 장치에 매우 근접해서 통과함을 의미한다. 왜냐하면, 그렇지 않을 때 수차 교정이 훨씬 더 어렵기 때문이다. 이것은 다시 다각형 거울의 위치 설정을 위한 요구된 공간을 제한한다.

수치화된 상호관계는, 큰 수치 개구와 동시에 큰 영상 필드를 갖는 스캐닝 대물렌즈가 종래의 수단을 사용하도록 구성될 수 없음을 나타낸다.

시장에서 유통되는 스캐닝 대물렌즈는 약 0.1의 수치 개구를 갖으며 적어도 20㎜의 초점 길이로 약 13°내지 15°스캔 각을 갖는다. 이러한 대물렌즈는 고속으로 회전하는 다각형 거울에 매우 적합하다. 이 경우에, 라그란지 상수는 약 1㎜이다. 그러나, 이러한 형태의 구성으로 된 대물렌즈는 높은 해상도를 갖는 콘포컬 스캐너에 적합하지 않다.

더욱이, 콘포컬 레이저 스캐닝 현미경이 존재한다. 대부분의 경우에, 이것은 종래의 광학 현미경 또는 광학 현미경 대물렌즈에 기초해서 구성되어 높은 수치 개구를 처리할 수 있다. 그러나, 대강 0.15㎜의 라그란지 상수로, 전체 영상화 작업수행은 작은 영상 필드 또는 작은 스캔 길이로 인해서, 비교적 낮다. 이 경우에, 음향 비임 편향기가 자주 사용되며, 그에 따라 영상 작업 수행은 작은 편향 및 그와 동시에 발행하는 작은 개구로 인해 감소되는데, 상기 개구는 원형이 아니다. 더욱이, 상기 비임 편향은 수차(비점 수차)로 부터 독립되어 있지 않다.

독일연방공화국 공개공보 DE 36 10 165호에는 광학 스캐닝 현미경에 대해 기술되어 있다. 상기 현미경에는 피사체의 이차원 스캐닝을 위한 두개의 비임 편향 수단이 포함된다. 전술된 현미경을 높은 해상력을 나타내지만, 표면의 스캐닝을 위해 높은 스캔 속도를 갖는 큰 영상 필드와 관련이 없다.

본 발명의 목적은 스캐닝 대물렌즈의 구성에 있어서, 그에 따라 높은 수치 개구에 대응하는 높은 해상도로 큰 영상 필드가 동시에 높은 스캐닝 속도로 스캔된다.

이러한 목적은 청구범위 제1항에 기술된 특징에 의해 수행된다.

원칙적으로, 대물렌즈의 높은 해상도는 수치 개구의 높은 값에 의해 보장된다. 스캔 각 또는 각각의 편향 각은 대물렌즈의 초점 길이에 따라, 영상 필드의 크기를 결정한다.

본 발명은, 적당한 설계로, 세개의 렌즈 그룹을 포함하는 스캐닝 대물렌즈에 의해 요구된 특성이 수행된다는 사실에 기초를 두고 있다. 정의 굴절율을 갖으며 비교적 작은 수치 개구를 갖는 스캔 비임의 방향으로 보이는, 제1렌즈 그룹은 높은 영상 실현의 경우에 비임 편향 장치에 결합시키기 위한 이상적인 소자로서 고려될 수 있다. 이러한 광학 시스템은, 그 구성에 있어서 비교적 큰 수치 개구를 갖고, 종래 기술로 부터의 전형적인 스캐닝과 일치한다. 상기 시스템은 회절 제한 방식으로 6개의 개별 렌즈 이하를 사용하여 제조될 수 있다. 실제의 중간 영상이 이러한 렌즈 그룹에 의해 발생된다. 그 큰 장점은 가입 퓨필과 제1렌즈의 표면사이의 충분한 정점거리이다.

피사체 측에 배치된 제3렌즈 그룹은 큰 초점길이를 갖으며 약 2.5°의 비교적 작은 편향 각을 갖는 높은 수치 개구를 갖는다. 상기 회절 한계내에 있도록, 기하학적인 영상 결함이 광학적으로 교정되어야 한다. 필요하면, 편향 각이 감소되어야 한다. 상기 구성과 시준기 광학 시스템의 유사성의 결과로서, 구형 수차의 교정만이 수행될 필요가 있다. 제3렌즈 그룹의 전술된 설계의 결과로서, 스캐닝 시스템 또는 높은 수치 개구를 갖는 피사체 측 상의 스캐닝 대물렌즈의 영상 수행이 가능하다.

정의 회절을 갖으며, 무한대로 제1렌즈 그룹의 실제 중간 영상을 맺는 제2렌즈 그룹이 구성되어, 제1 및 제2렌즈 그룹에 의해 형성된 출구 퓨필이 제3렌즈 그룹의 입구 퓨필에 일치하게 된다. 상기 제2렌즈 그룹의 영상 각은 이 경우에 제3렌즈 그룹의 편향 각과 일치해야 한다. 이러한 제2렌즈 그룹은 예를들면 반전된 스캐닝 대물렌즈가 될 수 있다. 이것은 공지된 스캐닝 대물렌즈가 반대방향으로 사용됨을 의미한다. 이 경우에, 스캔 길이(중간 영상의 영상 높이)와 제1렌즈 그룹에 대해 수치 개구를 적당히 적응시키도록 해야하는 것이 필요하다. 더욱이, 스캔 각(영상 각)과 제3렌즈 그룹의 입구 퓨필의 직경에 대해서 적응을 수행하는 것이 필요하다. 제1렌즈 그룹과 제2렌즈 그룹의 초점 길이의 비는 이 경우에 제1렌즈 그룹과 제3렌즈 그룹의 스캔 각(영상 각) 사이의 비에 대응한다. 모두 세개의 렌즈 그룹은 회절 제한된다.

본 발명의 특히 유리한 부면에는 F-θ대물렌즈로서 스캐닝 대물렌즈의 설계가 포함된다. F-θ대물렌즈에 대한 필요조건은 스캔 각 또는 편향 각과 순간 출력 편향 또는 순간 영상 높이 사이의 비례관계이다. 이것은 자동 검사 시스템에서 기술적 제어 비용을 감소시키는 효과를 갖는다.

주요 선(rays)이 제1 및 제2렌즈 그룹 사이의 광학 축에 평행하게 흐르게 하는 것이 유리하다. 텔레센트릭 설계에 대응하는, 이러한 구성은 먼저 제1 및 제2렌즈 그룹에 적용되며 한편 전체 스캐닝 대물렌즈에 적용될 수 있다. 그에 따른 장점은 간단한 방식으로 개별 텔레센트릭 렌즈를 차례로 뒤쪽으로 접속시키는 것이 가능하다는 사실에 있다. 전체 스캐닝 대물렌즈이 텔레익센트릭 설계는 특히 측정 목적으로 유리하게 응용됨을 의미한다. 비싼 전자(하드웨어 또는 소프트웨어) 교정은 충분하다.

스캐닝 대물렌즈의 전체 초점 길이가 제1렌즈 그룹의 제2렌즈 표면과 상기 대물렌즈의 정면에 놓이는 입구 퓨필 사이의 간격보다 짧을 때, 스캐닝 대물렌즈와 비임 편향 장치 사이의 결합은 간단한 방식으로 수행될 수 있다.

제1렌즈 그룹의 수치 개구가 적어도 0.15이면(전체 스캐닝 대물렌즈의 수치 개구가 예를 들어 0.6이 될 수 있다). 높은 전체 수치 개구에 대한 설계가 다음과 같은 렌즈 그룹의 구성에 대해서 더 자유롭게 얻어지므로 훨씬 더 유리하다.

본 발명의 또 다른 유리한 점은 스캔 각이 약 16°의 값을 갖으며 입구 퓨필이 약 7.5㎜의 직경을 갖는다는 것이다. 전술된 수치 값에 대한 스캐닝 대물렌즈의 이러한 두개의 파리메타에 대한 설명은 고속으로 회전하는 다각형 거울의 설계에 대해 특별한 장점을 제공한다(예를들면, 12면, 거울 직경 약 70㎜, 면 길이 약 19㎜).

제3렌즈 그룹의 수치 개구가, 약 2.5°의 스캔 각과 약 8㎜의 스캔 길이의 결합으로 적어도 0.25이면, 대물렌즈와 약 30㎜의 피사체 사이에 간격을 설정하는 것이 가능하다.

이후로 도면을 참조하여 실시예가 설명된다.

제1도는 수치 개구가 0.1인 전형적인 대물렌즈의 기본도를 도시하며, 제2도는 제1도의 도면과 비교해서 수치 개구가 확대된 스캐닝 대물렌즈의 비임 경로를 도시하며, 제3도는 높은 수치 개구의 스캐닝 대물렌즈의 상세한 구조도이며, 제4도는 제3도에 따른 스캐닝 대물렌즈의 기본도를 도시한다.

실선으로 표시된 대물렌즈(11)의 비임 경로가 제1도에 대강 표시되어 있다. 대물렌즈(11)는 광학 축(10)에 대해서 배치된다. 초점 길이 f는 대물렌즈(1)의 양측에 표시되어 있다. 입구 퓨필(61)에서 비임 직경D로부터 시작해서, 주은 선(7) 및 여부의 선(8)은 스캔 각θ에 따라 연장된다. 피사체 평면(9)은 도면의 우측에 표시되어 있다. 스캔 길이 S는 영상 크기에 대응한다.

제1도에 도시된 공지된 스캐닝 대물렌즈는 다수의 제조자에 의해서 상용으로 배포되어 있다. 보통, 그 수치 개구는 0.1이하이며 초점 길이는 20㎜이상이다. 상기 스캔 각은 +/-13°이내지 25°의 범위이다. 라그란지 상수가 광학소자의 영상 수행의 척도를 표시하므로, 상기 수치 개구는 영상 점의 크기를 결정하며 영상화 수행은 분해된 영상점의 수에 기초하며, 그 규격은 소정의 개구가 존재하는 방식이 되어야 한다. 라그란지 상수가 영상화 수행의 척도로서 일정하게 유지되며 전체 시스템의 초점 길이가 변하지 않으며, 수치 개구가 증가할 때 그 결과가 제2도에 대응하는 비임 경로이다. 이 경우에 역시, 입구 퓨필(61) 및 피사체 평면(9)은 초점에서 각 순간에 놓인다. 스캔 길이 S는 광학 축(10)과 관련하여 대칭으로 윤곽이 잡이며, 직경이 제1도에서 보다 대체로 큰 입구 퓨필(61)의 비임 직경D이 들어간다. 스캔 각θ가 제1도의 스캔 각θ와 관련하여 대체로 강조됨이 명백하다. 이것이 스캔 길이 S에도 동일하게 적용된다. 주요 선(7) 및 여분의 선(8)은 같이 들어간다. 그러나 제2도에 대응하는 구성이 설정된 피사체의 결과에 실제로 사용되지는 않는다. 왜냐하면 이 경우에 비임 편향 장치의 채용이 보통 열악한 상태에서만 가능하기 때문이다. 구성 자체는 시준기 광학 시스템에 대강 대응하며, 이것은 보통 하나의 점만 영상을 나타낸다. 이 경우, 높은 수치 개구가 간단한 방식으로 획득이 가능해진다. 왜냐하면 영상 각이 작기 때문이다.

만약, 제1도에 기초해서, 라그란지 상구 및 스캔 각θ가 일정하게 유지되면, 수치 개구는 증가되면 초점 길이f는 더 작아진다. 이것은 스캐닝 대물렌즈의 전방에 비임 편향 장착과 관련된 난점을 야기시킨다.

예를 들어 50×/0.6인 순수한 현미경 대물렌즈는 피사체의 설정에만 문제가 생길 수 있다. 왜냐하면 이 경우에 극도로 작은 편향 각이 존재하기 때문이다. 더욱이, 입구 퓨필이 보통 현미경 대물렌즈의 렌즈 시스템에 매우 근접해서 배치된다. 제3도는 상향 비임 편향 장치(4)를 갖는 스캐닝 대물렌즈를 도시한다. 전술된 렌즈그룹(1내지 3)으로부터 이루어지는 스캐닝 대물렌즈는 0.6의 수치 개구를 갖는다. 제1렌즈 그룹(1) 및 제2렌즈 그룹(2)은 각각의 경우에 5개의 개별 렌즈를 포함한다. 상기 제1렌즈 그룹은 0.15의 수치 개구와 25㎜의 초점 길이를 갖는다. 제2렌즈 그룹은 160㎜의 초점 길이로 실제 중간 영상(5)으로부터 나오는 비임을 시준한다. 이 경우에, 비임 확장 및 각 감소가 야기된다. 이중 렌즈, 세개의 직접 인접하며 정으로 회절하는 개별 렌즈와 삼중렌즈를 포함하는 제3렌즈 그룹(3)이 40㎜의 초점길이와 0.6의 수치 개구를 갖는다. 상기 대물렌즈이 전체 길이는 약 650㎜이다.

제3도에 따른 스캐닝 대물렌즈는 높은 수치 개구(0.6 및 큰 스캔 길이S)를 처리한다. 0.15의 더 작은 수치 개구를 갖는 제1렌즈 그룹(1)은 약 +/-16°의 큰 스캔 각을 나타낸다. 제1렌즈 그룹(1)은 비임 편향 장치(1)에 대한 결합 소자를 표시한다. 정의 회절력을 갖는 제3렌즈 그룹(3)의 0.6의 높은 수치 개구는 2.5°의 작은 영상 각에 의해 얻어진다. 이것은 예를들어 제3렌즈 그룹으로서, 퓨필 직경이 48㎜, 초점길이 f가 40㎜ 영상 필드가 3.5㎜임을 의미한다. 이 경우에, 그 구성에 있어서, 이 렌즈 그룹은 50폴드 확대인 더 큰 스케일의 현미경 대물렌즈와 유사하다.

원칙적으로, 제1의 두개의 렌즈 그룹(1, 2)은 스캔 각의 감소 및 퓨필 확대를 야기시킨다(도면의 좌측에서 우측으로 볼 때 그러하다). 이 경우에, 제1렌즈 그룹(1)의 입구 퓨필(61)은 제3렌즈 그룹(3)의 입구 퓨필(63)로 영상이 맺혀지거나, 또는 제1 및 제2렌즈 그룹(1, 2)의 출구 퓨필(62)은 제3렌즈 그룹(3)의 입구 퓨필(63)과 일치하게 된다. 이것은 입구 퓨필(63)과 제3렌즈 그룹(3)의 제1렌즈의 글래스 표면 사이의 간격이 구성상 부가적인 여유로서 그리고 제3렌즈그룹(3)의 최적화를 위해 릴리즈된다. 개별 렌즈 그룹의 퓨필은 스캐닝 대물렌즈의 구성에만 고려된다. 그러한 스캐닝 대물렌즈는, 전체적으로, 단지 하나의 입구 퓨필과 하나의 출구 퓨필만을 갖는다. 스캐닝 대물렌즈의 부가적인 텔레센트릭 구성으로 자동 3D 검사 시스템의 측정된 데이터 평가를 간략하게 된다.

제3 또는 4도에 따라서, 중간 영상(f)은 렌즈 그룹(1)에 의해서 발생된다. 렌즈 그룹(1-3_과 광학 축(10)에 대한 주요 선(7) 및 여분의 선(8)의 경로가 표시된다. 제2렌즈 그룹(2)은 무한대로 중간 영상(5)을 맺히게 한다. 이 경우에, 제1 및 제2렌즈 그룹(1, 2)에 의해 퓨필 영상이 발생되며, 여기서 제1렌즈 그룹(1)의 입구 퓨필(61)은 제3렌즈 그룹(3)의 입구 퓨필(63)로 영상이 맺힌다. 이것은 스캔 각 변환으로서 지정될 수 있다. 제3렌즈 그룹(3)의 입구 퓨필(63)은 제2 및 제3렌즈 그룹(2, 3) 사이에 놓인다. 평행한 선이 최대 직경으로 상기 퓨필을 통해서 전달된다. 그와같이 고려되는 제1렌즈 그룹(1)은 낮은 해상도의 스캐닝 대물렌즈로서 고려될 수 있다. 제2렌즈 그룹(2)에도 동일하게 적용되며 그러나 이 경우에, 더 큰 초점 길이f를 나타낸다.

전술된 스캐닝 대물렌즈를 사용하여 예를들어 해상도가 0.5㎛의 범위에서 발생될 수 있다.

제4도는 높은 수치 개구를 갖는 스캐닝 대물렌즈의 기본 구성을 도시한다.

가능한 기술적 데이터 :

[예 1]

수치 개구(전체) : 0.6㎜

초점 길이f : 6.25㎜

입구에서, 비임 직경D : 7.5㎜

작용 간격 : 5㎜

스캔 각θ : +/-16°

간격 a : 15㎜

스캔 길이S : 3.5㎜

[예 2]

비임 직경 및 스캔각이 일정하다.

수치 개구 : 0.2f

스캔 길이S : 7.5㎜

작용 간격 : 27㎜

초점 길이f : 약 14㎜

본 발명에 따른 스캐닝 대물렌즈의 구본 구성은, 제4도의 도식적 표시와 일치하게, 제1, 제2 및 제3렌즈 그룹(1, 2, 3)을 포함한다. 검사되는 피사체의 표면 또는 피사체 평면(9)은 도면의 우측 마진에 윤곽이 나타나 있다. 전체 스캐닝 대물렌즈의 입구 퓨필(61)은 도면의 좌측 마진에 표시되어 있다. 전체 장치는 광학 축(100)을 나타낸다. 주요 선(7) 및 여분의 선(A)의 특성 경로는 일치하게 외곽이 형성된다.

판으로 제4도에 도시된, 입구 퓨필(61)은 회전 다각형 거울로 대치될 수 있다. 제1 및 제2렌즈 그룹(1, 2)의 출구 퓨필(62)은 제3렌즈 그룹(3)의 입구 퓨필(63)과 일치하며, 이 경우에, 제2렌즈 그룹(2)은 무한대로, 제1렌즈 그룹(1)에 의해 발생된, 중간 영상(5)을 맺히게 한다.

Claims (1)

1. 전자 회로 기판 조립체의 표면 검사를 위한 스캐닝 시스템에 특별히 사용되는, 조사 비임 또는 조사 비임 및 측정 비임의 유도를 위한 스캐닝 대물렌즈에 있어서, 세개의 렌즈 그룹(1, 2, 3)을 포함하며, 여기서, 비임 편향 장치(4)에 결합시키기 위해 제1렌즈 그룹(1)이 제공되며 상기 그룹은 정의 회절력을 갖으며 수치 개구로 중간 영상(5)을 발생하며 상기 개구는 전체 스캐닝 대물렌즈와 관련해서 작으며 동시에 큰 스캔 각(θ)을 갖으며, 피사체 측에는 제1렌즈 그룹(1)에 비해 더 큰 수치 개구를 갖는 제3렌즈 그룹(3)이 제공되며, 정의 회절력을 갖으며 제1렌즈 그룹(1)에 비해 더 큰 초점 길이(f)를 갖는 삽입된 제2렌즈 그룹(2)이 제공되며, 상기 렌즈 그룹은 무한대로, 제1렌즈 그룹(1)에 의해 발생된 중간 영상(5)을 맺히게 하며, 제1 및 제2렌즈 그룹(1, 2)에 의해 형성된 출구 퓨필(62)은 제3렌즈 그룹(3)의 전방에 놓이게 되며, 제3렌즈 그룹의 입구 퓨필의 위치에서 스캔 각 감소는, 제1 및 제2렌즈 그룹(1, 2)에 의해 수행되며, 그 결과 시준기 광학 시스템과 유사한 렌즈 그룹(3)이 구면 수차를 제외하고는, 기하학적 영상 결함에 대해 간단한 방식으로 교정될 수 있는 것을 특징으로 하는 스캐닝 대물렌즈.