KR950024617A - 렌즈 설치방법 및 그 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체기판위에 부분적으로 발광하는 발광영역을 종횡으로 다수 형성하고, 기판측을 연마하여, 기판을 종횡으로 잘라 발광소자칩을 잘라내서 발광소자칩의 발광영역측을 패키지로 고정하고, 연마된 주평면측에서 광을 내도록 하여 평탄한 주평면위의 발광영역의 바로 위의 위치에 집광렌즈를 설치하는 방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 상기 집광렌즈 설치방법은 발광소자칩을 설치한 패키지를 2자유도를 가지는 XY스테이지에 두고, 발광소자에 전기를 통하게 하여 발광시키고, Z방향으로 이동할 수 있는 카메라로 발광영역을 관찰하며, 광의 강도 사영법과 농담중심계측법에 의해 발광영역중심을 구하고, 카메라중심에 발광영역중심을 합치시키고, 이미 결정된 일정거리만큼 XY스테이지를 움직여서 Z방향으로 변위할 수 있는 디스펜서의 바로 아래에 발광소자를 위치시키고 디스펜서의 선단을 발광소자칩에 접촉시키면서 자외선경화수지를 발광소자칩의 주평면에 도포하여 디스펜서를 끌어올리고, 또 이미 정해진 일정거리만큼 XY스테이지를 움직여서 Z방향으로 변위할 수 있으며 이미 렌즈를 유지하고 있는 진공흡착콜렛의 바로 아래에 발광소자를 위치시키고 진공흡착콜렛을 하강시켜서 렌즈가 발광소자칩의 주평면에 접촉하도록 하며, 이상태대로 자외선을 자외선경화수지에 조사하고 자외선경화수지를 경화시켜서 렌즈를 발광소자의에 고정하여 진공흡착콜렛을 끌어올리도록 한 것을 특징으로 한다.

Description

렌즈 설치방법 및 그 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 카메라를 사용하여 발광영역중심을 구하기 위한 강도사영(射影)법의 설명도.
제3도는 카메라를 사용하여 발광영역중심을 구하기 위한 중심계측법의 설명도,
제4도는 접착제를 칩에 붙이기 위한 디스펜서(dispenser)의 사시도,
제6도는 본 발명에 의해 칩에 접착제를 도포하는 공정을 나타내는 단면도,
(a)는 수지방울을 만든상태,
(b)는 니들이 발광소자에 접촉한 상태,
(c)는 니들을 끌어 올린 상태.
제10도는 콜렛에 의해 렌즈를 유지하여 칩에 붙이고 있는 상태를 나타내는 단면도.

Claims (11)

  1. 반도체기판위에 부분적으로 발광하는 발광영역을 종횡으로 다수 형성하고, 기판측을 연마하여, 기판을 종횡으로 잘라 발광소자칩을 잘라내서 발광소자칩의 발광영역측을 패키지로 고정하고, 연마된 주평면측에서 광을 내도록 하여 평탄한 주평면위의 발광영역의 바로 위의 위치에 집광렌즈를 설치하는 방법에 있어서, 발광소자입을 설치한 페키지를 2자유도를 가지는 XY스테이지에 두고, 발광소자에 전기를 통하게 하여 발광시키고, Z방향으로 이동할 수 있는 카메라로 발광영역을 관찰하며, 광의 강도 사영법과 농담중심계측법에 의해 발광영역중심을 구하고, 카메라중심에 발광영역중심을 합치시키고, 이미 결정된 일정거리만큼 XY스테이지를 움직여서 Z방향으로 변위할 수 있는 디스팬서의 바로 아래에 발광소자를 위치시키고 디스펜서의 선단을 발광소자칩에 접촉시키면서 자외선경화수지를 발광소자칩의 주평면에 도포하여 디스펜서를 끌어올리고, 또 이미 정해진 일정거리만큼 XY스테이지를 움직여서 Z방향으로 변위할 수 있으며 이미 렌즈를 유지하고 있는 진공흡착콜렛의 바로 아래에 발광소자를 위치시키고 진공흡착콜렛을 하강시켜서 렌즈가 발광소자칩의 주평면에 접촉하도록 하며, 이 상태대로 자외선을 자외선경화수지에 조사하고 자외선경화수지를 경화시켜서 렌즈를 발광소자위에 고정하여 진공흡착콜렛을 끌어올리도록 한 것을 특징으로 하는 렌즈설치방법.
  2. 제1항에 있어서, 디스펜서가 Z방향으로 움직이는 경우 처음에 고속으로 하강하고 이어서 저속으로 하강하도륵 하여 저속으로 발광소자에 접촉하도록 한 것을 특징으로 하는 렌즈설치방법.
  3. 제1항에 있어서, 렌즈를 유지한 진공흡착콜렛이 Z방향으로 움직이는 경우 처음에 고속으로 하강하고 이어서 저속으로 하강하도록 하여 저속으로 발광소자에 접촉하도록 한 것을 특징으로하는 렌즈설치방법.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 디스펜서는 발광소자의 윗면과 측면을 덮기에 충분한 자외선경화수지를 발광소자칩에 도포함으로써 측면에 흐르는 자외선경화수지가 발광소자측면의 접합을 덮도록 한 것을 특징으로 하는 렌즈설치방법.
  5. 제1항에 있어서, 집광렌즈가 수지에 조사하는 자외선에 대해서 투명한 것을 특징으로 하는 렌즈설치방법.
  6. 제1항에 있어서, 발광소자에 도포된 자외선경화수지에 대해서 2방향에서 자외선을 조사함으로써 자외선빔이 수평과 이루는 각도를 20°∼60°로 하고, 2개의 자외선빔이 이루는 각도가 90°∼270°인 것을 특징으로 하는 렌즈설치방법.
  7. 반도체기판위에 부분적으로 발광하는 발광영역을 종횡으로 다수 형성하고 기판측을 연마하고 기판을 종횡으로 잘라 발광소자칩을 잘라내서 발광소자칩의 발광영역측을 패키지로 고정하고, 연마된 주평면측에서 광을 내도록 하여 평탄한 주평면의의 발광영역의 바로 위의 위치에 집광렌즈를 설치하는 장치에 있어서, 복수의 발광소자칩을 얹어 놓는 발광소자받이대와, 복수의 렌즈를 얹어 놓는 렌즈받이대와, 발광소자받이대와 렌즈받이대를 유지하여 X방향, Y방향으로 이동할 수 있는 XY스테이지와, 발광소자의 발광영역을 관찰하여 발광영역의 중심을 구하기 위한 텔레비젼카메라와, 텔레비젼카메라를 Z방향으로 이동가능하게 지지하는 Z축스테이지와, 발광소자에 접촉하여 자외선경화수지를 발광소자칩의 주평면에 도포할 수 있는 디스펜서와, 디스펜서를 Z방향으로 이동할 수 있도록 지지하는 Z축 스테이지와, 디스펜서를 강하시키거나 상승시키는 기구와, 렌즈를 진공흡착하여 이것을 끌어올려서 발광소자의 주평면위에 내리누를 수 있는 진공흡착콜렛과 진공흡착콜렛을 Z방향으로 움직일 수 있는 Z측스테이지와, 진공흡착콜렛을 강하시키거나 상승시키는 기구와, 방광소자에 자외선을 조사하는 자외선조사헤드를 포함하고, XY스테이지를 움직여서 하나의 발광소자를 카메라아래로 옮기고, 발광소자를 발광시켜서 카메라로 촬영하고 발광소자의 중심을 구하며, 발광소자의 중심과 카메라의중심을 맞추어서 일정거리 XY스테이지를 움직여서 디스펜서의 바로 아래로 옮기고, 디스펜서를 강하시켜서 선단을 발광소자에 접촉시키고 자외선경화수지를 발광소자에 도포하고, 또 일정거리 XY스테이지를 움직여서 발광소자를 진공흡착콜렛의 바로 아래로 옮기고, 렌즈를 진공흡착콜렛에 의해 반광소자에 눌러 접촉시키고 자외선경화수지에 대해서는 자외선조사헤드에서 자외선을 조사하여 이것을 경화시키도록 한 것을 특징으로 하는 렌즈설치방법.
  8. 제7항에 있어서, 렌즈를 유지하는 진공흡착콜렛의 선단의 내부둘레면이 원추형상인 것을 특징으로하는 렌즈설치장치.
  9. 제7항에 있어서, 렌즈를 유지하는 진공흡착콜렛의 선단의 내부둘레면이 삼각추형상인 것을 특징으로 하는 렌즈설치방법.
  10. 제7항에 있어서, 디스펜서가 자체무게를 상쇄하는 기구를 구비하고 있고, Z축스테이지에 대해서 자체무게에서 상쇄하는 중량을 뺀 하중에 의해 현가되어 있고, 디스펜서의 선단이 발광소자에 접촉하면 디스펜서는 Z축스테이지에 대해서 윗쪽을 향해 상대변위하고, 발광소자에 걸리는 역적을 경감하도록 한 것을 특징으로 하는 렌즈설치창치.
  11. 제7항에 있어서, 진공흡착콜렛이 자체무게를 상쇄하는 기구를 구비하고 있고, Z축스테이지에 대해서 자체무게에서 상쇄하는 중량을 뺀 하중에 의해 현가되어 있고, 진공흡착콜렛이 유지하는 렌즈의 하단이 발광소자에 접촉하면 진공흡착콜렛은 Z축스테이지에 대해서 윗쪽을 향해 상대변위하고, 발광소자에 걸리는 역적을 경감하도록 한 것을 특징으로 하는 렌즈설치장치·
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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