KR950024295A - 가압 밀봉 가능한 운반형 용기용 자동 조립기/분해기 장치. - Google Patents

가압 밀봉 가능한 운반형 용기용 자동 조립기/분해기 장치. Download PDF

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Abstract

자동 용기 조립기 장치(800)의 목적은 COAST 용기의 구성 요소 즉, 생산 라인에서 처리할 웨이퍼(138), 카세트 저장실(123), 단일 웨이퍼 홀더(130)를 조립하기 위한 것이다. 실질적으로 조립기 장치는 케비넷의 내부 공간에 송풍기에 의해 생성되는 청정 여과 가스 유동이 제공되므로 그 안에는 외기에 비해 압력이 약간 높은 정정 가스상 소형 분위기가 형성된다. 케비넷은 적절한 수의 요소들을 수동으로 안전하게 채워질 수 있도록 구성된 수직 저장기(804)를 포함한다. 일반적으로 웨이퍼는 다중 웨이퍼 홀더(130’)안에 수용된다. 이러한 요소들은 인입로드록 장치(810)을 통하여 캐비넷 안으로 도입되어 작업자에 의해 테이블(806)위에 놓여진다. 그 다음, 작업자는 상기 요소들을 조작 글러브(805)를 통해 저장기의 그 각각의 저장소(815) 안에 배치한다. 캐비넷에는 적재 로드록 장치(808)내에서 요소들의 완전한 조립을 수행하기 전에 각 종류의 요소들 중 어느 한 요소를 연속으로 자동 파지하기 위한 자동 조작기 기구(807)이 설치된다. 상기 조작기 기구는 실질적으로 X, Y, Z방향으로 이동 가능한 회전하는 헤드(822)로 구성되며, 각각이 특정 요소에 알맞게 구성된 다수의 취급기(822A, 822B, 822C)를 구비한다. 이러한 요소들이 일단 적절히 조립되어 용기를 형성하게 되면 용기의 내부 공간은 초 순수 중성 가스로 가압된다. 더욱이, 적재 로드록 장치는 또한 상기 조립된 가압 용기를 COAST 생산 라인의 외부 격벽 컨베이어(402)의 IN 스테이션(402-I)상에 풀어놓으며 이와 함께 생산 라인을 제어하는 호스트 컴퓨터에 식별 데이타를 제공하도록 구성된다. 이와 아주 유사한 구조를 가지며 반대의 단계를 수행하는 분해기 장치에도 상기와 유사한 이치가 적용된다.

Description

가압 밀봉 가능한 운반형 용기용 자동 조립기/분해기 장치.
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 COAST[무오염, 전 자동화, 단일 피가공물/웨이퍼 처리(COntamination-free, global Automation, Single workpiece/wafer Treatment)]개념에 따라 용기의 기본 요소 즉, 카세트 저장실, 웨이퍼 홀더 및 웨이퍼를 개략적으로 도시한 분해 사시도.
제2도는 제2A도 및 제2B도로 구성되는 도면으로, 그 각각의 도면은 각각이 다수의 웨이퍼를 수용하도록 되어 있을 때의 카세트 저장실과 웨이퍼 홀더를 도시하는 도면.
제3도는 COAST 개념에 따라 3개의 혁신적의 기본 구성 부재 즉, 가압 밀봉 가능한 운반형 용기, 가압 인터페이스 장치, 가스 분배 장치가 표준 지능형 가요성 내부 격벽(intra-bay)/외부 격벽(extra-bay) 컨베이어 시스템 및 플로어형 컴퓨터 시스템(FCS:Floor Computer System)과 결합되면 생산 라인의 일부를 형성하게 되는 급송 장치를 개략적으로 도시하는 사시도.

Claims (12)

  1. COAST[무오염, 전 자동화, 단일 피가공물/웨이퍼 처리(COntamination-free, global Automation, Single workpiece/wafer Treatment)] 용기(100)의 필수 요소 즉, 카세트 저장실(123), 단일 웨이퍼 홀더(130), 반도체 웨이퍼(138)을 자동 조립하고, 생산 라인(15)의 컨베이어(402) 상에 조립된 용기를 풀어눙기 전에 상기 조립된 용기를 가압하며, 평균 청정실(average cleanliness room)내에서 작동 가능한 조립기 장치(800)에 있어서, 적어도 하나의 격실(802)를 한정하는 전방 벽과 후방 벽과 2개의 측벽을 포함하는 캐비넷(801)과, 각각이 상기 요소들 중 한 종류를 적절히 지지하도록 구성된 서로 다른 종류의 저장소(bin)(815)가 마련된 캐비넷의 내측에 장착된 수직 저장기 수단(804)와, 상기 요소들을 외측으로부터 캐비넷 안에 도입하기 위한 인입 로드록(loadlock)수단(810)과, 상기 요소들을 캐비넷 안에서 조작하고 특히 상기 요소들을 상기 저장기 수단의 그 각각의 저장소 안에 정확히 배치하는 조작(manipulating) 수단(805)와, 캐비넷 내측에 장착되며 상기 컨베이어에 인접한 위치에서 캐비넷의 외측과 인터페이스하는 적재 로드록(load loadlock)기구(808)과, 각 종류의 요소들을 상기 저장기 수단의 그 각각의 저장소로부터 상기한 순서대로 연속적으로 자동 파지하며, 상기 적재 로드록 기구 내에서 조립 용기를 최종적으로 제조하도록 자동 조립을 하기 의하여 상기 적재 로드록 기구와 협동하는 자동 조작기(manipulator) 기구(807)과, 상기 적재 로드록 기구에 연결되어 상기 조립 용기를 가압하도록 구성된 초 순수 압축 중성 가스 공급 수단(852)과, 조립 가압 용기를 상기 적재 로드록 기구의 내부로부터 상기 컨베이어의 IN 스테이션(402-I)로 이송하는 이송 기구(827, 839)와, 캐비넷 안에 외기에 비해 압력을 약간 높게 한 청정 소형 분위기를 마련하도록 청정 공기를 캐비넷의 상부로부터 저부로 송풍하는 공기 순환 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 공기 순환 수단은 송풍기 조립체와, 필터와, 캐비넷의 천장에 설치된 습도 제어 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 웨이퍼에 기록된 식별 데이타를 판독하기 위하여 캐비넷 내측에 있는 웨이퍼 배향 및 식별(orientation and identification) 수단(809)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 식별 수단이 상기 웨이퍼에 기록하기 위한 수단도 포함하는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  5. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서. 요소들이 캐비넷의 내부 공간 안에 도입 될 때 상기 요소들을 지지하는 작업 테이블(806)을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 조작 수단은 작업자가 상기 작업 테이블 위에서 상기 요소들을 처리할 수 있게 하는 다수의 조작 글러브(glove)로 구성되는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  7. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 저장기가 3개의 승강기(804A, 804B, 804C)로 구성되고, 상기 승강기 각각에는 공간과 형상이 한 종류의 요소에 적합하도록 구성된 다수의 중첩 저장소가 마련된 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 승강기는 작업자의 제어에 의해 상향 또는 하향으로 점진적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  9. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 수직 저장기와 조합되어 상기 캐비넷 내측에 2개의 격실(802A, 802B)를 구획하는 격벽을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  10. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 적재 로드록 기구가 처리 공정을 초기화 하기 위하여 생산 라인을 제어하는 호스트 컴퓨터와의 통신 수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  11. 상기 항들 중 어느 한 항에 있어서, 상기 조작기 기구는, X, Y, Z 방향으로 이동 가능한 회전하는 헤드(822)로 구성되며, 각각이 요소를 안전하게 파지하고 다루도록 구성된 다수의 취급기(822A, 822B, 822C)를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 조립기 장치.
  12. 가압 조립된 COAST[무오염, 전 자동화, 단일 피가공물/웨이퍼 처리(COntamination-free, global Automation, Single workpiece/wafer Treatment)]용기(100)의 필수 요소 즉, 생산 라인(15)의 컨베이어(402) 상에서 입수할 수 있는 반도체 웨이퍼(138), 카세트 저장실(123), 단일 웨이퍼 홀더(130)을 자동 분해 하고, 평균 청정실(average cleanliness room)내에서 작동 가능한 분해기 장치 (800′)에 있어서, 적어도 하나의 격실(802′)을 한정하는 전방 벽과 후방 벽과 2개의 측벽을 포함하는 캐비넷(801′)과, 상기 조립 가압 용기를 상기 컨베이어의 IN 스테이션(402-I)로부터 내부로 이송하기 위한 이송 기구(827′, 839′)이 설치된 상기 컨베이어에 인접한 위치에서 캐비넷의 외측과 인터페이스하는 하역 로드록(unload loadlock) 기구(808′)과, 각각이 상기 요소들 중 한 종류를 적절히 지지하도록 구성된 서로 다른 종류의 저장소(bin)(815′)이 마련된 캐비넷의 내측에 장착된 수직 저장기 수단(804′)과, 상기 용기를 자동으로 분해하기 위하여 상기 하역 로드룩 기구와 협둥하여 각 종류의 요소들이 상기 저장기 수단의 그 각각의 저장소에 배치되기 전에 상기 요소들을 상기한 순서대로 연속적으로 파지하도록 구성된, 캐비넷 내측의 자동 조작기(manipulator) 기구(807′)과, 상기 요소둘을 캐비넷 안에서 조작하고 특히 상기 요소들을 상기 저장기 수단의 그 각각의 저장소로부터 제거하는 조작(manipulating) 수단(805)와, 캐비넷 안에 외기에 비해 압력을 약간 높게 한 청정 소형 분위기를 마련하도록 청정 공기를 캐비넷의 상부로부터 저부로 송풍하는 공기 순환 수단과, 상기 요소들을 상기 케비넷의 내측으로부터 꺼내는 배출 로드록 수단(810′)을 포함하는 것을 특징으로 하는 분해기 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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