KR950019807A - 주사형 전자현미경 - Google Patents

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Abstract

(목적) 본 발명은 전자선 장치에 관한 것으로, 특히 저가속 전압에 있어서 시료로부터 발생한 2차전자와 반사전자를 분리 또는 합성하여 검출하여, 고분해상을 얻는데 적합한 주사형 전자현미경 및 그 유사장치에 관한 것이다.
(구성) 본 발명의 주사형 전자현미경에 있어서는 전자원으로부터 시료까지의 광학계상에, 시료로부터 생긴 반사전자 및 2차전자의 궤도를 분리하는 전자계를 설치하고, 그리고 생긴 반사전자의 궤도상에 이 반사전자를 검출하는 반사전자 검출기를 설치한 것이다.
(효과) 본 발명의 의하면 수kv이하이고, 저가속 전압에서도 2차전자와 반사전자를 분리하여 효율좋게 검출할 수 있고, 또한 검출기에 의한 1차전자선의 편형작용이 생기지 않으므로, 고분해능의 반사전자상 및 2차전자상이 얻어지는 효과가 있다.

Description

주사형 전자현미경
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 직교 전자계 발생부의 평면 구성도,
제5도는 시료분석 설명도,
제7도는 본 발명의 분석신호의 신호처리 플로우차트.

Claims (12)

  1. 전자원으로부터 방출된 1차전자선을 시료상에서 사함으로써 그 시료의 주사상을 얻는 사형 전자현미경에 있어서, 상기 시료로부터 전자원의 사이에 상기 시료로부터의 반사상 및 제2차전자의 궤도를 분리하는 전자계를 설치하고, 또 상기 반사전자의 궤도상에 그 반사전자를 검출하는 반사전자 검출기를 설치함으로써 상기 시료로부터의 반사전자를 검출하는 것을 특징으로 하는 사형 전자현미경.
  2. 제1항에 있어서, 상기 반사전자 검출기를 1차 전자선의 궤도밖의 장소에 설치한 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  3. 제1항에 있어서, 상기 2차전자의 궤도상에 그 2차전자를 검출하는 2차전자 검출기를 설치함으로써, 상기 시료로부터의 2차전자를 검출하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  4. 제1항에 있어서, 시료의 전자원측에 전자를 통과시킬 수 있는 전극으로 구성한 다공전극과, 그 다공전극과 대향하여 전계를 발생시키는 대향전극을 구비하고, 또, 상기 다공전극 및 대향전극에서 생성되는 전계와 광축상에서 직교하는 자계를 발생시키는 자계발생 코일을 구비함으로써, 상기 반사 및 2차 전자의 궤도를 분리하는 전자계를 구성하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  5. 제1항에 있어서, 상기 반사전자의 궤도를 예측하는 위치에 그 반사전자를 2차전자로 변환하는 전극을 배치한 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경 및 그 유사장치.
  6. 제6항에 있어서, 상기 반사전자를 2차전자로 변환하는 전극에 정 또는 부의 전압이 인가되는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  7. 제4항에 있어서, 다공전극과 대향전극과의 사이의 전위차를 ±Ve(V)로 하고, 계자발생 코일의 여자전류를 Ib(A), 1차전자선의 가속전압을 Vacc(V), 다공전극, 대향전극, 및 계자발생코일의 형상으로 결정되는 정수를 Ke, Kb로 했을 때,
    Ib = Kl · Kb ·
    Ve = K2·Ke·Vacc
    의 관계를 유지하도록 자계발생코일의 여자전류 Ib 및 전극 인가전압 ±Ve를 제어하고, 비레정수 Kl, K2는 1차전선에 편향작용을 미치지 않는 조건으로 설정하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경 및 그 유사장치
  8. 제6항에 있어서, 상기 다공전극 보다도 시료측의 광축상에 1차 전자가 통과할 수 있는 축대칭인 전극을 설치하고, 그 축 대칭전극에 정 및 부의 전압을 인가하는 수단을 가지는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경 및 그 유사장치.
  9. 전자원으로부터 방출된 1차전자선을 시료상에서 주사함으로써 그 시료의 주사상을 얻는 사형 전자현미경에 있어서, 상기 시료로부터의 반사전자의 궤도상에 그 반사전자를 검출하는 반사전자 검출기를 설치하고, 또 1차 전자선에 의한 시료의 주사에 동기하여, 상기 시료로부터의 반사전자를 검춤함으로써 반사전자에 의한 상기 시료상을 구축하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  10. 제9항에 있어서, 상기 시료로부터 전자원의 사이에 상기 시료로부터의 반사전자 및 2차전자의 궤도를 분리하는 전자계를 설치하고, 또 상기 2차전자의 궤도상에 그 2차전자를 검출하는 2차전자 검출기를 설치함으로써, 상기 반사전자 검출기 및 2차전자 검출기로부터의 신호를 가감산하여 상기 시료상을 구축하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
  11. 제9항에 있어서, 상기 시료로부터 전자원의 사이에 상기 시료로부터의 반사전자 및 2차전자의 궤도를 분리하는 전자계를 설치하고, 또 상기 2차전자의 궤도상에 그 2차전자를 검출하는 2차전자검출기를 설치함으로서, 상기 반사전자 검출기 및 2차전자 검출기로부터의 신호를 각각 다른 색으로 표시하는 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경
  12. 전자원으로부터 방출된 1차전자선을 대물렌즈로 수속시켜 시료를 주사함으로써 그 시료의 주사상을 얻는 주사형 전자현미경에 있어서, 상기 시료로부터 전자원의 사이에 상기 시료로부터의 반사전자를 검출하는 반사전자 검출기를 상기 대물렌즈와 전자원의 사이에 설치하여, 상기 시료와 상기 대물렌즈와의 간격을 좁힌 것을 특징으로 하는 주사형 전자현미경.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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