JP2009076447A - 走査電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、永久磁石により構成されるコンデンサレンズを使用した走査電子顕微鏡において、プローブ電流の大きさを可変できる走査電子顕微鏡を提供することを目的とする。
【解決手段】上記目的を解決するために、本発明の一実施態様は、コンデンサレンズが永久磁石により構成されている走査電子顕微鏡において、電子源とアノード電極との間の距離を可変可能とする機構を設けたことを特徴とする。さらに、電子源とアノード電極との間の距離を可変可能とする機構は、アノード電極の下部にスペーサを挿入可能な構成としたことを特徴とする。
【選択図】図2
【解決手段】上記目的を解決するために、本発明の一実施態様は、コンデンサレンズが永久磁石により構成されている走査電子顕微鏡において、電子源とアノード電極との間の距離を可変可能とする機構を設けたことを特徴とする。さらに、電子源とアノード電極との間の距離を可変可能とする機構は、アノード電極の下部にスペーサを挿入可能な構成としたことを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明は、走査電子顕微鏡に係り、特に小型の走査電子顕微鏡の電子銃に関する。
従来知られている走査電子顕微鏡では、コンデンサレンズを電磁レンズとし、励磁条件を変更し、高分解能用の小電流用や、分析用の大電流用に使い分けが可能である。
一方、分析を必要としない安価で小型の走査電子顕微鏡では、コンデンサレンズに永久磁石を使用する構成のものが開発されている(例えば、特許文献1参照)。しかしながら、コンデンサレンズが永久磁石により構成されるため、当然ながら磁場の大きさを変えることが出来ず、プローブ電流の大電流化ができないという問題が残る。
また、電子源の電極部の最適形状を得ることを目的として、ウェネルト電極とアノード電極の間隔を小さくすることにより光軸上の表面電界を高くする技術が知られている(例えば、特許文献2参照)。しかし、形状の確定後に、表面電界を変化させることは出来ない。
本発明は、永久磁石により構成されるコンデンサレンズを使用した走査電子顕微鏡において、プローブ電流の大きさを可変できる走査電子顕微鏡を提供することを目的とする。
上記目的を解決するために、本発明は、コンデンサレンズを永久磁石により構成し、電子源とアノード電極との間の距離を可変可能とする機構を設けたことを特徴とする。
さらに、電子源とアノード電極との間の距離を可変できる機構は、アノードの下部にスペーサを挿入可能な構成としたことを特徴とする。
本発明によれば、永久磁石により構成されるコンデンサレンズを使用した走査電子顕微鏡において、プローブ電流の大きさを可変でき、X線分析等の測定が可能となる走査電子顕微鏡を提供することができる。
本発明の実施例を、以下、図面を用いて説明する。
図1は、強励磁の場合の走査電子顕微鏡の主な構成を示す縦断面図であり、コンデンサレンズが強励磁の場合の電子ビーム軌道を示す。真空容器、電子ビームの偏向器、検出器は省略している。
図1を用いて、走査電子顕微鏡の原理について説明する。
走査電子顕微鏡の装置の内部を真空排気し、目標の真空圧力に到達したら、電子源1に高電圧を印加する。電子源1から放出された電子ビーム2は、ウェネルト電極3の電位により収束作用を受け、軌道を曲げられてウェネルト電極3とアノード電極4との間に、第一のクロスオーバー5を作る。
電子ビーム2はアノード電極4により加速され、コンデンサレンズ6により収束作用を受け、コンデンサレンズ6と対物レンズ7との間に第二のクロスオーバー8を作る。コンデンサ絞り9により余分な電子12が制限された電子ビーム2は、対物レンズ7により収束され、対物絞り11に制限され、試料台10の上の試料の表面に照射される。
電子ビーム2は、コンデンサレンズ6と対物レンズ7で絞られているので、試料台10の上の試料の画像を撮像するために、偏向器13により電子ビーム2を偏向して、電子ビーム2で試料を走査させる。
試料の表面に照射された電子ビーム2により、試料の表面で跳ね返ってくる反射電子や試料表面から飛び出てくる二次電子等の荷電粒子を発生させる。これら反射電子および二次電子を試料室内に設置されている検出器(図示せず)に取り込み、増幅回路を経て、デジタル信号に変換されてからディスプレイに送られ、試料表面の画像として表示される。
図2は、弱励磁の場合の走査電子顕微鏡の主な構成を示す縦断面図であり、コンデンサレンズが弱励磁の場合の電子ビーム軌道を示す。
図1と比較し、コンデンサレンズによる励磁電流が少ないために、コンデンサしぼり9による電子ビームの損失が少なく、その結果、プローブ電流が大きくなる。図2の条件では、プローブ電流を大きくできるために、X線分析等の場合に使用される。
図3は、走査電子顕微鏡の具体的な構成を示す縦断面図である。
本発明の実施例である小型走査電子顕微鏡のコンデンサレンズは、永久磁石により構成されているため、プローブ電流が可変できない。そこで、図3に示すように、電子源1とアノード電極4の距離を可変させることで、プローブ電流が可変できる機構を設けた。
例えば、アノード電極4の下部と筐体の一部14との間にスペーサ15を設け、このスペーサ15の厚さを厚くすることで、電子源1とアノード電極4の距離が短くなり、光軸上の表面電界を高くすることができる。スペーサ15としては、取り外し可能なスペーサ、あるいはその厚さを変更するように交換可能なスペーサが使用可能であり、電子源1とアノード電極4との間の距離が調節可能となる。それに伴い、プローブ電流が増加し、分析等に最適な条件となる。よって、スペーサ15を使用しない場合は長寿命の観察用、スペーサ15を使用した場合は大電流の分析用として、使い分けることが可能となる。
以上述べたように、本発明の実施例によれば、永久磁石により構成されるコンデンサレンズを使用した小型の走査電子顕微鏡において、観察用と分析用のプローブ電流が得られる走査電子顕微鏡を提供することが可能となる。
1…電子源、2…電子ビーム、3…ウェネルト電極、4…アノード電極、5…第一のクロスオーバー、6…コンデンサレンズ、7…対物レンズ、8…第二のクロスオーバー、9…コンデンサ絞り、10…試料台、11…対物絞り、12…電子、13…偏向器、15…スペーサ。
Claims (2)
- 電子源から発生された電子ビームをコンデンサレンズと対物レンズで試料へ収束させるとともに、偏向器で前記電子ビームを該試料で走査させ、該試料から発生する荷電粒子を検出して画像化する走査電子顕微鏡において、
前記コンデンサレンズは永久磁石により構成するとともに、前記電子源とアノード電極との間の距離を可変可能とする機構を設けたことを特徴とする走査電子顕微鏡。 - 請求項1記載の走査電子顕微鏡において、
前記電子源と前記アノード電極との間の距離を可変可能とする機構が、前記アノード電極の下部にスペーサを挿入して前記アノード電極を前記電子源へ近づける構成であることを特徴とする走査電子顕微鏡。
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