JP5965819B2 - 荷電粒子線装置及び重ね合わせずれ量測定方法 - Google Patents
荷電粒子線装置及び重ね合わせずれ量測定方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5965819B2 JP5965819B2 JP2012236901A JP2012236901A JP5965819B2 JP 5965819 B2 JP5965819 B2 JP 5965819B2 JP 2012236901 A JP2012236901 A JP 2012236901A JP 2012236901 A JP2012236901 A JP 2012236901A JP 5965819 B2 JP5965819 B2 JP 5965819B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- charged particle
- particle beam
- pattern
- deviation amount
- overlay
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/22—Optical or photographic arrangements associated with the tube
- H01J37/222—Image processing arrangements associated with the tube
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B15/00—Measuring arrangements characterised by the use of electromagnetic waves or particle radiation, e.g. by the use of microwaves, X-rays, gamma rays or electrons
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
- G03F7/2051—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source
- G03F7/2059—Exposure without an original mask, e.g. using a programmed deflection of a point source, by scanning, by drawing with a light beam, using an addressed light or corpuscular source using a scanning corpuscular radiation beam, e.g. an electron beam
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70616—Monitoring the printed patterns
- G03F7/70633—Overlay, i.e. relative alignment between patterns printed by separate exposures in different layers, or in the same layer in multiple exposures or stitching
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/70653—Metrology techniques
- G03F7/70655—Non-optical, e.g. atomic force microscope [AFM] or critical dimension scanning electron microscope [CD-SEM]
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/706843—Metrology apparatus
- G03F7/706845—Calibration, e.g. tool-to-tool calibration, beam alignment, spot position or focus
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70483—Information management; Active and passive control; Testing; Wafer monitoring, e.g. pattern monitoring
- G03F7/70605—Workpiece metrology
- G03F7/706843—Metrology apparatus
- G03F7/706851—Detection branch, e.g. detector arrangements, polarisation control, wavelength control or dark/bright field detection
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
- H01J37/28—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes with scanning beams
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/22—Treatment of data
- H01J2237/221—Image processing
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2814—Measurement of surface topography
- H01J2237/2815—Depth profile
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/26—Electron or ion microscopes
- H01J2237/28—Scanning microscopes
- H01J2237/2813—Scanning microscopes characterised by the application
- H01J2237/2817—Pattern inspection
Description
[装置構成]
図1に、本実施例で使用する走査型電子顕微鏡の装置構成を示す。走査型電子顕微鏡の装置本体は、カラム1と試料室2で構成される。
図2に、試料面に対して照射電子32が斜め上方から入射する場合(試料面の垂線に対して照射電子32が角度θだけずれている場合)に、異なるレイヤに形成されたパターンの重ね合わせ測定値に誤差が含まれる原因を説明する。
図3に、照射電子32の傾き(入射角度θ)を校正するための手順を示す。図3に示す動作は、モニターのGUI画面上で、照射電子32の入射角度の校正動作が選択されることにより開始される(プロセス41)。校正動作の開始後、制御PC20は、XYステージ13の移動を制御し、標準試料12を照射電子32の照射領域に移動させる(プロセス42)。標準試料12には、2つのレイヤの同じ位置にパターンがずれなく形成されている、又は、レイヤを異にする2つのパターンの位置関係が既知のパターンが形成されている。
図4及び図5を用い、照射電子32の入射角度θを計算する処理手順を説明する。図4は、標準試料12に形成されているパターン形状を説明するための模式図である。図4(a)は、標準試料12を照射電子32の入射方向から見た図(平面図)である。図4(b)は、図4(a)のA−A’間の断面を示す模式図(断面図)である。図4(b)に示されるように、標準試料12の表面には深さLの溝51が作られており、溝51の底面にはラインパターン52が形成されている。ここで、溝51とラインパターン52は、それぞれの中心が一致するように形成されており、中心間にずれがないことが同一ロット品の断面観察により確認されている。
よって、以下の関係が成立する。
図6〜図8を用い、本実施例による重ね合わせずれ量の測定方法を説明する。勿論、この計測処理は、前述した傾斜角度の校正後に実行される。まず、図6に、重ね合わせずれ量の計算時に実行される処理手順を示す。
Δy = bYc − aYc …(式8)
Δy = (bYc − aYc ) − L・tanθy …(式10)
本実施例では、1つの電子銃3と、2次電子検出器9と、反射電子検出器10とを走査型電子顕微鏡に搭載し、測定点の上位レイヤに形成されたパターンと下位レイヤに形成されたパターンに対応する検出信号を同時に取得し、異なるレイヤ間の重ね合わせずれ量を計算する手法を採用する。このように本実施例では、従来装置のように複数の電子銃を搭載する必要がないため、電子線の軸線を一致させる調整作業が必要がない。また、上位レイヤに形成されたパターンに対応する検出信号と下位レイヤに形成されたパターンに対応する検出信号は、同じ照射電子32を用いて同時に取得できるため、高い位置検出精度を期待できる。また、電子銃3が1つであるため、装置構成も小型化することができる。また、上位レイヤに形成されたパターンの測定には2次電子検出器9を使用し、下位レイヤに形成されたパターンの測定には反射電子検出器10を使用するため、各レイヤに形成されたパターンを高精度に検出することができる。
[装置構成]
続いて、図9に、実施例2で使用する走査型電子顕微鏡の装置構成を示す。図9には、図1との対応部分に同一符号を付して示す。本実施例に係る走査型電子顕微鏡の装置本体には、カラム1と試料室2に加え、ロードチャンバ21が配置される。
図10を用い、本実施例による重ね合わせずれ量の測定方法を説明する。
本実施例の場合、ウエハ11の向きを180°回転させ、1つの測定点について2つの重ね合わせずれ量を測定する必要があるが、照射電子32の入射角度θを校正するための標準試料12の作成や校正動作を無くすことができる。また、前述したように、ウエハ11の回転角は任意であり、例えば120°ずつ回転させて1つの測定点について3つの方向から重ね合わせずれ量を測定し、その後、これらの平均値を計算しても良い。また例えば、90°ずつ回転させて1つの測定点について4つの方向から重ね合わせずれ量を測定し、その後、これらの平均値を計算しても良い。このように、ウエハ11を回転させて1つの測定点について複数の重ね合わせずれ量を計算し平均化することにより、照射電子32の入射角度θの影響を低減し、高精度で重ね合わせずれ量を計算することができる。
なお、本発明は上述した実施例に限定されるものでなく、様々な変形を含んでいる。例えば前述の実施例では、いずれも電子銃3を用いる場合について説明したが、イオン源その他の荷電粒子源を用いても良い。すなわち、走査型電子顕微鏡に限らず、イオン顕微鏡その他の荷電粒子線装置であっても良い。また、各実施例に係る走査型電子顕微鏡は、測長SEMに限らず、レビューSEMでも良い。
Claims (16)
- 1つの照射条件で荷電粒子線を試料に照射する荷電粒子線源と、
測定領域内の第1のレイヤに形成された第1のパターンから発生される信号を検出する第1の検出器と、
測定領域内の第2のレイヤに形成された第2のパターンから発生される信号を、第1の検出器と同時に検出する第2の検出器と、
前記第1及び第2の検出器から出力される第1及び第2の検出信号に基づいて前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量を測定する画像処理部と
を有する荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記重ね合わせずれ量の測定前に、上位レイヤと下位レイヤの同じ位置にパターンが形成された又は上位レイヤのパターンと下位レイヤのパターンの位置関係が既知である標準試料に前記荷電粒子線を照射し、荷電粒子線の入射角度を校正する入射角度調整部を有する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子線装置において、
前記画像処理部は、前記荷電粒子線の入射角度の校正時に測定された入射角度に基づいて、前記第1及び第2の検出信号から算出される前記重ね合わせずれ量を補正する
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子線装置において、
前記照射条件は、前記第1及び第2の検出器において、それぞれ対応するレイヤからの信号を独立かつ同時に検出できるように設定される
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記第1の検出器から出力される前記第1の検出信号による画像から求めた前記第1のレイヤにおける前記第1のパターンの位置と、
前記第2の検出器から出力される前記第2の検出信号による画像から求めた前記第2のレイヤにおける前記第2のパターンの位置と、
から前記第1のパターンと前記第2のパターンの間の重ね合わせずれ量を求める
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4に記載の荷電粒子線装置において、
前記第1及び第2の検出器の一方は2次電子検出器であり、他方は反射電子検出器である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項6に記載の荷電粒子線装置において、
前記重ね合わせずれ量の測定時に使用するレシピは、GUIを通じて選択入力可能である
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子線装置において、
前記重ね合わせずれ量の測定対象である試料の向きを前記荷電粒子線の入射面内で回転可能な機構部を有し、
前記画像処理部は、1つの測定点について、複数の回転向きから前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量を測定し、複数の測定結果の平均値を前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量とする
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記画像処理部は、回転角が180°異なる2つの回転向きについて前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量を測定し、測定された2つの測定結果の平均値を前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量とする
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項9に記載の荷電粒子線装置において、
前記試料の回転は、180°回転可能なステージ上で行う
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記回転可能な機構部は、前記荷電粒子線を照射する試料を配置する試料室とバルブを介して開閉自在に接続されたチャンバ内に配置される
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項8に記載の荷電粒子線装置において、
前記回転可能な機構部は、前記荷電粒子線を照射する試料を搭載するステージを回転駆動対象とする
ことを特徴とする荷電粒子線装置。 - 1つの照射条件で荷電粒子線源から荷電粒子線を試料に照射する処理と、
測定領域内の第1のレイヤに形成された第1のパターンから発生される信号を第1の検出器で検出する処理と、
測定領域内の第2のレイヤに形成された第2のパターンから発生される信号を、第2の検出器を用い、前記第1の検出器と同時に検出する処理と、
前記第1及び第2の検出器から出力される第1及び第2の検出信号に基づいて前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量を測定する処理と
を有する重ね合わせずれ量測定方法。 - 請求項13に記載の重ね合わせずれ量測定方法において、
前記重ね合わせずれ量の測定前に、上位レイヤと下位レイヤの同じ位置にパターンが形成された又は上位レイヤのパターンと下位レイヤのパターンの位置関係が既知である標準試料に前記荷電粒子線を照射し、荷電粒子線の入射角度を校正する処理を有する
ことを特徴とする重ね合わせずれ量測定方法。 - 請求項14に記載の重ね合わせずれ量測定方法において、
前記荷電粒子線の入射角度の校正時に測定された入射角度に基づいて、前記第1及び第2の検出信号から算出される前記重ね合わせずれ量を補正する
ことを特徴とする重ね合わせずれ量測定方法。 - 請求項13に記載の重ね合わせずれ量測定方法において、
前記重ね合わせずれ量の測定対象である試料の向きを前記荷電粒子線の入射面内で回転可能な機構部を用いて、1つの測定点について、複数の回転向きから前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量を測定し、複数の測定結果の平均値を前記第1及び第2のパターン間の重ね合わせずれ量とする
ことを特徴とする重ね合わせずれ量測定方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012236901A JP5965819B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 荷電粒子線装置及び重ね合わせずれ量測定方法 |
TW102134768A TWI498522B (zh) | 2012-10-26 | 2013-09-26 | Measurement method of charged particle beam device and stacking misalignment |
PCT/JP2013/078678 WO2014065311A1 (ja) | 2012-10-26 | 2013-10-23 | 荷電粒子線装置及び重ね合わせずれ量測定方法 |
KR1020157009208A KR101712298B1 (ko) | 2012-10-26 | 2013-10-23 | 하전 입자선 장치 및 중첩 어긋남량 측정 방법 |
US14/435,203 US9224575B2 (en) | 2012-10-26 | 2013-10-23 | Charged particle beam device and overlay misalignment measurement method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012236901A JP5965819B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 荷電粒子線装置及び重ね合わせずれ量測定方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014086393A JP2014086393A (ja) | 2014-05-12 |
JP2014086393A5 JP2014086393A5 (ja) | 2015-08-13 |
JP5965819B2 true JP5965819B2 (ja) | 2016-08-10 |
Family
ID=50544687
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012236901A Active JP5965819B2 (ja) | 2012-10-26 | 2012-10-26 | 荷電粒子線装置及び重ね合わせずれ量測定方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9224575B2 (ja) |
JP (1) | JP5965819B2 (ja) |
KR (1) | KR101712298B1 (ja) |
TW (1) | TWI498522B (ja) |
WO (1) | WO2014065311A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200047643A (ko) | 2017-10-13 | 2020-05-07 | 주식회사 히타치하이테크 | 패턴 계측 장치 및 패턴 계측 방법 |
KR20220106034A (ko) | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 주식회사 히타치하이테크 | 하전 입자 빔 장치 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9418819B2 (en) * | 2013-09-06 | 2016-08-16 | Kla-Tencor Corporation | Asymmetrical detector design and methodology |
WO2017179138A1 (ja) | 2016-04-13 | 2017-10-19 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | パターン計測装置およびパターン計測方法 |
KR102372842B1 (ko) | 2016-04-22 | 2022-03-08 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | Pecvd 오버레이 개선을 위한 방법 |
JP6850234B2 (ja) * | 2017-09-29 | 2021-03-31 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
US10403471B2 (en) * | 2017-11-29 | 2019-09-03 | Asml Netherlands B.V. | Systems and methods for charged particle beam modulation |
US10473460B2 (en) * | 2017-12-11 | 2019-11-12 | Kla-Tencor Corporation | Overlay measurements of overlapping target structures based on symmetry of scanning electron beam signals |
JP2019164886A (ja) * | 2018-03-19 | 2019-09-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ビーム照射装置 |
JP7093242B2 (ja) * | 2018-06-27 | 2022-06-29 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 荷電粒子ビーム画像取得装置 |
JP2020187876A (ja) | 2019-05-13 | 2020-11-19 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
JP2021034163A (ja) * | 2019-08-20 | 2021-03-01 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子ビームシステム、及び重ね合わせずれ量測定方法 |
WO2021038649A1 (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-04 | 株式会社日立ハイテク | オーバーレイ計測システム及びオーバーレイ計測装置 |
US20220301815A1 (en) * | 2019-08-28 | 2022-09-22 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged Particle Beam System and Overlay Misalignment Measurement Method |
KR102623888B1 (ko) * | 2019-10-30 | 2024-01-10 | 양쯔 메모리 테크놀로지스 씨오., 엘티디. | 반도체 제조공정에 적용되는 입자빔의 수직도 보정 방법 및 시스템 |
US11054753B1 (en) * | 2020-04-20 | 2021-07-06 | Applied Materials Israel Ltd. | Overlay monitoring |
WO2024068426A1 (en) * | 2022-09-30 | 2024-04-04 | Asml Netherlands B.V. | Scanning electron microscopy (sem) back-scattering electron (bse) focused target and method |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03291880A (ja) | 1990-04-06 | 1991-12-24 | Matsushita Electric Works Ltd | リード線付配線部品の組立方法 |
JP3101114B2 (ja) | 1993-02-16 | 2000-10-23 | 日本電子株式会社 | 走査電子顕微鏡 |
JP3291880B2 (ja) | 1993-12-28 | 2002-06-17 | 株式会社日立製作所 | 走査形電子顕微鏡 |
US5923041A (en) * | 1995-02-03 | 1999-07-13 | Us Commerce | Overlay target and measurement procedure to enable self-correction for wafer-induced tool-induced shift by imaging sensor means |
JPH11283545A (ja) * | 1998-03-30 | 1999-10-15 | Nikon Corp | 電子画像観察装置 |
TWI294632B (en) * | 2000-06-27 | 2008-03-11 | Ebara Corp | Inspecting device using an electron ebam and method for making semiconductor devices with such inspection device |
US20040066517A1 (en) * | 2002-09-05 | 2004-04-08 | Hsu-Ting Huang | Interferometry-based method and apparatus for overlay metrology |
US7842933B2 (en) * | 2003-10-22 | 2010-11-30 | Applied Materials Israel, Ltd. | System and method for measuring overlay errors |
US7065737B2 (en) * | 2004-03-01 | 2006-06-20 | Advanced Micro Devices, Inc | Multi-layer overlay measurement and correction technique for IC manufacturing |
JP4695909B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2011-06-08 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 半導体集積回路装置の製造方法 |
JP2007042929A (ja) | 2005-08-04 | 2007-02-15 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ロードロック装置とその方法及び半導体製造装置 |
JP4988274B2 (ja) | 2006-08-31 | 2012-08-01 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンのずれ測定方法、及びパターン測定装置 |
JP5268532B2 (ja) | 2008-09-30 | 2013-08-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料計測方法、及び計測装置 |
JP2010177500A (ja) * | 2009-01-30 | 2010-08-12 | Hitachi High-Technologies Corp | パターンの重ね合わせ評価方法 |
JP5425601B2 (ja) | 2009-12-03 | 2014-02-26 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置およびその画質改善方法 |
JP5313939B2 (ja) * | 2010-02-09 | 2013-10-09 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン検査方法、パターン検査プログラム、電子デバイス検査システム |
JP5986817B2 (ja) * | 2012-06-15 | 2016-09-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | オーバーレイ誤差測定装置、及びコンピュータープログラム |
-
2012
- 2012-10-26 JP JP2012236901A patent/JP5965819B2/ja active Active
-
2013
- 2013-09-26 TW TW102134768A patent/TWI498522B/zh active
- 2013-10-23 KR KR1020157009208A patent/KR101712298B1/ko active IP Right Grant
- 2013-10-23 WO PCT/JP2013/078678 patent/WO2014065311A1/ja active Application Filing
- 2013-10-23 US US14/435,203 patent/US9224575B2/en active Active
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200047643A (ko) | 2017-10-13 | 2020-05-07 | 주식회사 히타치하이테크 | 패턴 계측 장치 및 패턴 계측 방법 |
KR20210126161A (ko) | 2017-10-13 | 2021-10-19 | 주식회사 히타치하이테크 | 패턴 계측 장치 및 패턴 계측 방법 |
KR20220056255A (ko) | 2017-10-13 | 2022-05-04 | 주식회사 히타치하이테크 | 패턴 계측 장치 및 패턴 계측 방법 |
US11353798B2 (en) | 2017-10-13 | 2022-06-07 | Hitachi High-Technologies Corporation | Pattern measurement device and pattern measurement method |
KR20220106034A (ko) | 2021-01-21 | 2022-07-28 | 주식회사 히타치하이테크 | 하전 입자 빔 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201428232A (zh) | 2014-07-16 |
US9224575B2 (en) | 2015-12-29 |
US20150287569A1 (en) | 2015-10-08 |
KR20150054973A (ko) | 2015-05-20 |
KR101712298B1 (ko) | 2017-03-03 |
WO2014065311A1 (ja) | 2014-05-01 |
JP2014086393A (ja) | 2014-05-12 |
TWI498522B (zh) | 2015-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5965819B2 (ja) | 荷電粒子線装置及び重ね合わせずれ量測定方法 | |
JP6834016B2 (ja) | パターン計測装置およびパターン計測方法 | |
US9390885B2 (en) | Superposition measuring apparatus, superposition measuring method, and superposition measuring system | |
KR102422827B1 (ko) | 하전 입자 빔 시스템, 및 중첩 시프트량 측정 방법 | |
JP2015019055A (ja) | Semオーバーレイ計測のシステムおよび方法 | |
EP3025369A1 (en) | Auto-focus system and methods for die-to-die inspection | |
TW201543179A (zh) | 微影設備及方法、和製造物品的方法 | |
JP7346644B2 (ja) | パターン計測方法、パターン計測装置、およびパターン計測プログラム | |
US20220319804A1 (en) | Overlay Measurement System and Overlay Measurement Device | |
TWI837655B (zh) | 用來處理藉由帶電粒子束裝置得到的圖像之圖像處理系統,疊合錯位量算出方法,及圖像處理程式 | |
US20230375338A1 (en) | Pattern Measurement Device | |
US9000366B2 (en) | Method and apparatus for measuring displacement between patterns and scanning electron microscope installing unit for measuring displacement between patterns | |
JP2016058490A (ja) | リソグラフィ装置、および物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150629 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150629 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160315 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160329 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160607 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160704 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5965819 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |