JP6850234B2 - 荷電粒子線装置 - Google Patents
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Description
走査電子顕微鏡の制御装置は、走査電子顕微鏡の各構成を制御すると共に、検出された電子に基づいて画像を形成する機能や、検出電子の強度分布に基づいて、テーパやラウンドなど特徴点を導出する機能を備えている。図8に演算処理装置803を備えたパターン測定システムの一例を示す。
2 電子線
3 コンデンサレンズ
4 偏向器
5 対物レンズ
6 試料
7 2次電子
8 検出器
801 SEM本体
802 制御装置
803 演算処理装置
804 演算処理部
805 メモリ
806 偏向器
807 検出器
808 測定条件設定部
809 画像特徴量演算部
810 設計データ抽出部
811 パターン測定部
812 設計データ記憶媒体
813 入力装置
901 観察条件設定ウィンドウ
902 ROI指定領域
Claims (9)
- 荷電粒子源から放出された荷電粒子ビームを走査する走査偏向器と、試料に対する前記荷電粒子ビームの走査に基づいて得られる荷電粒子を検出する検出器と、当該検出器の出力に基づいて信号波形を生成し、当該信号波形を用いて前記試料上に形成されたパターン寸法を演算する演算装置と、前記走査偏向器を制御する制御装置を備え、
前記演算装置は、
前記制御装置によって前記試料上のパターンのエッジと交差する第1の部位に、1ライン以上の走査を行うように前記走査偏向器が制御されたときに、前記検出器によって検出される荷電粒子に基づいて第1の信号波形を生成し、
前記制御装置によって前記第1の部位を含む当該第1の部位より広い第1の領域に対し、前記第1の部位を走査したときの走査線より多くのライン数の走査を行うように前記走査偏向器が制御されたときに、前記検出器によって検出される荷電粒子に基づいて第2の信号波形を生成し、
前記生成された第1の信号波形と第2の信号波形のずれを求めることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、
前記制御装置によって、第1の方向に前記荷電粒子ビームを走査するように前記走査偏向器が制御されたときに、前記検出器によって検出される荷電粒子に基づいて前記第1の信号波形を生成し、
前記制御装置によって、前記第1の方向とは異なる第2の方向に前記荷電粒子ビームを走査するように前記走査偏向器が制御されたときに、前記検出器によって検出される荷電粒子に基づいて異なる第1の信号波形を生成することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、
前記第1の領域内の異なる複数の位置について、前記第1の波形を生成することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項3において、
前記演算装置は、
前記複数の位置における前記第1の信号波形と前記第2の信号波形のずれを求めることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項4において、
前記演算装置は、
当該複数のずれに基づいて、前記荷電粒子ビームの照射位置のずれを補正する補正データを生成することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5において、
前記演算装置は、
前記制御装置によって前記第1の領域に、前記荷電粒子ビームを走査するように前記走査偏向器が制御されたときに、前記検出器によって検出される荷電粒子に基づいて、前記第1の領域に含まれるパターンの寸法を測定し、当該測定結果を、前記補正テーブル、或いは補正式を用いて補正することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項5において、
前記制御装置は、
前記補正テーブル、或いは補正式によって補正されたビーム照射位置に前記荷電粒子ビームを照射するように、前記走査偏向器を制御することを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項1において、
前記第1の領域に対するビーム走査によって得られる荷電粒子の検出に基づいて、前記第1の領域の画像を表示する表示装置を備え、
前記演算装置は、前記第1の領域の画像と、前記第1の信号波形と前記第2の信号波形とのずれに応じて補正された前記第1の領域内のパターンの寸法値を表示することを特徴とする荷電粒子線装置。 - コンピューターに荷電粒子線装置によって取得された測定用信号波形に基づいて、測定対象であるパターンの寸法を測定させるコンピューターによって読み出し可能なコンピュータープログラムを記憶した記憶媒体において、
前記プログラムは、前記コンピューターに、前記パターンが形成された試料上の複数の位置で、1ライン以上の走査を行うことによって得られた複数の第1の信号波形と、前記複数の位置を含む領域に対するビーム走査によって得られる画像データとを取得させ、前記複数の位置における前記第1の信号波形の取得位置と、前記画像データ上の前記第1の信号波形の取得位置に対応する対応位置との間のずれを、前記第1の信号波形と前記画像データから抽出される第2の信号波形データを比較することによって求めさせ、前記複数の位置における前記ずれから、前記測定用信号波形を用いた測定値の補正データを生成させることを特徴とするコンピューターによって読み出し可能なコンピュータープログラムを記憶した記憶媒体。
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