KR950002872B1 - 감광성 수지 필름 - Google Patents

감광성 수지 필름 Download PDF

Info

Publication number
KR950002872B1
KR950002872B1 KR1019920011589A KR920011589A KR950002872B1 KR 950002872 B1 KR950002872 B1 KR 950002872B1 KR 1019920011589 A KR1019920011589 A KR 1019920011589A KR 920011589 A KR920011589 A KR 920011589A KR 950002872 B1 KR950002872 B1 KR 950002872B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
film
photosensitive resin
layer
protective film
resin film
Prior art date
Application number
KR1019920011589A
Other languages
English (en)
Other versions
KR940000919A (ko
Inventor
박남규
노무학
장재권
Original Assignee
주식회사 코오롱
하기주
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 코오롱, 하기주 filed Critical 주식회사 코오롱
Priority to KR1019920011589A priority Critical patent/KR950002872B1/ko
Publication of KR940000919A publication Critical patent/KR940000919A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR950002872B1 publication Critical patent/KR950002872B1/ko

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004Photosensitive materials

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Abstract

내용 없음.

Description

감광성 수지 필름
제1도는 종래의 감광성 수지 필름의 구조를 나타낸 것이고,
제2도는 본 발명에 따른 일실시예로서 감광성 수지 필름의 구조를 나타낸 것이다.
본 발명은 감광성 수지 필름에 관한 것으로서, 다욱 상세하게는 표면 마찰력이 현저하게 향상된 감광성수지 필름에 관한 것이다.
종래에 감광성 수지에 관한 많은 기술이 개발되어 있다. 예를들면 미국 특허 제3,526,504호에는 감광성수지 조성물을 3층 구조로된 드라이 필름 레지스트(Dry film resist)화 시키는 방법에 관하여 개시되어 있다. 상기 특허에서는 제1도에 도시된 바와 같이 감광성 수지 조성물로 된 감광층과 이들의 한쪽면에 감광층이 도포될 수 있도록 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET)로 된 지지 필름과 상기 감광성 수지 조성물의 다른면에는 먼지 및 이물로부터 감광층을 보호하고 롤(Roll) 상태로 제품화 가능하도록 폴리에틸렌(PE) 또는 폴리올레핀으로 된 보호 필름의 3층 구조로 이루어진 드라이 필름 레지스트 감광성 수지 필름이 제공되어 있다.
그러나, 이러한 감광성 수지 조성물은 감광층의 물성과는 관계없이 이들 수지 조성물을 제품화하는 과정, 즉 롤 및 시이트화하는 과정에서 외관 물성이 문제시 되고 있다. 즉 상기 종래의 필름은 필름을 롤 상태로 감을때, PET로 된 보호필름과 PE 또는 폴리올레핀으로 된 지지필름 사이의 정마찰 계수가 약 0.3 정도로 표면 마찰력이 낮아, 약한 롤 장력으로 감을 경우 필름층이 미끄러져 어긋나는 텔레스코프(Telescope) 현상이 많이 발생한다는 문제점이 있다. 또 이와 같은 텔레스코프현상을 방지하기 위해 롤 장력을 증가시키면 롤 상태에서 온도, 습도 및 압력이 높을 경우 부드러운 감광층이 외곽부로 흘러나오는 에지퓨즈(Edge fuse) 현상이 많이 발생하게 되는 문제점이 있다.
최근에는 상기한 문제점을 해결하기 위하여, 미국특허, 제4,631,246호에는 보호 필름에 엠보싱(Embosing)을 주거나 거칠게하여 지지필름과 보호필름간의 접촉 표면적을 넓게 하므로써, 정마찰 계수가 거친 표면인 경우 약 0.4이고, 임보싱인 경우 약 0.45정도로 표면 마찰력을 증가시켜 텔레스코프와 에지퓨즈의 발생을 억제하는 기술이 개시되어 있다. 이와 같은 거친 표면을 갖거나 엠보싱을 갖는 보호필름을 사용할 경우, 텔레스코프와 에지퓨즈의 발생이 억제되며 또한 엠보싱이나 거친 표면으로 인하여 보호필름과 지지필름사이에 형성된 공기층이 외부의 충격으로 인한 감광층의 눌림을 억제하는 장점이 있다. 그러나, 상기한 거친 표면 또는 엠보싱을 갖고 있는 보호필름과 지지필름 사이의 공기층은 외부온도 및 습도의 변화에 의해 공기층의 수축 및 팽창이 자주 일어나고 이로 인하여 일정 두께를 갖어야 하는 감광층이 보호필름 표면의 영향으로 두께 변화를 일으킨다. 즉 보호 필름 표면 상태가 감광층에 쉽게 전사되어 감광층의 두께 변화를 야기시킨다. 그리고, 이와 같은 감광층의 두께 변화는 감광성 수지 필름의 감도, 해상력 및 세선 밀착력을 저하시키는 문제점을 야기시킨다. 뿐만 아니라, 거친 표면 또는 엠보싱을 갖고 있는 보호필름과 지지필름 사이의 공기층에 존재하는 산소가 감광층의 광중합 개시제 및 광중합 증감제의 반응성을 약화시켜 내부 물성인 감도를 저하시킨다.
본 발명은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서 본 발명의 목적은, 보호필름과 지지필름 사이에 높은 마찰력을 제공하여 텔레스코프의 발생을 억제하고 약한 장력으로 롤을 감을 수 있도륵 함으로써 에지 퓨즈의 발생을 억제하기 위함이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은 감광성 수지층과 하지 않는 보호필름층표면과 지지필름층 표면이 각각 코로나 방전처리된 것임을 특징으로 하는 감광성 수지 필름을 제공한다.
또한 본 발명은 상기 보호 필름층과 지지 필름층의 양표면이 모두 코로나 방전 처리된 것을 특징으로 하는 감광성 수지 필름을 제공한다.
이들 본 발명에 따른 감광성 수지 필름의 구조는 제2도에 도시되어 있다.
본 발명에서 상기한 코로나 방전처리를 하면, 필름 표면이 방전되어 표면의 극성기가 활성화되고, 산소를 필름 표면에 결합시켜 표면을 극성화시킨다. 이로 인하여 코로나 처리된 면은 극성 물질에 대해서 반응성 및 밀착력이 증가되고, 특히 코로나 처리된 면들끼리 접촉할 경우 표면 마찰력은 급격히 증가하여, 필름층간의 미끄러짐이 발생하기 어려워진다. 코로나 처리된 면끼리의 정마찰 계수는 약 0.6 정도로 종래 거친 표면을 주거나 엠보싱된 필름층에 비하여 정마찰 계수가 월등히 높다.
상기한 코로나 방전처리는 30∼50dyne/cm가 바람직하다. 코로나 방전처리가 30dyne/cm 미만일 경우에는 본 발명에서 소망하는 효과인 마찰력의 증가가 나타나지 않으며, 50dyne/cm를 초과하는 경우에는 방전처리에 따른 더 이상의 마찰력 증가 효과가 미미하여 비경제적이 된다.
상기한 코로나 방전처리는 보호필름층 표면과 지지필름층 표면 중 감광성 수지층과 면하지 않는 표면들에만 처리하여도 본 발명의 소망하는 효과를 얻을 수 있다. 이와 같은 경우 코로나 방전처리는 감광성 수지필름이 감기는 상태에서 실시할 수도 있다.
또한 보호필름층과 지지필름층의 양 표면을 모두 코로나 방전 처리하여도 본 발명의 목적을 달성할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 코로나 방전처리는 보호필름층과 지지필름층에 모두 처리하여 상호 접촉시 마찰력의 급격한 상승을 꾀하는 것이므로, 만약 보호필름층 또는 지지필름층 중 어느 한 층에만 코로나 방전처리를 할 경우, 정마찰계수는 0.35정도로 매우 낮아 표면 마찰력의 증가를 기대할 수 없으며 따라서 본 발명의 목적하는 효과를 달성할 수 없게 된다.
다음에 본 발명의 바람직한 실시예와 비교예를 기재한다. 그리나, 하기한 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일실시예일 뿐 본 발명이 이를 실시예에 한정되는 것은 아니다.
실시예 1
양면이 모두 코로나 방전 처리된 두께 25㎛의 PET와 두께 35㎛의 PE를 각각 지지필름과 보호필름으로 사용하여, 감광성 수지 조성물을 상기 지지필름에 40㎛의 두께로 도포하여 80℃에서 5분간 건조한 후 보호필름을 라미네이팅하여 감광성 수지 필름을 제조하였다.
실시예 2
보호필름층과 지지필름층에 있어서, 감광성 수지 조성물과 적록되지 않는 일표면만을 각각 코로나 방전처리한 것을 제외하고는 상기한 실시예 1과 실질적으로 동일한 방법으로 감광성 수지 필름을 제조하였다.
비교예 1
코로나 방전 처리를 전혀 하지 않은 것을 제외하고는 상기한 실시예 1과 실질적으로 동일한 방법으로 감광성 수지 필름을 제조하였다.
비교예 2
보호필름은 방전처리를 하지 않고, 지지필름의 양면만을 코로나 방전 처리한 것을 제외하고는 상기한 실시예 1과 실질적으로 동일한 방법으로 감광성 수지필름을 제조하였다.
비교예 3
지지필름은 방전처리를 하지 않고 보호필름의 양면만을 코로나 방전 처리한 것을 제외하고는 상기한 실시예 1과 실질적으로 동일한 방법으로 감광성 수지 필름을 제조하였다.
비교예 4
코로나 방전 처리된 보호필름과 지지필름 대신 PV(Peak to Valley) 값이 3㎛되는 거친표면의 보호필름과 무처리된 지지필름을 사용한 것을 제외하고는 상기한 실시예 1과 실질적으로 동일한 방법으로 감광성수지 필름을 제조하였다.
비교예 5
코로나 처리된 보호필름과 지지필름 대신 엠보싱된 보호필름과 무처리된 지지필름을 사용한 것을 제외하고는 상기한 실시예 1과 실질적으로 동일한 방법으로 감광성 수지 필름을 제조하였다.
상기한 실시예와 비교예에 의하여 제조된 감광성 수지 필름을 와인더(Winder)를 사용하여 10kg/cm2의 장력으로 폭 50cm, 길이 120m로 롤화시키고, 이들 롤 상태의 필름을 30℃항온조에서 40일간 방치한 뒤, 방치완료후 실온 상태에서 1일간 다시 방치한 후, 롤 상태의 감광성 수지 필름의 외부 물성과 내부 물성을 측정하여 그 결과를 표에 나타내었다.
감광성 수지 필름의 물성
[표]
[상기 표에서 T(μ)는 감광층의 평균 두께, T/S는 텔레스코프 현상, E/F는 에지 퓨즈 현상을 나타내며, ○는 양호, △는 부분 불량 ×불량을 의미한다.]
상기 표에서 나타나는 바와 같이 본 발명에 따라 제조된 실시예 1∼2의 감광성 수지 필름은 종래 기술에 따라 제조된 비교예 1∼5의 감광성 수지 조성필름에 비하여 내부물성 및 외부물성이 월등히 우수함을 알 수 있다.

Claims (3)

  1. 보호필름층, 지지필름층, 감광성 수지층으로 이루어진 감광성 수지필름에 있어서, 상기한 감광성 수지층과 면하지 않는 상기한 보호필름층의 표면과 상기한 지지필름증의 표면이 각각 코로나 방전 처리된 것임을 특징으로 하는 감광성 수지 필름.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 보호필름층과 상기한 지지필름층에 있어서 감광성 수지층과 면한 표면들이 더욱 코로나 방전 처리된 것임을 특징으로 하는 감광성 수지 필름.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기한 코로나 방전처리는 30∼50dyne/cm 범위에서 실시된 것임을 특징으로 하는 감광성 수지 필름.
KR1019920011589A 1992-06-30 1992-06-30 감광성 수지 필름 KR950002872B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019920011589A KR950002872B1 (ko) 1992-06-30 1992-06-30 감광성 수지 필름

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1019920011589A KR950002872B1 (ko) 1992-06-30 1992-06-30 감광성 수지 필름

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR940000919A KR940000919A (ko) 1994-01-10
KR950002872B1 true KR950002872B1 (ko) 1995-03-27

Family

ID=19335610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1019920011589A KR950002872B1 (ko) 1992-06-30 1992-06-30 감광성 수지 필름

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR950002872B1 (ko)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7597195B2 (en) 2000-12-27 2009-10-06 Hitachi Chemical Company, Ltd. Method for packaging a photosensitive film roll, resin case therefor, method for recovering and reusing the case, and photosensitive film roll package and method for conveying the same
KR101108778B1 (ko) * 2010-09-14 2012-02-24 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 제조용 빌드업 기판 구조체

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102002826B1 (ko) 2012-12-04 2019-07-23 삼성전자 주식회사 저장 장치, 플래시 메모리 및 저장 장치의 동작 방법

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7597195B2 (en) 2000-12-27 2009-10-06 Hitachi Chemical Company, Ltd. Method for packaging a photosensitive film roll, resin case therefor, method for recovering and reusing the case, and photosensitive film roll package and method for conveying the same
US7677014B2 (en) 2000-12-27 2010-03-16 Hitachi Chemical Company, Ltd. Method for packaging a photosensitive film roll, resin case therefor, method for recovering and reusing the case, and photosensitive film roll package and method for conveying the same
KR101108778B1 (ko) * 2010-09-14 2012-02-24 삼성전기주식회사 인쇄회로기판 제조용 빌드업 기판 구조체

Also Published As

Publication number Publication date
KR940000919A (ko) 1994-01-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6319596B1 (en) Barrier laminate
AU612044B2 (en) Composite film
WO2013161422A1 (ja) グリーンシート製造用剥離フィルム
US4895760A (en) Film coating for rigid, smooth surfaces
WO2014141571A1 (ja) グリーンシート製造用剥離フィルムおよびグリーンシート製造用剥離フィルムの製造方法
KR20150003213A (ko) 그린 시트 제조용 박리 필름 및 그린 시트 제조용 박리 필름의 제조 방법
US5626969A (en) Method of manufacturing film for lamination
US4594277A (en) Adhesive tapes having a film backing of polypropylene or other olefinic polymer or copolymer and related manufacturing process
JP2002052675A (ja) 窓貼り用二軸配向ポリエステルフィルム
JPH0417148B2 (ko)
US20080166658A1 (en) Polyester film for flexographic printing plate
KR950002872B1 (ko) 감광성 수지 필름
KR102518124B1 (ko) 미소구체 처리된 에지가 구비된 웨브 권취 롤 및 이의 제조 방법
JP2004346093A (ja) 光学部材表面保護フィルム用離型フィルム
KR100879003B1 (ko) 이형필름
JP2022016504A5 (ko)
JPS5851823B2 (ja) カチヤクセイヒヨウメンホゴシ−トノ セイゾウホウホウ
EP0191003A1 (en) A method of making longitudinally cut pressure sensitive sealing strips and the like
US5567576A (en) Photographic support
JP4394194B2 (ja) 表面保護フィルム
JP3123371B2 (ja) バリアー性積層体
JP3718901B2 (ja) 表面保護フィルム
JP2000158597A (ja) 離形フィルムならびにそれを用いた樹脂シート成形用キャリヤーフィルムおよび樹脂シート保護用フィルム
JP3401327B2 (ja) 導電性熱可塑性樹脂シート
JP2961931B2 (ja) ポリエステル二軸延伸フィルム

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
G160 Decision to publish patent application
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 19980115

Year of fee payment: 4

LAPS Lapse due to unpaid annual fee