KR940016515A - 웨이퍼 클램프 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 불순물입자의 발생을 억제시킬 수 있는 건식식각 장비의 클램프구조에 관한 것으로, 웨이퍼 가장자리 부분에서의 불순물입자의 발생을 막기 위해 웨이퍼 가장자리의 일정부분을 가려줌으로써 이 부분이 식각되지 않도록 하는 기능 및 모양을 갖는 클램프를 갖는 건식식각 장비를 제공한다.
상기한 본 발명에 의하면, 반도체 제조공정중 건식식각시에 생길 수 있는 불순물입자의 발생을 억제할 수 있어 반도체 제조시의 오염을 최소화하여 수율의 향상을 도모할 수 있게 된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 6 도는 본 발명에 의한 건식식각 장비의 웨이퍼 클램프구조를 나타낸 평면도, 제 7 도는 제 6 도의 A-A'방향의 단면도, 제 8 도는 본 발명에 의한 건식식각 장비의 다른 실시예를 도시한 도면, 제 9 도 및 제10도는 본 발명의 적용이 가능한 여러가지 형태의 클램프를 나타낸 도면들.
Claims (2)
- 반도체 식각장비의 웨이퍼 클램프에 있어서, 웨이퍼상에 포토레지스트가 도포되는 영역의 직경보다는 큰 내경을 가지고 상기 웨이퍼의 가장자리 부분을 고정되는 내측 하단부를 가지며, 상기 포토레지스트의 도포 두께보다 높은 위치에서 상기 포토레지스트가 도포되는 영역의 가장자리를 덮도록 내측으로 연장되어 포토레지스트가 도포되지 않은 웨이퍼 가장자리를 식각으로부터 보호하기 위한 내연부를 가지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 클램프.
- 반도체 식각장비의 웨이퍼 클램프에 있어서, 웨이퍼상에 포토레지스트가 도포되는 영역의 직경보다는 큰 내경을 가지며 포토레지스트의 도포두께보다 더 두꺼운 두께를 가지고 상기 웨이퍼의 가장자리 부위를 고정하는 제 1 환형부재[環形部材]와, 상기 제 1 환형부재상에 설치되고 상기 포토레지스트가 도포되는 영역의 가장자리 부위를 덮는 내경을 가지고 포토레지스트가 도포되지 않은 웨이퍼 가장자리 부위를 식각으로부터 보호하기 위한 제 2 환형부재로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 클램프.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
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| KR1019920023804A KR960002761B1 (ko) | 1992-12-10 | 1992-12-10 | 웨이퍼 클램프 |
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Publications (2)
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| KR940016515A true KR940016515A (ko) | 1994-07-23 |
| KR960002761B1 KR960002761B1 (ko) | 1996-02-26 |
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ID=19345135
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019920023804A KR960002761B1 (ko) | 1992-12-10 | 1992-12-10 | 웨이퍼 클램프 |
Country Status (1)
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| KR (1) | KR960002761B1 (ko) |
-
1992
- 1992-12-10 KR KR1019920023804A patent/KR960002761B1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR960002761B1 (ko) | 1996-02-26 |
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