KR940011344A - 액체로 부터 용해된 가스를 제거하기 위한 장치 및 그 제거방법 - Google Patents

액체로 부터 용해된 가스를 제거하기 위한 장치 및 그 제거방법 Download PDF

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이. 포머로이 챨스
더블유. 린드 제프리
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Abstract

본 발명은 액체를 송출하기 위한 장치 및 방법을 개시하고 있다. 용기내에 있는 액체는 가압 가스를 받는다.
액체 내에 용해된 가압가스는 압력차를 받는 가스가 투과가능한 관을 통해 액체를 통과시킴으로써 탈가스 모듈내에서 제거된다. 그후 액체는 액체 질량 흐름 제어기에 의해 분배된다.

Description

액체로부터 용해된 가스를 제거하기 위한 장치 및 그 제거방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 액체 송출 장치를 도시한 도면,
제2도는 액체에 용해된 정상 압력의 가스를 제거하기 위한 탈가스 모듈을 도시한 도면,
제3도는 제2도에 도시된 탈가스 모듈의 다른 도면,
제4도는 탈가스 모듈의 흡입구와 배출구에 가스가 투과할 수 있는 관의 연결부를 도시한 도면.

Claims (30)

  1. 질량 흐름 제어기를 포함하는 액체 송출 시스템에서 액체로부터 용해가스를 제거하기 위한 장치로서, 저압 공급원에 연결되어 있는 저압 연결부, 흡입구 및 배출구를 구비하는 용기; 및 액체는 투과 불가능하고 가스는 투과가능한 재료를 구비하고, 상기 용기의 내부에 장착되고, 2개의 단부를 가지고 그중 일단부는 상기 용기의 상기 흡입구에 연결되고 타단부는 상기 용기의 상기 배출구에 연결되는 구조물을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체로부터 용해가스를 제거하기 위한 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 구조물은 관인 것을 특징으로 하는 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 관은 코일형으로 되는 것을 특징으로 하는 장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 구조물은 불화-중합체 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 액체는 유기 금속성 액체를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  6. 제1항에 있어서, 상기 액체는 테트라-에틸-올쏘실리케이트, 트리-메틸-포스파이트, 트리-메틸-보레이트, 트리-에틸-포스파이트, 트리-에틸-보레이트 및 테트라키스(디에틸)아미노티타늄으로 구성된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 장치.
  7. 제1항에 있어서, 상기 가스는 불활성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제1항에 있어서, 상기 가스는 헬륨, 질소, 네온, 아르곤, 이산화탄소 및 산소로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 장치.
  9. 가스가 투과가능하고 관벽을 가로지르는 압력차를 받는 관을 통해 액체를 통과시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체로부터 가스를 제거하기 위한 방법.
  10. 제9항에 있어서, 상기 관은 불화-중합체 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  11. 제9항에 있어서, 상기 액체는 유기 금속성 액체를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  12. 제9항에 있어서, 상기 액체는 테트라-에틸-올쏘실리케이트, 트리-메틸-포스파이트, 트리-메틸-보레이트, 트리-에틸-포스파이트, 트리-에틸-보레이트 및 테트라키스(디에틸)아미노티타늄으로 구성된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법.
  13. 제9항에 있어서, 상기 가스는 불활성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  14. 제9항에 있어서, 상기 가스는 헬륨, 질소, 네온, 아르곤, 이산화탄소 및 산소로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법.
  15. 제9항에 있어서, 상기 가스는 헬륨을 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  16. 가압가스의 공급원에 연결된 가스 흡입구 및 액체 배출구를 포함한 액체 수용용 제1용기를 구비하는 공급원; 흡입구 및 배출구를 구비하는 액체 질량 흐름 제어기; 및 저압 공급원에 연결된 저압 연결부, 상기 공급원의 상기 액체 배출구에 연결된 흡입구 및 상기 액체 질량 흐름 제어기의 상기 흡입구에 외측에서 연결되는 배출구를 구비하는 제2용기와, 상기 액체는 투과 불가능하고 상기 가스는 투과가능한 재료를 구비하고, 상기 제2용기내부에 장착되고, 2개의 단부를 가지고, 그중 일단부는 상기 제2용기의 상기 흡입구 및 상기 제2용기의 상기 배출구에 흐름상으로 연통되는 관을 구비하는 탈가스 모듈을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체를 송출하기 위한 장치.
  17. 제16항에 있어서, 상기 관은 코일형으로 되는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 제16항에 있어서, 상기 관은 불화-중합체 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  19. 액체에 가압 가스를 가하여 가압가스의 일부를 상기 액체중에 용해하는 단계; 상기 액체를 압력차를 받는 가스 투과성 관을 통해 통과시킴으로써 상기 액체로부터 상기 용해 가스를 제거하는 단계; 및 액체 질량 흐름 제어기를 사용하여 상기 액체를 분배하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 액체를 분배하기 위한 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 관은 불화-중합체 수지를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  21. 제19항에 있어서, 상기 액체는 유기 금속성 액체를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  22. 제19항에 있어서, 상기 액체는 테트라-에틸-올쏘실리케이트, 트리-메틸-포스파이트, 트리-메틸-보레이트, 트리-에틸-포스파이트, 트리-에틸-보레이트 및 테트라키스(디에틸)아미노티타늄으로 구성된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법.
  23. 제19항에 있어서, 상기 가스는 불활성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법.
  24. 제19항에 있어서, 상기 가스는 헬륨, 질소, 네온, 아르곤, 이산화탄소 및 산소로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 방법.
  25. 액체 수용용 제1용기수단과 상기 제1용기중의 상기 액체를 가압하도록 상기 제1용기에 연결된 가압 가스공급 수단과 배출구를 구비하는 액체를 가압하기 위한 공급 수단; 상기 액체로부터 용해된 가스를 제거하도록 상기 공급 수단의 상기 배출구에 연결되고, 압력차를 받는 가스투과성 관과 배출구를 구비하는 탈가스 수단; 및 상기 액체를 분배하도록 상기 탈가스 수단의 상기 배출구에 연결되는 액체 질량 흐름 제어기 수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액체를 분배하기 위한 수단.
  26. 가압가스의 공급원에 연결된 가스 흡입구 및 액체 배출구를 포함하는 액체수용용 제1용기를 구비하는 공급원; 흡입구 및 배출구를 구비하는 액체 질량 흐름 제어기; 내부에 장착되는 증발기를 구비하고, 상기 액체 질량 흐름 제어기의 상기 배출구 및 상기 증발기에 연결된 흡입구를 가지는 플라즈마 증강형 화학 증착 반응기; 및 저압 공급원에 연결된 저압 연결부, 상기 공급원의 상기 액체 배출구에 연결된 흡입구 및 상기 액체 질량 흐름 제어기의 상기 흡입구에 연결된 배출구를 구비하는 제2용기와, 상기 액체는 투과 불가능하고 상기 가스는 투과가능한 재료를 구비하고, 상기 제2용기 내부에 장착되고, 2개의 단부를 가지고 그중 일단부는 상기 제2용기의 상기 흡입구 및 상기 제2용기의 상기 배출구에 흐름상으로 연통되는 관을 포함하는 탈가스 모듈을 구비하는 것을 특징으로 하는 플라즈마 증강형 화학 증착 시스템용 액체 송출 시스템.
  27. 제26항에 있어서, 상기 액체는 유기금속성 액체를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  28. 제26항에 있어서, 상기 액체는 테트라-에틸-올쏘실리케이트, 트리-메틸-포스파이트, 트리-메틸-보레이트, 트리-에틸-포스파이트, 트리-에틸-보레이트 및 테트라키스(디에틸)아미노티타늄으로 구성된 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 시스템.
  29. 제26항에 있어서, 상기 가스는 불활성 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
  30. 제26항에 있어서, 상기 가스는 헬륨, 질소, 네온, 아르곤, 이산화탄소 및 산소로 구성되는 군으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 시스템.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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