KR940006951B1 - 재생장치 - Google Patents

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KR940006951B1
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우에야마 데주오
사또 히데아끼
오다 겐지
고바야시 소조우
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샤프 가부시끼가이샤
쓰지 하루오
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Abstract

내용 없음.

Description

재생장치
제1도는 STM(Scanning Tunneling Micrescope)의 측정원리를 이용한 재생장치의 개략사시도.
제2도는 탐침헤드가 일차원적으로 이동하는 동안 기록 소자가 이차원적으로 이동하는 본 발명의 일 실시예의 사시도.
제3도는 기록소자가 디스크형상으로 형성되고 회전하는 본 발명의 다른 실시예의 사시도.
제4도는 공급전압과 관련하여 구동부에서 사용되는 압전 소자의 변위를 보여주는 그래프.
제5도는 본 발명의 탐침헤드의 수평방향의 위치제어가 레이저간섭계에 의해 행해지는 일실시예를 보여주는 사시도.
제6도는 피드백 제어에 의한 설정전압과 관련하여 구동부에서 사용되는 압전소자의 변위를 보여주는 그래프.
제7A도와 제7B도는 탐침헤드의 이동과 관련한 출력신호(표면형)의 변화를 보여주는 그래프.
제8도는 정보가 각 불규칙한 원자로 형성되는 피트로부터 기록되는 기록방법의 작동상태도.
제9도는 AFM(Atomic Force Microscope)의 측정원리를 이용한 본 발명의 일 실시예의 일측면도.
제10도는 캔틸래버의 변위를 검출하기위해 본 발명에서 사용되는 레이저 간섭계의 일측면도.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 탐침헤드 2 : 기록소자
3 : 액츄레이터 4 : 터널전류 검출기
3a, 3b, 3c : 구동부 5 : 서버회로
6 : 전압공급수단 7 : 전압검출수단
8 : 재발생수단 9 : 캔틸레버
10 : 레이저간섭계 11 : 제만레이저(Zeeman laser)
12 : 반경 13,19 : 편광판
16 : 렌즈 14,20 : 포토검출기
17 : 기준경 15 : 월라스톤프리즘
18 : 반사경
본 발명은 그 평면이 매우 작은 피트로 되어 있는 기록소자로부터 정보를 재생하는 재생장치에 관한 것이다.
자기헤드에 의한 자기기록수단과 관련하여 자화방향의 정보를 기록하고, 자기헤드에 의해 자화방향을 검출함으로서 정보를 재생하기 위한 자기재생장치가 있다.
기판의 표면상에 형성되는 적은 불규칙한 것들로된 피트로부터 정보를 기록하고, 그 피트가 광빔으로 방사되고 피트의 존재가 반사된 빛의 강도의 변화에 검출되는 방법에 의해 정보를 재생하는 광재생장치가 알려져있다.
또한 기록매체(기록비트)에 고정된 자화방향을 가지는 부분들을 정렬하고, 기록매체가 광빔으로 방사되고 기록비트의 정렬이 반사된 빛의 편광방향의 변화에 의해 검출되는 방법에 의해 정보를 재생하는 포토 자기재생장치가 알려져있다.
상기 언급된 재생장치들은 자기헤드 혹은 광빔을 판독하는 능력이 세한되고, 피트와 기록비트가 서브미크론(submicrons)으로 측정되는 길이를 최소로 가지므로 기록도가 현저하게 증가될 수는 없다고 하는 문제점을 가진다.
본 발명의 목적은 높은 기록도를 가지는 기록소자로부터 정보를 재생할 수 있는 재생장치를 제공하는 것이다.
이러한 목적은 평면상에 매우 작은 피트로 헝성된 기록소자로부터 정보를 재생하는 재생장치에 의해 이루어질 수 있다.
재생장치는 기록소자의 표면으로부터 매우 가까운 거리에 위치한 탐침부와, 기록소자의 표면으로부터 매우 가까운 거리에 있는 탐침부에 주사하는 주사부와, 탐침부와 기록소자에 각각 연결되어 탐침부와 기록소자의 표면사이에 발생되는 상호작용을 검출하는 검출부와 그리고 검출부로부터 신호출력을 입력받고, 그 입력신호에 의해 피트의 패턴을 검출함으로서 정보를 재발생하도록 검출부에 연결된 재발생부로 구성된다.
바람직하게는 그 재발생부로의 신호입력은 탐침부의 원자와 기록소자의 원자들 사이의 상호작용에 의해 발생되도록 하고, 그 신호입력은 탐침부의 변위를 표시한다.
재생장치는 더우기 탐침부와 재발생부에 각각 연결된 전압 검출부를 포함한다.
탐침부(probing unit)는 오히려 탐침헤드이다.
검출부(detecting unit)는 오히려 터널전류 검출기이다.
탐침부는 복수의 방향으로 탐침부를 구동할 수 있는 복수의 구동부를 가지는 액츄레이터(acturator)를 포함할 수 있다.
탐침부는 더우기 서보회 로(servo-circuit) 를 포함한다.
바람직하게 액츄레이터는 X방향으로 탐침부를 구동할 수 있는 X축 구동부와, Y방향으로 탐침부를 구동할 수 있는 Y축 구동부를 포함한다.
액츄레이터는 X방향으로 탐침부를 구동할 수 있는 X축 구동부, Y방향으로 탐침부를 구동할 수 있는 Y축 구동부, 그리고 Z방향으로 탐침부를 구동할 수 있는 Z축 구동부를 포함할 수 있다.
오히려, 액츄레이터는 Z방향으로 탐침부를 구동할 수 있는 Z축 구동부, X방향으로 탐침부를 구동할 수있는 X축 구동부, 그리고 Y방향으로 탐침부를 구동할 수 있는 Y축 구동부를 포함한다.
각 구동부는 압전소자를 포함할 수 있다.
재발생부(regeneration unit)는 더우기 입력신호의 백그라운드를 제거하는 필터부를 포함한다.
검출부는 광원에 의해 발생되는 광빔의 일부를 반사하고 탐침부와 기록소자 표면사이의 상호작용을 검출하기 위하여 광빔의 일부를 통과시키는데 사용되는 복수의 거울과 광원으로서의 제만 레이저(Zeemanlaser)를 포함하는 레이저 간섭계이다.
오히려 검출부는 캔틸레버상에 적제되고, 레이저 간섭계는 캔틸레버의 변위를 측정하기 위하여 빛의 간섭의 위상변위를 검출하도록 적응된다.
본 발명에 따라, 피트의 재생은 마이그로이터(μm) 단위정도의 불규칙한 것뿐만 아니라 나노미터(㎚)의 단위정도의 불규칙한 것들로 형성되었고, 궁극적으로 하나의 불규칙 원자로 형성되는 피트가 가능하고, 그로 말미암아 관련기술에서 사용된 기록소자의 것 이상의 수개의 디지트를 기록밀도로 가지는 기록소자를 사용함으로서 정보가 재생될 수 있다.
본 발명의 재생장치는 그 평면상에 매우 작은 오목한 곳과 돌출부로 피트가 형성되는 기록소자로부터 정보를 재생하는 것으로 단부가 날카로운 탐침헤드가, 상기 언급된 기록소자의 표면으로부터 매우 가까운 거리에 있는 이 탐침헤드로 주사하는 주사수단과, 탐침헤드가 기록소자의 표면으로부터 떨어져 매우 가까운거리에 있을때 원자들 사이에서 발생되는 상호작용을 검출하는 검출수단과, 그리고 검출수단으로부터의 신호에 의해 상기 언급된 불규칙한 것들로 어레이된 피트들의 패턴을 검출함으로서 정보를 재발생하는 재발생수단을 포함한다.
본 발명은 다음과 같은 장점을 가진다.
μm의 단위정도의 불규칙한 것들뿐 아니라 ㎚의 단위정도의 불규칙한 것으로 이루어진 피트의 재생이 가능하고, 궁극적으로 하나의 불규칙 원자로 형성된 피트가 가능하도록 하여, 그리하여 선행기술의 기록소자보다 많은 수개의 디지트의 기록밀도를 가지는 기록소자를 사용함으로서 정보가 재생될 수 있다.
본 발명에 있어 그 이상의 목적들과 장점들이 첨부도면에 묘사되는 것처럼 발명의 바한 실시예에 대한 다음 설명으로부터 명백해질 것이다.
본 발명의 일 실시예가 제1도에서 제8도와 관련하여 아래에서 설명될 것이다.
이 실시예의 재생장치는 주사 터널 현미경(STM)(scanning tunneling microscope)의 측정원리들을 활용한다.
제1도에 도시한 바와 같이 그 장치는 탐침헤드(1)로서 금속물질을, 기록소자(2)로서 모체를 사용하고, 탐침헤드(1)가 기록소자(2)로부터 매우 가까운 거리에 있을때 탐침헤드(1)와 기록소자(2)상의 원자들 사이에서 발생되는 터널 전류를 활용한다.
기록소자(2)의 포면은 평면형태를 가지고, 이 평면상에, 오목한 곳과 돌출부로 된 이 피트들이 원자레벨로 고정된 방향으로 정렬되어있다.
탐침헤드(1)는 전해에 의해 혹은 기계로 갈아져 반경 0.1μm의 단부로 가공된 직경 0.01㎚ 혹은 그정도의 백금, 텅스텐, 이리듐 또는 금과 같은 금속원자로 만들어진 금속선의 단부가 사용된다.
탐침헤드(1)의 단부에는 더 작은 불규칙 원자들이 있고, 이러한 불규칙한 원자들 중 가장 돌출한 것 몇몇이 실절적 탐침헤드를 형성한다.
탐침헤드(1)는 3차원 액츄레이터(3)에 의해 탐침헤드(1)를 축으로 하는 Z방향, 이 Z방향에 수직의 X방향, 그리고 Z방향과 X방향에 각각 수직인 Y방향으로 매우 가까운 거리를 이동할 수 있도록 배치된다.
3차원 액츄레이터(3)는 X방향으로 구동하는 X축 구동부(3a), Y방향으로 구동하는 Y축 구동부(3b), 그리고 Z축으로 구동하는 X축 구동부(3c)를 포함한다.
구동부(3a, 3b, 3c)는 공급전압에 응하여 확장하고 수축하는 압전소자로 형성된다.
탐침헤드(1)는 검출수단으로서의 터널 전류 검출기(4)를 거쳐 기록소자(2)로 연결되는 전압공급수단(6)과 연결된다.
터널전류 검출기(4)는 탐침헤드(1)가 기록소자(2)로부터 매우 가까운 거리에 있을때 탐침헤드(1) (1)원자와 기록소자(2) 원자사이에 발생되는 상호작용을 감지할 수 있도록 정열된다.
터널전류 검출기(4)는 터널전류 검출기(4)로부터 출력을 기초로 하여 3차원 액츄레이터(3)로 공급되는 전압을 제어하도록 정렬되는 서보회로(5)와 연결된다.
주사수단은 3차원 액츄레이터(3)와 서보회로(5)를 포함하고, 기록소자(2)로부터 매우 가까운 거리에 있는 탐침헤드(1)로 주사할 수 있도록 정렬된다.
서보회로(5)는 3차원 액츄레이터(3)에 공급된 전압에서의 변위를 픽업하는 전압검출수단(7)과 연결되고, 전압검출수단(7)은 재발생수단(8)에 연결된다.
재발생수단(8)은 전압검출수단(7)에 의해 픽업된 전압변위를 기초로하여 전압검출수단(7)과 서보회로(5)를 통해 검출수단인 터널전류 검출기(4)로부터 신호의 입력에 의해 기록소자(2)의 표면상에 형성된 불규칙한 원자들의 변위를 검출함으로서 정보를 재발생하기 위하여 정렬된다.
상기 언급된 정렬에서, 탐침헤드(1)와 기록소자(2) 사이의 거리는 전압공급수단(6)에 의해 탐침헤드(1)와 기록소자(2) 사이에 1V의 전압을 공급함으로서, 그리고 터널전류 JT가 양자효과에 의해 흐르는 결과로 Z축구동부(3c)에 의해 탐침헤드(1)를 구동함으로서 1㎚ 혹은 그 정도로 정렬될 수 있다.
터널전류 JT는 탐침헤드(1)와 기록소자(2) 사이의 거리의 변위에 매우 민감하다.
터널전류 JT를 일정하게 유지하기 위하여, Z축 구동부(3C)에 공급되는 전압은 탐침헤드(1)가 Z방향으로 구동하도록 서보회로(5)에 의해 제어되고, 탐침헤드(1)와 기록소자(2) 사이의 거리가 일정한 동안에는 탐침헤드(1)가 X축 구동부(3a)와 Y축 구동부(3b)에 의해 X와 Y방향으로 주사되도록 한다.
이때 Z축 구동부(3c)를 구동하도록 공급된 전압의 변위는 전압검출수단(7)에 의해 픽업된다.
재발생수단(8)으로 픽업된 신호의 입력은 기록소자(2)의 표면상에 불규칙한 것들로 형성된 정열된 피트의 형태가 검출될 수 있도록 하고, 그러한 정보가 재발생된다.
기록소자(2)상의 불규칙한 것들이 상기에 설명된 것과 같은 터널효과를 사용함으로서 검출될 때, 수직방향으로 약 10-3㎚(102Å), 수평방향으로 약 10-l㎚ 가량의 도출을 얻을 수 있다.
궁극적으로, 각 불규칙한 원자들이 피트를 이루는 고밀도의 기록소자(2)를 이용한 재생이 형성될 수 있다.
상기 언급된 실시예에서, 터널전류 JT가 일정하게 유지되는 전류일정모드에서의 재생이 설명된다.
그러나 기록소자(2)의 표면이 거의 평면이고, 원자레벨의 불규칙한 것들로만 형성될때 터널전류 JT가 X와 Y방향에 있는 탐침헤드(1)로 주사되는 동안 검출되고 터널전류 JT의 변위가 탐침헤드(1)와 기록소자(2)사이의 거리에서의 변화로서 곧바로 검출되도록 ; 즉 탐침헤드(1)와 기록소자(2) 사이의 거리를 일정하게유지하는 조절을 행하지않고 불규칙한 것들이 검출되도록, 재생이 변화하는 전류모드에 의해 행해질 수 있다.
이것이 각 불규칙한 것들을 트래킹함으로서 탐침헤드(1)의 구동 조절을 제거하고, 그리하여 재생이 상기언급된 전류 일정 모드에서의 것보다도 더 높은 속도에서 가능해진다.
제2도에 도시된 바와 같이 한편으로는 탐침헤드(1)가 Z방향의 Z축 구동부(3c)에 의해 움직이고, 또 한편으로는 기록소자(2)가 놓여 있는 테이블의 X와 Y방향의 X축 구동부(3a)와 Y축 구동부(3b)에 의해 움직이도록 조정될 수 잇다.
더우기, 제3도를 보면, 기록소자(2)가 디스크형으로 형성되고, 피트의 열이 나선형 혹은 동심원 형으로 형성되고, 디스크형의 기록소자(2)가 회전되는 동안, 재생위치가 점차 바뀌도록 조정될 수 있다.
기록소자(2) 구동방법이 변화하는 전류모드와 전류 일정모드 둘 다에 적용될 수 있다.
상기 언급된 재생장치에서 탐침헤드(1)와 기록소자(2) 사이의 거리의 조절, 즉 탐침헤드(1)의 Z방향의 위치조절은 터널전류 JT에 의해 검출됨으로서 이루어진다.
그러나 측면방향의 (X 혹은 Y방향의)탐침헤드(1)에 의한 트래킹이 X축 구동부(3a)와 Y축 구동부(3b)로 전압을 공급함으로서만 이루어지고, 실질 운동이 확인되지 않으므로, 신뢰성이 낮다는 결점을 가진다.
다시말해서, 제4도에 도시된 바와 같이, 각 구동부(3a, 3b, 3c)를 포함하는 압전소자의 공급전압 변위특성은 자기이력(hysteresis)(磁氣履歷)을 가지며 그럼으로서 에러를 일으킨다.
이 에리를 해결하기 위하여, 탐침헤드(1)의 측면위치 조절은 레이저 간섭계에 의해 이루어진다.
제5도에 도시된 바와 같이, 기록소자(2)와 탐침헤드(1) 사이의 상대적 거리를 측정하기 위하여, 레이저빔이 탐침헤드(1)와 기록소자(2)의 지지부가 놓여지는 테이블을 향해 조사된다.
그것의 간섭광(interference light)이 얻어지고, 탐침헤드(1)의 위치가 검출되는 동안, 압전소자에 공급된 전압이 피드백 제어의 이행에 의해 설정된다.
결과로서, 제6도에 도시된 바와 같이, 압전소자는 직선으로 변위될 수 있고, 탐침헤드(1) (혹은 기록소자(2))는 나노미터(㎚)의 순서상에 측면방향에 정확히 위치될 수 있다.
레이저 간섭계(10)의 특정 배열이 뒤에 언급될 다른 실시예에서 상세히 묘사될 것이다.
제7A도에 도시된 바와 같이 기록소자(2)의 표면상에 진동이 없고, 기록소자(2)가 경사상에 위치하지 않는 경우에 재발생 신호는 기록소자(2)상에 형성된 불규칙한 것들의 것과 똑같은 파형을 보여준다.
제7B도에 도시된 바와 같은 기록소자(2)상에 진동이 있거나, 혹은 기록소자(2)가 경사상에 위치할 때에는 진동과 경사와 같은 성분들이 재발생신호에 포함된다.
그러나 상기에 언급된 진동 혹은 경사와 같은 성분들의 주파수는 불규칙한 것들의 재발생신호의 것보다 3디지트 더 작으므로, 진동 혹은 경사 성분들의 주파수가 하이패스 필터(high-pas filter)를 통과함으로서 제거될 수 있다.
상기 설명에서, 기록소자(2)의 표면상에 불규칙한 것들로 인하여 피트의 재생이 분명해진다.
제1도에 도시한 장치를 사용하는 피트의 기록이 또한 가능하다.
구체화하자면, 제8도에 도시된 바와 같이 탐침헤드(1)의 단부(tip)을 구성하는 하나의 원자(1a)가 기록소자(2)상의 어느 위치에 부가되거나 혹은 기록소자(2)상의 어느 하나의 원자(2a)가 제거되는 그러한 작동이 정제공정기술에서 최종적인 것으로 고려되는 전계 증발공정(electric-field evaporation process)에 의해 행해진다.
탐침헤드(1)의 단부는 불안정한 상태로되고, 원자들은 양극측으로부터 양이온으로서 전계증발되고 음극측상에 부착되는데(그 반대가 음 이온의 경우에 적용된다), 이는 피트가 각 불규칙한 원자들에 의해 기록될수 있다고 하는 사실의 결과이다.
제9도와 제10도와 관련하여 본 발명의 또 다른 실시예가 다음에서 설명될 것이다.
상기 언급된 실시예의 것들과 같은 기능을 가지는 것들에게도 같은 참고번호가 주어지고, 그 설명은 생략된다.
본 발명의 재생장치는 원자력 현미경 AFM(atomic force microscope)의 측정원리들을 사용한다.
제9도에 도시된 바와 같이 기록소자(2)의 표면상의 원자와 탐침헤드(1)의 단부의 원자사이의 원자력을 검출하기 위하여, 탐침헤드(1)는 캔틸레버(9)에 의하여 지지된다.
캔틸레버(9)는 탐침헤드(1)가 기록소자(2)에 가깝게 놓여있을때 발생되는 반발 혹은 유인을 받도록 정렬되고, 유연성 있고 쉽게 변형된다.
원자력은 캔틸레버(9)의 탄성변형에 의해 검출된다.
탐침헤드(1)의 위치가 원자력을 일정하게 유지하기 위하여 조정되는 동안, 탐침헤드(1)는 주사하게되고, 기록소자(2) 표면상의 불규칙한 것들은 상기 연급된 실시예에서와 똑같은 방식으로 검출된다.
이 실시예에 따라, 전도성 있는 물질들은 탐침헤드(1)와 기록소자(2)로서 사용될 필요가 없고, 절연물질혹은 그와 같은 것들의 사용이 가능해진다.
캔틸레버(9)의 변위의 측정을 위해, 예를 들어 레이저 간섭방법이 사용될 수도 있다.
제10도에 도시된 바와 같이 2사이클 크로스 선형(2-cycle cross linear) 편광의 레이저빔이 레이저 간섭계(10)의 제만 레이저(11)로부터 방사된다.
이 레이저빔의 일부가 반경(12)에 의해 반사되고, 나머지는 반경(12)을 관동한다.그 결과로 나타나는 빔이 두 다른 방향으로 갈린다.
갈린 빛의 빔중의 하나가 편광판(13)을 통해 포트검출기(14)로 들어간다.
다른 갈린 빛이 월라스톤 프리즘(wallaston prism)(15)으로 들어간다.
레이저빔의 주파수가 다른 두 성분으로 갈라지고, 오른쪽 앵글(angle)에서 서로 교차한다.
분할되는 광빔의 하나는 렌즈(16)을 관통한후, 캔틸레버(9)에 의해 반사된다.
다른 분할된 빛은 렌즈(16)를 관통한 후, 기준경(17)에 의해 반사된다.
그러한 반사후에, 그 빔이 렌즈(16)를 관통하고, 월라스톤 프리즘(15)에 겹쳐진다.
이러한 중복에 의한 간섭광이 반사경(reflection mirror)(18)에 의해 반사되고, 그 후에 그것은 편광판(1g)을 통해 포토검출장치(20)로 들어가고, 간섭광(lnterference light)상에 겹쳐지는 두 빛 사이에 다른 주파수를 가지는 비트신호가 얻어진다.
비트신호의 위상이 캔틸레버(9)의 변형에 의해 변위되므로, 캔틸레버(9)의 변위량은 위상변위를 검출함으로서 측정될 수 있다.
캔틸레버(9)와 레이저 간섭계(10)는 탐침헤드(1)가 기록소자(2)의 표면으로부터 매우 조금 떨어져있을때 발생되는 상호작용을 검출하기 위한 검출수단을 포함한다.
캔틸레버(9)의 변위는 기록소자(2)상의 불규칙한 것들의 변위이다.
그러므로 전압변위로서 캔틸레버(9)의 변위량을 픽업함으로서 정렬된 피트의 패턴이 재발생수단에 의해 검출되고, 정보가 재생된다.
본 발명의 재생장치에 따라, 상기 언급된 실시예에서 보여진 압전소자등은 탐침헤드(1)와 기록소자(2)의 주사수단으로서 사용될 수 있다.
피트의 형태는 일례의 표면의 형태가 STM 혹은 AFM에 의해 측정될 때처럼, 주사선의 수를 크게 함으로서 전면상에서 정확히 측정될 필요는 없고, 피트의 존재는 일 피트 트레인당 일 시간 주사함으로서 검출될 수 있다.
본 발명의 많은 다른 실시예들이 본 발명의 정신과 범위로부터 크게 이탈됨이 없이 고안될 수 있다.
본 발명은 첨부된 청구범위에서 규정된 것을 제외하고 명세서에서 설명되는 상세한 실시예에 제한되지 않는다고 하는 것이 이해되어져야 한다.

Claims (9)

  1. 기록매체상에 기록된 기록피트를 독출하는 장치에 있어서, 터널전류를 검출하는 탐침수단과, 복수의 제1압전소자를 가지고 상기 기록매체의 일표면 위에 있는 상기 탐침수단을 상이한 방향에서 각각 주사하는 주사수단과, 상기 탐침수단과 상기 기록매체 상에 있는 상기 기록피트 사이에서 흐르는 터널전류를 검출하는 터널전류 검출수단과, 제2압전소자를 가지고 상기 일표면에 가로지르는 방향에서 상기 탐침수단을 구동하고 그리고 상기 터널전류의 값을 일정하게 유지하기 위하여 상기 탐침수단과 상기 기록매체의 상기 일표면 사이에서 설정된 거리를 유지하는 서보회로와, 상기 서보회로에 의해 상기 제2압전소자로 공급된 전압의 출력값을 상기 기록매체의 상기 일표면을 특징화하는 정보신호로 변환하는 수단 및, 상기 탐침수단의 변위를 측정하는 것에 의해 상기 주사수단을 제어하여, 상기 상이한 방향에서 상기 탐침수단을 주사하는 상기 제1압전소자의 전압구동에서의 자기이력을 보상하도록 하는 제어수단을 포함하고, 상기 제어수단은 상기탐침수단의 상기 변위를 측정하는 레이저 간섭계를 구비하고, 상기 레이저 간섭계는 제만 레이저 광원과 월라스톤 프리즘 및 역렌즈를 가지며, 상기 레이저 간섭계는 간섭광 경로의 위상차 변위에 따라 짧은 거리 이상의 변위차를 검출하고, 상기 레이저 간섭계는 상기 탐침수단의 변위를 검출하기 위하여 상기 광원에 의해 발생된 광빔의 일부를 반사하고 그리고 상기 광빔의 일부를 통과하는 복수의 거울을 부가하는 것을 특징으로 하는 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 서보회로는 상기 탐침수단과 상기 기록매체의 상기 일표면 사이에서 상기 거리를 유지할 수 있어서 상기 정보신호의 저주파수 성분은 일정하게 유지되고, 그리고 상기 정보신호의 고주파수 성분은 상기 팀침수단이 상기 상이한 방향에서 주사될 때 상기 기록매체의 상기 일표면에 있는 상기 기록매체의 상기 일표면에 있는 상기 기록피트의 특성에 대응하는 것을 특징으로 하는 재생장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 변환수단은 상기 터널전류의 신호에 있는 고주파수 성분을 상기 기록매체의 상기 일표면을 특징화하는 상기 정보로 직접 변환할 수 있는 것을 특징으로 하는 재생장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 변환수단은 상기 제2압전소자로 공급된 상기 전압출력의 값에 있는 고주파수성분을 상기 기록매체의 상기 일표면을 특징화하는 상기 정보로 변환하는 하이 패스 필터를 부가한 것을 특징으로 하는 재생장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 탐침수단은 탐침헤드이고, 그리고 상기 제1압전소자는 상기 탐침헤드를 직각좌표계에서 X방향으로 구동하는 X축 구동부와 상기 탐침헤드를 Y방향으로 구동하는 Y축 구동부를 구비한것을 특징으로 하는 재생장치.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 제 2 압전소자는 직각 좌표계에서 상기 탐침헤드를 Z방향으로 구동하는 Z축 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 재생장치.
  7. 기록매체 상에 기록된 기록피트를 독출하는 장치에 있어서, 원자사이의 상호작용력을 검출하는 캔틸레버를 포함하고, 상기 캔틸레버는, 상기 캔틸레버의 단부에 설치된 탐침수단과, 제1압전소자를 가지고 상기기록매체의 일표면위에 있는 상기 탐침수단을 상이한 방향으로 각각 주사하는 주사수단과, 상기 캔틸레버의 변위를 측정하는 레이저 간섭계와, 제2압전소자를 가지고 상기 일표면에 가로지르는 방향에서 상기 탐침수단을 구동하고 그리고 상기 탐침수단과 상기 기록매체의 상기 일표면 사이에서 설정된 거리를 유지하는 서보회로와, 상기 제2압전소자로 공급된 전압의 출력값을 상기 기록매체의 상기 일표면을 특징화하는 정보를 변환하는 수단 및, 상기 탐침수단을 상기 상이한 방향으로 주사하는 상기 제1압전소자의 전압구동에서의 자기이력을 보상하기 위하여 상기 레이저 간섭계에 따라 상기 탐침수단의 변위를 측정하는 것에 의해 상기 탐침수단을 선형적으로 구동되도록 제어하는 수단을 포함하고, 상기 레이저 간섭계는 제만 레이저 광원과월라스톤 프리즘 및 역렌즈를 가지고, 상기 레이저 간섭계는 간섭광 경료의 위상차 변위에 따라 짧은 거리위에 변위차를 검출하며, 상기 레이저 간섭계는 상기 탐침수단의 변위를 검출하기 위하여 상기 광원에 의해 발생된 광빔의 일부를 반사하고 그리고 상기 광빔의 일부를 통과하는 복수의 거울을 부가하는 것을 특징으로 하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 탐침수단은 탐침헤드이고, 그리고 상기 제1압전소자는 상기 탐침헤드를 직각좌표계에서 X방향으로 구동하는 X축 구동부와 상기 탐침헤드를 Y방향으로 구동하는 Y축 구동부를 구비한것을 특징으로 하는 재생장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 제2압전소자는 직각 좌표계에서 상기 탐침헤드를 Z방향으로 구동하는 Z축 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 재생장치.
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