JP3236423B2 - 光メモリ装置並びにその記録方法及び再生方法 - Google Patents
光メモリ装置並びにその記録方法及び再生方法Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、フォトンＳＴＭを利用
した光メモリ装置並びにその記録方法及び再生方法に関
する。
した光メモリ装置並びにその記録方法及び再生方法に関
する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、光メモリ装置等にあっては、よ
り高密度記録／再生が可能であることが要求されるが、
現状の光メモリ装置にあっては、高密度記録／再生の面
で既に限界に達しつつあるといえる。これは、その分解
能が回折限界、即ち、記録／再生用の光（レーザ光）の
波長λに対してλ／２より短い領域には光を集光させる
ことができない、という光の波の性質による。
り高密度記録／再生が可能であることが要求されるが、
現状の光メモリ装置にあっては、高密度記録／再生の面
で既に限界に達しつつあるといえる。これは、その分解
能が回折限界、即ち、記録／再生用の光（レーザ光）の
波長λに対してλ／２より短い領域には光を集光させる
ことができない、という光の波の性質による。
【０００３】よって、現状で、より高密度記録化を図る
とすると、ピット間の間隔を詰めるとか、トラック間距
離を詰める、といった手法に頼らざるを得ないが、この
ような手法にてある程度以上の高密度化を図ると、クロ
ストークが大きくなってしまい、再生が不能となって、
実用できないものとなる。
とすると、ピット間の間隔を詰めるとか、トラック間距
離を詰める、といった手法に頼らざるを得ないが、この
ような手法にてある程度以上の高密度化を図ると、クロ
ストークが大きくなってしまい、再生が不能となって、
実用できないものとなる。
【０００４】この点、近年では回折限界を超える分解能
を持つフォトンＳＴＭ（フォトン走査型トンネル顕微
鏡）が注目され、その研究が活発に行われている。例え
ば、雑誌「電学誌」１１３巻５月号，１９９３年中の
「原子も見える光学顕微鏡−フォトンＳＴＭで極微計測
・加工−」（ｐ．３８１〜３８４）の記載によれば、超
高密度光記録への応用についても言及されている。
を持つフォトンＳＴＭ（フォトン走査型トンネル顕微
鏡）が注目され、その研究が活発に行われている。例え
ば、雑誌「電学誌」１１３巻５月号，１９９３年中の
「原子も見える光学顕微鏡−フォトンＳＴＭで極微計測
・加工−」（ｐ．３８１〜３８４）の記載によれば、超
高密度光記録への応用についても言及されている。
【０００５】ここに、上記雑誌中の記載及び図７を参照
してフォトンＳＴＭの原理について説明する。一般に、
物体に光を照射すると、その散乱光には、遠くまで伝搬
する光と、光照射によって物質に誘起された分極同士の
相互作用によってその近傍にのみ作られる電磁場、即
ち、伝搬しない光とが発生する。この伝搬しない後者の
光が、所謂エバネッセント光である。
してフォトンＳＴＭの原理について説明する。一般に、
物体に光を照射すると、その散乱光には、遠くまで伝搬
する光と、光照射によって物質に誘起された分極同士の
相互作用によってその近傍にのみ作られる電磁場、即
ち、伝搬しない光とが発生する。この伝搬しない後者の
光が、所謂エバネッセント光である。
【０００６】このようなエバネッセント光は、図７に示
すように、物体（例えば、基板１）の表面から光の波長
程度離れるとその強度がほぼ０となり、物質表面形状と
同等の空間分布を持つものである。２はエバネッセント
光の強度を示す等光線である。このようなエバネッセン
ト光の存在する領域（従って、基板１表面からの距離Ｌ
がＬ≪λなる領域）に、先端の尖った光プローブ３でこ
のエバネッセント光を散乱させることにより、伝搬光に
変換する。この時、光プローブ３を物体表面に沿って２
次元平面内で走査させ、光検出器４を介して光プローブ
３の位置関数としてエバネッセント光の測定強度分布
（空間分布）を測定すれば、物体の３次元形状を観測す
ることができる（再生）。
すように、物体（例えば、基板１）の表面から光の波長
程度離れるとその強度がほぼ０となり、物質表面形状と
同等の空間分布を持つものである。２はエバネッセント
光の強度を示す等光線である。このようなエバネッセン
ト光の存在する領域（従って、基板１表面からの距離Ｌ
がＬ≪λなる領域）に、先端の尖った光プローブ３でこ
のエバネッセント光を散乱させることにより、伝搬光に
変換する。この時、光プローブ３を物体表面に沿って２
次元平面内で走査させ、光検出器４を介して光プローブ
３の位置関数としてエバネッセント光の測定強度分布
（空間分布）を測定すれば、物体の３次元形状を観測す
ることができる（再生）。
【０００７】一方、光プローブ３の先端からエバネッセ
ント光を滲み出させて光記録材料を光の波長よりも充分
にこの光プローブ３に近付ければ、エバネッセント光に
よる記録が行われる。この場合の分解能は、光プローブ
３の先端形状によって決まるので、光プローブ３の先端
の曲率半径を原子サイズまで尖らせれば、原子を見た
り、原子サイズの記録に迄達する分解能が実現するもの
となる。
ント光を滲み出させて光記録材料を光の波長よりも充分
にこの光プローブ３に近付ければ、エバネッセント光に
よる記録が行われる。この場合の分解能は、光プローブ
３の先端形状によって決まるので、光プローブ３の先端
の曲率半径を原子サイズまで尖らせれば、原子を見た
り、原子サイズの記録に迄達する分解能が実現するもの
となる。
【０００８】よって、光プローブ３による微小物体５の
凹凸検出は、微小物体５と光プローブ３の先端との間の
エバネッセント場の波動関数が同程度に局在して、しか
も、互いにその重なりが大きい時、微小物体５に局在し
たエバネッセント光は伝搬光へと効率よく変換される。
凹凸検出は、微小物体５と光プローブ３の先端との間の
エバネッセント場の波動関数が同程度に局在して、しか
も、互いにその重なりが大きい時、微小物体５に局在し
たエバネッセント光は伝搬光へと効率よく変換される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】ところが、このような
フォトンＳＴＭを光メモリの超高密度記録化に利用し得
るといっても、実際的には、その特徴を活かしつつ、ど
のようにしてより高密度でクロストークの少ない記録／
再生を可能にするかは未知であり、その開発が望まれて
いる現状にある。
フォトンＳＴＭを光メモリの超高密度記録化に利用し得
るといっても、実際的には、その特徴を活かしつつ、ど
のようにしてより高密度でクロストークの少ない記録／
再生を可能にするかは未知であり、その開発が望まれて
いる現状にある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明で
は、光メモリ装置に関して、媒体面上を光プローブで走
査しながら微小凹凸に局在するエバネッセント光により
前記媒体の凹凸情報を記録し又は再生するようにしたフ
ォトン走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置に
おいて、異なる記録寸法の範囲内に設定された各々の一
連の記録凹凸情報列のみを再生する分解能を持つように
各々異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数の光
プローブを設けた。
は、光メモリ装置に関して、媒体面上を光プローブで走
査しながら微小凹凸に局在するエバネッセント光により
前記媒体の凹凸情報を記録し又は再生するようにしたフ
ォトン走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置に
おいて、異なる記録寸法の範囲内に設定された各々の一
連の記録凹凸情報列のみを再生する分解能を持つように
各々異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数の光
プローブを設けた。
【００１１】請求項２記載の発明では、光メモリ装置の
記録方法に関して、媒体面上を光プローブで走査しなが
らこの光プローブ先端からエバネッセント光を滲み出さ
せて前記媒体に凹凸情報を記録するようにしたフォトン
走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の記録方
法において、各々異なる円錐角に設定された先端円錐形
状の複数の光プローブを設け、これらの光プローブによ
り異なる記録寸法の範囲内に設定された各々の一連の記
録凹凸情報列を、各々別個の列上に分離して、又は、同
一列上に混在させて記録形成するようにした。
記録方法に関して、媒体面上を光プローブで走査しなが
らこの光プローブ先端からエバネッセント光を滲み出さ
せて前記媒体に凹凸情報を記録するようにしたフォトン
走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の記録方
法において、各々異なる円錐角に設定された先端円錐形
状の複数の光プローブを設け、これらの光プローブによ
り異なる記録寸法の範囲内に設定された各々の一連の記
録凹凸情報列を、各々別個の列上に分離して、又は、同
一列上に混在させて記録形成するようにした。
【００１２】請求項３記載の発明では、光メモリ装置の
再生方法に関して、媒体面上を光プローブで走査しなが
ら微小凹凸に局在するエバネッセント光により前記媒体
の凹凸情報を再生するようにしたフォトン走査型トンネ
ル顕微鏡を利用した光メモリ装置の再生方法において、
各々異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数の光
プローブを設け、各々別個の列上に分離して、又は、同
一列上に混在させて記録形成された異なる記録寸法の範
囲内に設定された各々の一連の記録凹凸情報列を各々の
記録寸法に適合する分解能の光プローブにより再生する
ようにした。
再生方法に関して、媒体面上を光プローブで走査しなが
ら微小凹凸に局在するエバネッセント光により前記媒体
の凹凸情報を再生するようにしたフォトン走査型トンネ
ル顕微鏡を利用した光メモリ装置の再生方法において、
各々異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数の光
プローブを設け、各々別個の列上に分離して、又は、同
一列上に混在させて記録形成された異なる記録寸法の範
囲内に設定された各々の一連の記録凹凸情報列を各々の
記録寸法に適合する分解能の光プローブにより再生する
ようにした。
【００１３】請求項４記載の発明では、光ディスク装置
の記録方法に関して、媒体面上を光プローブで走査しな
がらこの光プローブ先端からエバネッセント光を滲み出
させて前記媒体に凹凸情報を記録するようにしたフォト
ン走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の記録
方法において、各々異なる円錐角に設定された先端円錐
形状の複数の光プローブを設け、これらの光プローブに
よりトラッキング用凹凸情報列とこの凹凸情報列と異な
る記録寸法の範囲内に設定された一連の記録凹凸情報列
とを形成するようにした。
の記録方法に関して、媒体面上を光プローブで走査しな
がらこの光プローブ先端からエバネッセント光を滲み出
させて前記媒体に凹凸情報を記録するようにしたフォト
ン走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の記録
方法において、各々異なる円錐角に設定された先端円錐
形状の複数の光プローブを設け、これらの光プローブに
よりトラッキング用凹凸情報列とこの凹凸情報列と異な
る記録寸法の範囲内に設定された一連の記録凹凸情報列
とを形成するようにした。
【００１４】請求項５記載の発明では、媒体面上を光プ
ローブで走査しながら微小凹凸に局在するエバネッセン
ト光により前記媒体の凹凸情報を再生するようにしたフ
ォトン走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の
再生方法において、各々異なる円錐角に設定された先端
円錐形状の複数の光プローブを設け、前記媒体上に形成
されたトラッキング用凹凸情報列とこの凹凸情報列と異
なる記録寸法の範囲内に設定された一連の記録凹凸情報
列とを各々の記録寸法に適合する分解能の光プローブに
より再生するようにした。
ローブで走査しながら微小凹凸に局在するエバネッセン
ト光により前記媒体の凹凸情報を再生するようにしたフ
ォトン走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の
再生方法において、各々異なる円錐角に設定された先端
円錐形状の複数の光プローブを設け、前記媒体上に形成
されたトラッキング用凹凸情報列とこの凹凸情報列と異
なる記録寸法の範囲内に設定された一連の記録凹凸情報
列とを各々の記録寸法に適合する分解能の光プローブに
より再生するようにした。
【００１５】
【作用】請求項１記載の光メモリ装置、請求項２記載の
光メモリ装置の記録方法、或いは、請求項３記載の光メ
モリ装置の再生方法においては、光プローブがその先端
形状に対応する細かさを持つ成分を選択的に検出する帯
域フィルタとして作用する点に着目し、異なる円錐角に
設定された先端円錐形状の複数の光プローブを有して、
異なる記録寸法の範囲内に設定された各々の一連の凹凸
情報列のみを再生する分解能を持つようにしたので、個
々の光プローブで見た場合、自己の再生する分解能に適
合しない記録寸法の凹凸情報列はマスクされていると等
価的なものとなり、よって、異なる記録寸法の範囲内に
設定された各々の一連の凹凸情報列同士は互いに接近さ
せて記録／再生しても干渉がないものとなり、フォトン
走査型トンネル顕微鏡を利用した特徴を最大限に活かし
て、高密度でクロストークの少ない記録／再生が可能な
ものとなる。
光メモリ装置の記録方法、或いは、請求項３記載の光メ
モリ装置の再生方法においては、光プローブがその先端
形状に対応する細かさを持つ成分を選択的に検出する帯
域フィルタとして作用する点に着目し、異なる円錐角に
設定された先端円錐形状の複数の光プローブを有して、
異なる記録寸法の範囲内に設定された各々の一連の凹凸
情報列のみを再生する分解能を持つようにしたので、個
々の光プローブで見た場合、自己の再生する分解能に適
合しない記録寸法の凹凸情報列はマスクされていると等
価的なものとなり、よって、異なる記録寸法の範囲内に
設定された各々の一連の凹凸情報列同士は互いに接近さ
せて記録／再生しても干渉がないものとなり、フォトン
走査型トンネル顕微鏡を利用した特徴を最大限に活かし
て、高密度でクロストークの少ない記録／再生が可能な
ものとなる。
【００１６】また、請求項４記載の光メモリ装置の記録
方法、又は、請求項５記載の光メモリ装置の再生方法に
おいても、異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複
数の光プローブを有するので、これらの光プローブの分
解能の違いにより、微小な凹凸情報列がトラッキング用
凹凸情報列により検出しにくくなるようなことがなく、
雑音の少ない記録／再生が可能となる。
方法、又は、請求項５記載の光メモリ装置の再生方法に
おいても、異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複
数の光プローブを有するので、これらの光プローブの分
解能の違いにより、微小な凹凸情報列がトラッキング用
凹凸情報列により検出しにくくなるようなことがなく、
雑音の少ない記録／再生が可能となる。
【００１７】
【実施例】本発明の第一の実施例を図１ないし図４に基
づいて説明する。本実施例は、図７で説明したようなフ
ォトンＳＴＭを利用したものであり、図７で示した部分
と同一部分は同一符号を用いて示す。本実施例では、複
数個、例えば２個の光プローブ１１，１２を設けたこと
を特徴とする。ここに、これらの光プローブ１１，１２
は図２(ａ)(ｂ)に示すように、異なる円錐角に設定され
た先端円錐形状のものであり、異なる分解能を持つよう
に設定されている。即ち、前述したフォトンＳＴＭの原
理によれば、図２(ａ)(ｂ)に示すように、物体表面の凹
凸の空間周波数の中から光プローブ１１，１２の先端形
状、即ち、円錐形状の先端の円錐角に対応する細かさを
持つ成分を選択的に検出する帯域フィルタとして働くこ
とが理解でき、各々異なる大きさ（記録サイズ）を有す
る一連の凹凸情報列を個別に検出し得るものとなる。具
体的には、円錐角が大きめとされた光プローブ１１の場
合には微小物体５の内、そのサイズの大きめなものに対
してのみ分解能を持ち、円錐角が小さめとされた光プロ
ーブ１２の場合には微小物体５の内、そのサイズの小さ
めなものに対してのみ分解能を持つように設定されてい
る。
づいて説明する。本実施例は、図７で説明したようなフ
ォトンＳＴＭを利用したものであり、図７で示した部分
と同一部分は同一符号を用いて示す。本実施例では、複
数個、例えば２個の光プローブ１１，１２を設けたこと
を特徴とする。ここに、これらの光プローブ１１，１２
は図２(ａ)(ｂ)に示すように、異なる円錐角に設定され
た先端円錐形状のものであり、異なる分解能を持つよう
に設定されている。即ち、前述したフォトンＳＴＭの原
理によれば、図２(ａ)(ｂ)に示すように、物体表面の凹
凸の空間周波数の中から光プローブ１１，１２の先端形
状、即ち、円錐形状の先端の円錐角に対応する細かさを
持つ成分を選択的に検出する帯域フィルタとして働くこ
とが理解でき、各々異なる大きさ（記録サイズ）を有す
る一連の凹凸情報列を個別に検出し得るものとなる。具
体的には、円錐角が大きめとされた光プローブ１１の場
合には微小物体５の内、そのサイズの大きめなものに対
してのみ分解能を持ち、円錐角が小さめとされた光プロ
ーブ１２の場合には微小物体５の内、そのサイズの小さ
めなものに対してのみ分解能を持つように設定されてい
る。
【００１８】よって、凹凸情報列により記録を行う光メ
モリの場合で考えれば、記録寸法を大きめに設定した一
連の記録凹凸情報列を光プローブ１１に割当て、記録寸
法を小さめに設定した一連の記録凹凸情報列を光プロー
ブ１２に割当て得ることが理解できる。そこで、例えば
図１に示すように、媒体１３上に記録寸法が大きめに設
定された一連の記録凹凸情報列１４と記録寸法が小さめ
に設定された一連の記録凹凸情報列１５とを別個の列と
して分離させて交互に記録形成する。このような記録
は、前述したフォトンＳＴＭの原理に従い、光プローブ
１１，１２の各々の先端から媒体１３に対してエバネッ
セント光を滲み出させることにより、光プロープ１１に
よって記録凹凸情報列１４を記録形成し、光プローブ１
２によって記録凹凸情報列１５を記録形成するようにす
ればよい。そして、一連の記録凹凸情報列１４には光プ
ローブ１１を割当て、一連の記録凹凸情報列１５には光
プローブ１２を割当てて再生するようにすれば、これら
の記録凹凸情報列１４，１５が近接していても、光プロ
ーブ１１では記録凹凸情報列１５はマスクされたと等価
的なものとなり自己の分解能に適合する記録寸法の記録
凹凸情報列１４のみが検出再生される。同様に、光プロ
ーブ１２では記録凹凸情報列１４はマスクされたと等価
的なものとなり自己の分解能に適合する記録寸法の記録
凹凸情報列１５のみが検出再生される。よって、記録凹
凸情報列１４，１５間での干渉のない再生となり、高密
度でクロストークの少ない記録／再生が行える。
モリの場合で考えれば、記録寸法を大きめに設定した一
連の記録凹凸情報列を光プローブ１１に割当て、記録寸
法を小さめに設定した一連の記録凹凸情報列を光プロー
ブ１２に割当て得ることが理解できる。そこで、例えば
図１に示すように、媒体１３上に記録寸法が大きめに設
定された一連の記録凹凸情報列１４と記録寸法が小さめ
に設定された一連の記録凹凸情報列１５とを別個の列と
して分離させて交互に記録形成する。このような記録
は、前述したフォトンＳＴＭの原理に従い、光プローブ
１１，１２の各々の先端から媒体１３に対してエバネッ
セント光を滲み出させることにより、光プロープ１１に
よって記録凹凸情報列１４を記録形成し、光プローブ１
２によって記録凹凸情報列１５を記録形成するようにす
ればよい。そして、一連の記録凹凸情報列１４には光プ
ローブ１１を割当て、一連の記録凹凸情報列１５には光
プローブ１２を割当てて再生するようにすれば、これら
の記録凹凸情報列１４，１５が近接していても、光プロ
ーブ１１では記録凹凸情報列１５はマスクされたと等価
的なものとなり自己の分解能に適合する記録寸法の記録
凹凸情報列１４のみが検出再生される。同様に、光プロ
ーブ１２では記録凹凸情報列１４はマスクされたと等価
的なものとなり自己の分解能に適合する記録寸法の記録
凹凸情報列１５のみが検出再生される。よって、記録凹
凸情報列１４，１５間での干渉のない再生となり、高密
度でクロストークの少ない記録／再生が行える。
【００１９】ここに、このような媒体１３及び光プロー
ブ１１，１２を用いた光メモリ装置としては、例えば、
図３に示すように構成される。まず、媒体１３は例えば
プリズム等による支持体１６上に搭載されつつ、コンピ
ュータ１７制御によるｘｙ走査装置１８及びｚ走査装置
１９により３次元的に走査移動自在に設けられている。
このような媒体１３に対して半導体レーザ２０から出射
されたレーザ光をコリメートレンズ２１、ミラー２２、
支持体１６を介して照射し得るように構成されている。
このようなレーザ光の照射位置に対応する媒体１３面に
対して２つの光プローブ１１，１２が近接状態で対向配
置されている。さらに、光プローブ１１，１２内を導波
する散乱光を検出する光検出器２３が設けられ、ロック
インアンプ２４に取込まれるように構成されている。こ
のロックインアンプ２４は交流電源２５に接続されてお
り、所定の周期で光検出器２３からの信号をコンピュー
タ１７側に取込むように設定されている。また、前記交
流電源２５に基づき半導体レーザ２０に対する直流電圧
を生成する制御電源２６が設けられ、加算器２７を介し
て半導体レーザ制御部２８からの帰還制御信号を加算し
て半導体レーザ２０の光出力を調整し得るように構成さ
れている。
ブ１１，１２を用いた光メモリ装置としては、例えば、
図３に示すように構成される。まず、媒体１３は例えば
プリズム等による支持体１６上に搭載されつつ、コンピ
ュータ１７制御によるｘｙ走査装置１８及びｚ走査装置
１９により３次元的に走査移動自在に設けられている。
このような媒体１３に対して半導体レーザ２０から出射
されたレーザ光をコリメートレンズ２１、ミラー２２、
支持体１６を介して照射し得るように構成されている。
このようなレーザ光の照射位置に対応する媒体１３面に
対して２つの光プローブ１１，１２が近接状態で対向配
置されている。さらに、光プローブ１１，１２内を導波
する散乱光を検出する光検出器２３が設けられ、ロック
インアンプ２４に取込まれるように構成されている。こ
のロックインアンプ２４は交流電源２５に接続されてお
り、所定の周期で光検出器２３からの信号をコンピュー
タ１７側に取込むように設定されている。また、前記交
流電源２５に基づき半導体レーザ２０に対する直流電圧
を生成する制御電源２６が設けられ、加算器２７を介し
て半導体レーザ制御部２８からの帰還制御信号を加算し
て半導体レーザ２０の光出力を調整し得るように構成さ
れている。
【００２０】なお、半導体レーザ２０によるレーザ光の
波長は０．８μｍなる通常の光ディスク用のものとされ
ている。また、光プローブ１１，１２の走査制御、ロッ
クインアンプ２４による画像処理等に関しては、例え
ば、固体物理 Ｖol.28 No.3 1993,177 中に示されるよ
うなＳＴＭ、ＡＦＭ等の技術がそのまま用いられてい
る。また、所定の円錐角を持つ光プローブ１１，１２
は、例えば、Ｊpn．Ｊ．Ａppl.Ｐhys.Ｖol.31(1992) p
p.L1302-L1304中に示される手法により作製すればよ
い。
波長は０．８μｍなる通常の光ディスク用のものとされ
ている。また、光プローブ１１，１２の走査制御、ロッ
クインアンプ２４による画像処理等に関しては、例え
ば、固体物理 Ｖol.28 No.3 1993,177 中に示されるよ
うなＳＴＭ、ＡＦＭ等の技術がそのまま用いられてい
る。また、所定の円錐角を持つ光プローブ１１，１２
は、例えば、Ｊpn．Ｊ．Ａppl.Ｐhys.Ｖol.31(1992) p
p.L1302-L1304中に示される手法により作製すればよ
い。
【００２１】このような光メモリ装置を用いて、支持体
１６なるプリズム上のＳｉＯ2 膜（約２０ｎｍなる薄
膜）の形状測定を行ったところ、図４(ａ)(ｂ)に示すよ
うに、２種類の光プローブ１１，１２によって分解能の
異なる凹凸情報列の検出が達成されていることが確認で
きたものである。同図(ａ)が光プローブ１１による形状
測定結果を示し、同図(ｂ)が光プローブ１２による形状
測定結果を示す。
１６なるプリズム上のＳｉＯ2 膜（約２０ｎｍなる薄
膜）の形状測定を行ったところ、図４(ａ)(ｂ)に示すよ
うに、２種類の光プローブ１１，１２によって分解能の
異なる凹凸情報列の検出が達成されていることが確認で
きたものである。同図(ａ)が光プローブ１１による形状
測定結果を示し、同図(ｂ)が光プローブ１２による形状
測定結果を示す。
【００２２】なお、媒体１３上に異なる記録寸法の記録
凹凸情報列を記録形成する場合、図２に示したようなも
のに限らず、例えば、図５に示すように、記録寸法の大
きめな記録凹凸情報列２９と記録寸法の小さな記録凹凸
情報列３０とを同一列上に混在させて光プローブ１１，
１２により記録形成し、光プローブ１１，１２により再
生するようにしてもよい。
凹凸情報列を記録形成する場合、図２に示したようなも
のに限らず、例えば、図５に示すように、記録寸法の大
きめな記録凹凸情報列２９と記録寸法の小さな記録凹凸
情報列３０とを同一列上に混在させて光プローブ１１，
１２により記録形成し、光プローブ１１，１２により再
生するようにしてもよい。
【００２３】つづいて、本発明の第二の実施例を図６に
より説明する。本実施例では、トラッキング用凹凸情報
列３１と記録凹凸情報列３２とを２つの光プローブ１
１，１２で分離し得るような記録寸法で形成するように
したものである。具体的には、トラッキング用凹凸情報
列３１は光プローブ１１の分解能に適合する記録寸法と
され、記録凹凸情報列３２は光プローブ１２の分解能に
適合する記録寸法とされている。
より説明する。本実施例では、トラッキング用凹凸情報
列３１と記録凹凸情報列３２とを２つの光プローブ１
１，１２で分離し得るような記録寸法で形成するように
したものである。具体的には、トラッキング用凹凸情報
列３１は光プローブ１１の分解能に適合する記録寸法と
され、記録凹凸情報列３２は光プローブ１２の分解能に
適合する記録寸法とされている。
【００２４】つまり、これらの凹凸情報列３１，３２が
近接していても、光プローブ１１では記録凹凸情報列３
２はマスクされていると等価的なものとなり、自己の分
解能に適合する記録寸法のトラッキング用凹凸情報列３
１のみが検出再生され、トラッキング制御に供される。
同様に、光プローブ１２ではトラッキング用凹凸情報列
３１はマスクされていると等価的なものとなり、自己の
分解能に適合する記録寸法の記録凹凸情報列３２のみが
検出再生される。
近接していても、光プローブ１１では記録凹凸情報列３
２はマスクされていると等価的なものとなり、自己の分
解能に適合する記録寸法のトラッキング用凹凸情報列３
１のみが検出再生され、トラッキング制御に供される。
同様に、光プローブ１２ではトラッキング用凹凸情報列
３１はマスクされていると等価的なものとなり、自己の
分解能に適合する記録寸法の記録凹凸情報列３２のみが
検出再生される。
【００２５】よって、本実施例によれば、微小な記録凹
凸情報列３２がトラッキング用凹凸情報列３１によって
検出しにくくなるようなことなく、各々正確に検出再生
できるものとなる。また、トラッキング用凹凸情報列３
１，３２間の間隔を極力狭くしても正確なトラッキング
制御が維持されるため、雑音の少ない高密度記録が可能
となる。
凸情報列３２がトラッキング用凹凸情報列３１によって
検出しにくくなるようなことなく、各々正確に検出再生
できるものとなる。また、トラッキング用凹凸情報列３
１，３２間の間隔を極力狭くしても正確なトラッキング
制御が維持されるため、雑音の少ない高密度記録が可能
となる。
【００２６】
【発明の効果】本発明は、上述のように構成し、請求項
１記載の発明によれば、光メモリ装置に関して、媒体面
上を光プローブで走査しながら微小凹凸に局在するエバ
ネッセント光により前記媒体の凹凸情報を記録し又は再
生するようにしたフォトン走査型トンネル顕微鏡を利用
した光メモリ装置において、異なる記録寸法の範囲内に
設定された各々の一連の凹凸情報列のみを再生する分解
能を持つように各々異なる円錐角に設定された先端円錐
形状の複数の光プローブを設け、請求項２記載の発明に
よれば、光メモリ装置の記録方法に関して、媒体面上を
光プローブで走査しながらこの光プローブ先端からエバ
ネッセント光を滲み出させて前記媒体に凹凸情報を記録
するようにしたフォトン走査型トンネル顕微鏡を利用し
た光メモリ装置の記録方法において、各々異なる円錐角
に設定された先端円錐形状の複数の光プローブを設け、
これらの光プローブにより異なる記録寸法の範囲内に設
定された各々の一連の記録凹凸情報列を、各々別個の列
上に分離して、又は、同一列上に混在させて記録形成す
るようにし、請求項３記載の発明によれば、光メモリ装
置の再生方法に関して、媒体面上を光プローブで走査し
ながら微小凹凸に局在するエバネッセント光により前記
媒体の凹凸情報を再生するようにしたフォトン走査型ト
ンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の再生方法におい
て、各々異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数
の光プローブを設け、各々別個の列上に分離して、又
は、同一列上に混在させて記録形成された異なる記録寸
法の範囲内に設定された各々の一連の記録凹凸情報列を
各々の記録寸法に適合する分解能の光プローブにより再
生するようにしたので、異なる円錐角に設定された先端
円錐形状の複数の光プローブを有して、異なる記録寸法
の範囲内に設定された各々の一連の凹凸情報列のみを再
生する分解能を持つようにしたことにより、個々の光プ
ローブで見た場合、自己の再生する分解能に適合しない
記録寸法の凹凸情報列はマスクされていると等価的なも
のとなり、よって、異なる記録寸法の範囲内に設定され
た各々の一連の凹凸情報列同士は互いに接近させて記録
／再生しても干渉がないものとなり、フォトン走査型ト
ンネル顕微鏡を利用した特徴を最大限に活かして、高密
度でクロストークの少ない記録／再生を行わせることが
できる。
１記載の発明によれば、光メモリ装置に関して、媒体面
上を光プローブで走査しながら微小凹凸に局在するエバ
ネッセント光により前記媒体の凹凸情報を記録し又は再
生するようにしたフォトン走査型トンネル顕微鏡を利用
した光メモリ装置において、異なる記録寸法の範囲内に
設定された各々の一連の凹凸情報列のみを再生する分解
能を持つように各々異なる円錐角に設定された先端円錐
形状の複数の光プローブを設け、請求項２記載の発明に
よれば、光メモリ装置の記録方法に関して、媒体面上を
光プローブで走査しながらこの光プローブ先端からエバ
ネッセント光を滲み出させて前記媒体に凹凸情報を記録
するようにしたフォトン走査型トンネル顕微鏡を利用し
た光メモリ装置の記録方法において、各々異なる円錐角
に設定された先端円錐形状の複数の光プローブを設け、
これらの光プローブにより異なる記録寸法の範囲内に設
定された各々の一連の記録凹凸情報列を、各々別個の列
上に分離して、又は、同一列上に混在させて記録形成す
るようにし、請求項３記載の発明によれば、光メモリ装
置の再生方法に関して、媒体面上を光プローブで走査し
ながら微小凹凸に局在するエバネッセント光により前記
媒体の凹凸情報を再生するようにしたフォトン走査型ト
ンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の再生方法におい
て、各々異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数
の光プローブを設け、各々別個の列上に分離して、又
は、同一列上に混在させて記録形成された異なる記録寸
法の範囲内に設定された各々の一連の記録凹凸情報列を
各々の記録寸法に適合する分解能の光プローブにより再
生するようにしたので、異なる円錐角に設定された先端
円錐形状の複数の光プローブを有して、異なる記録寸法
の範囲内に設定された各々の一連の凹凸情報列のみを再
生する分解能を持つようにしたことにより、個々の光プ
ローブで見た場合、自己の再生する分解能に適合しない
記録寸法の凹凸情報列はマスクされていると等価的なも
のとなり、よって、異なる記録寸法の範囲内に設定され
た各々の一連の凹凸情報列同士は互いに接近させて記録
／再生しても干渉がないものとなり、フォトン走査型ト
ンネル顕微鏡を利用した特徴を最大限に活かして、高密
度でクロストークの少ない記録／再生を行わせることが
できる。
【００２７】請求項４記載の発明によれば、光ディスク
装置の記録方法に関して、媒体面上を光プローブで走査
しながらこの光プローブ先端からエバネッセント光を滲
み出させて前記媒体に凹凸情報を記録するようにしたフ
ォトン走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の
記録方法において、各々異なる円錐角に設定された先端
円錐形状の複数の光プローブを設け、これらの光プロー
ブによりトラッキング用凹凸情報列とこの凹凸情報列と
異なる記録寸法の範囲内に設定された一連の記録凹凸情
報列とを形成するようにし、請求項５記載の発明によれ
ば、媒体面上を光プローブで走査しながら微小凹凸に局
在するエバネッセント光により前記媒体の凹凸情報を再
生するようにしたフォトン走査型トンネル顕微鏡を利用
した光メモリ装置の再生方法において、各々異なる円錐
角に設定された先端円錐形状の複数の光プローブを設
け、前記媒体上に形成されたトラッキング用凹凸情報列
とこの凹凸情報列と異なる記録寸法の範囲内に設定され
た一連の記録凹凸情報列とを各々の記録寸法に適合する
分解能の光プローブにより再生するようにしたので、や
はり、異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数の
光プローブを有することにより、これらの光プローブの
分解能の違いにより、微小な凹凸情報列がトラッキング
用凹凸情報列により検出しにくくなるようなことがな
く、トラッキング用凹凸情報列間の距離を狭めて高密度
化を図りつつ、雑音の少ない記録／再生を行わせること
ができる。
装置の記録方法に関して、媒体面上を光プローブで走査
しながらこの光プローブ先端からエバネッセント光を滲
み出させて前記媒体に凹凸情報を記録するようにしたフ
ォトン走査型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の
記録方法において、各々異なる円錐角に設定された先端
円錐形状の複数の光プローブを設け、これらの光プロー
ブによりトラッキング用凹凸情報列とこの凹凸情報列と
異なる記録寸法の範囲内に設定された一連の記録凹凸情
報列とを形成するようにし、請求項５記載の発明によれ
ば、媒体面上を光プローブで走査しながら微小凹凸に局
在するエバネッセント光により前記媒体の凹凸情報を再
生するようにしたフォトン走査型トンネル顕微鏡を利用
した光メモリ装置の再生方法において、各々異なる円錐
角に設定された先端円錐形状の複数の光プローブを設
け、前記媒体上に形成されたトラッキング用凹凸情報列
とこの凹凸情報列と異なる記録寸法の範囲内に設定され
た一連の記録凹凸情報列とを各々の記録寸法に適合する
分解能の光プローブにより再生するようにしたので、や
はり、異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数の
光プローブを有することにより、これらの光プローブの
分解能の違いにより、微小な凹凸情報列がトラッキング
用凹凸情報列により検出しにくくなるようなことがな
く、トラッキング用凹凸情報列間の距離を狭めて高密度
化を図りつつ、雑音の少ない記録／再生を行わせること
ができる。
【図１】本発明の第一の実施例に関して異なる記録寸法
の記録凹凸情報列の様子を模式的に示す斜視図である。
の記録凹凸情報列の様子を模式的に示す斜視図である。
【図２】異なる円錐角の光プローブの動作を示す模式図
である。
である。
【図３】光ディスク装置の構成例を示すブロック図であ
る。
る。
【図４】その再生結果を示す特性図である。
【図５】変形例として異なる記録寸法の記録凹凸情報列
の様子を模式的に示す斜視図である。
の様子を模式的に示す斜視図である。
【図６】本発明の第二の実施例を示す凹凸情報列の様子
を模式的に表した斜視図である。
を模式的に表した斜視図である。
【図７】フォトンＳＴＭの原理を説明するための模式図
である。
である。
１１，１２ 光プローブ １３ 媒体 １４，１５ 記録凹凸情報列 ２９，３０ 記録凹凸情報列 ３１ トラッキング用凹凸情報列 ３２ 記録凹凸情報列
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−101457（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−241076（ＪＰ，Ａ) 特開 平３−90853（ＪＰ，Ａ) 特表 平４−505653（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G11B 7/00 - 7/135 G12B 1/00 601 G11B 9/14
Claims (5)
- 【請求項１】 媒体面上を光プローブで走査しながら微
小凹凸に局在するエバネッセント光により前記媒体の凹
凸情報を記録し又は再生するようにしたフォトン走査型
トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置において、異な
る記録寸法の範囲内に設定された各々の一連の記録凹凸
情報列のみを再生する分解能を持つように各々異なる円
錐角に設定された先端円錐形状の複数の光プローブを設
けたことを特徴とする光メモリ装置。 - 【請求項２】 媒体面上を光プローブで走査しながらこ
の光プローブ先端からエバネッセント光を滲み出させて
前記媒体に凹凸情報を記録するようにしたフォトン走査
型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の記録方法に
おいて、各々異なる円錐角に設定された先端円錐形状の
複数の光プローブを設け、これらの光プローブにより異
なる記録寸法の範囲内に設定された各々の一連の記録凹
凸情報列を、各々別個の列上に分離して、又は、同一列
上に混在させて記録形成するようにしたことを特徴とす
る光メモリ装置の記録方法。 - 【請求項３】 媒体面上を光プローブで走査しながら微
小凹凸に局在するエバネッセント光により前記媒体の凹
凸情報を再生するようにしたフォトン走査型トンネル顕
微鏡を利用した光メモリ装置の再生方法において、各々
異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数の光プロ
ーブを設け、各々別個の列上に分離して、又は、同一列
上に混在させて記録形成された異なる記録寸法の範囲内
に設定された各々の一連の記録凹凸情報列を各々の記録
寸法に適合する分解能の光プローブにより再生するよう
にしたことを特徴とする光メモリ装置の再生方法。 - 【請求項４】 媒体面上を光プローブで走査しながらこ
の光プローブ先端からエバネッセント光を滲み出させて
前記媒体に凹凸情報を記録するようにしたフォトン走査
型トンネル顕微鏡を利用した光メモリ装置の記録方法に
おいて、各々異なる円錐角に設定された先端円錐形状の
複数の光プローブを設け、これらの光プローブによりト
ラッキング用凹凸情報列とこの凹凸情報列と異なる記録
寸法の範囲内に設定された一連の記録凹凸情報列とを形
成するようにしたことを特徴とする光メモリ装置の記録
方法。 - 【請求項５】 媒体面上を光プローブで走査しながら微
小凹凸に局在するエバネッセント光により前記媒体の凹
凸情報を再生するようにしたフォトン走査型トンネル顕
微鏡を利用した光メモリ装置の再生方法において、各々
異なる円錐角に設定された先端円錐形状の複数の光プロ
ーブを設け、前記媒体上に形成されたトラッキング用凹
凸情報列とこの凹凸情報列と異なる記録寸法の範囲内に
設定された一連の記録凹凸情報列とを各々の記録寸法に
適合する分解能の光プローブにより再生するようにした
ことを特徴とする光メモリ装置の再生方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24233093A JP3236423B2 (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 光メモリ装置並びにその記録方法及び再生方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24233093A JP3236423B2 (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 光メモリ装置並びにその記録方法及び再生方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0798885A JPH0798885A (ja) | 1995-04-11 |
| JP3236423B2 true JP3236423B2 (ja) | 2001-12-10 |
Family
ID=17087595
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24233093A Expired - Fee Related JP3236423B2 (ja) | 1993-09-29 | 1993-09-29 | 光メモリ装置並びにその記録方法及び再生方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3236423B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100209688B1 (ko) * | 1997-04-12 | 1999-07-15 | 구자홍 | 근접장 광학현상을 이용한 광 저장장치 및이를 이용한 트랙킹 제어방법 |
-
1993
- 1993-09-29 JP JP24233093A patent/JP3236423B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0798885A (ja) | 1995-04-11 |
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