KR940006296A - 열처리 장치 - Google Patents
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Abstract
소정의 가스 분위 또는 감압 분위기로된 처리용기 밀봉부의 대향면에 각각 고리형상 홈부를 형성함과 동시에 이들의 고리형상 홈부의 개구부 전체주위에 흡착되도록 고리형상 박판을 배치한다. 그리고, 이들의 고리형상 홈부에 각각 배기수단을 접속하고, 고리형상부에 감압으로 배기하는 것에 의하여 고리형상 홈부의 개구부 모든 주위에 고리형상 박판을 흡착하여 대향면을 기밀하게 밀봉한다. 이 구성에 의하여 처리용기내에 불필요한 대기중에 산소나 수분이 혼입되지 않고, 또 고온에 의하여 가스나 수분의 방출이 없는 밀봉부를 가진 열처리장치가 제안된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 열처리 장치를 종형 열처리 장치에 적용한 실시예의 개략 종단면도,
제2도는 본 발명의 열처리장치를 외측 반응관과 밀봉부와 매나호울드로 분해한 사시도,
제3도는 본 발명의 열처리장치의 밀봉부의 제1실시예의 밀봉전의 확대부분 종단면도,
제4도는 제3도에 나타낸 밀봉부의 밀봉후의 확대부분 종단면도.
Claims (13)
- 소정의 가스분위기 또는 감압분기로 된 처리융기 밀봉부의 밀봉면에 각각 형성된 개구부를 가지는 고리형상 홈부와, 그 고리형상 홈부에 각각 접속된 배기수단과, 상기 복수의 고리형상 홈부를 그 배기수단에 의하여 감압으로 배기하므로써 상기 고리형상 홈부의 개구부 전체 주위에 부착되도록 배치된 고리 형상 홈부와, 으로 되는 밀봉를 가지는 열처리장치.
- 제1항에 있어서. 상기 고리형상 박판이 제1의 고리형상 홈부와, 접촉하는 제1의 고리형상 박판과, 제2의 고리형상 홈부와 접촉하는 제2의 고리형상 박판으로 되고, 상기 제1의 고리형상 박판과 제2의 고리형상 박판이 그 내주 끝단부에서 원주방향 기밀하게 접속되어 따른 쪽으로 개구하여 되는 열처리강치.
- 제1항에 있어서, 상기 고리형상 박관이 1매의 평판으로 되는 일처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제1의 고리형상 박판과 상기 제2의 고리형상 박판과의 사이에 쿠션재를 삽입시킨 열처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제1의 고리형상 박판과, 상기 제2의 고리형상 박판이 각각 내주 및 외주 글단부에서 원주방향 기밀하게 접속되어 공동부가 그 중에 형성됨과 동시에, 그 공동부내에 중앙부에 도피구를 갖는 쿠션재가 삽입된 열처리장치.
- 제2항에 있어서, 상기 제1의 고리형상 박판과 상기 제2의 고리형상 박판의 각각 내주 끝단부에 주름부를 형성함과 동시에 그 주름부를 처리공기의 내주끝단부의 밀봉면에 형성한 절결부에 수용한 열처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 열처리용기가 내측 반응관과 외측 반응관으로 되는 열처리로인 열처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 열처리장치내는 N2가스 분위기로 유지되는 열처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 열처리장치내는 진공으로 유입되는 열처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 열처리장치내는 상압 또는 양압(陽壓)으로 유지되는 열처리장치.
- 소정의 가스분위기 또는 감압분위기로 된 열처리용기 밀봉부의 밀봉면에 각각 형성된 개구부를 가지는 고리형상 홈부와, 그 고리형상 홈부에 각각 접속된 배기수단과, 상기 복수의 고리형상 홈부를 그 배기수단에 의하여 감압으로 배기함으로써, 상기 고리형상 홈부의 개구부 전체 주위에 흡착되도록 배치된 고리형상 박판과, 처리용기의 내주 끝단부 밀봉면에 형성한 절결부와, 그 절결부에 수용되어 상기 고리형상 박판의 내주 끝단부를 덮도록한 차열판과, 으로 되는 열처리장치.
- 소정의 가스 분위기 또는 감압 분위기로된 열처리용기 내측 반응관의 개구 끝단부 플랜지부의 밀봉면에 형성된 개구부를 가지는 고리형상 홈부와, 그 고리형상 홈부에 접속된 배기수단과, 상기 고리형상 홈부를 밀봉시에, 그 배기수단에 의하여 감압으로 배기함으로써, 상기 고리형상 홈부의 개구부 전체 주위에 흡착되도록 처리용기의 마개에 설치된 고리형상 박판과, 으로 되는 밀봉부를 가지는 열처리장치.
- 제12항에 있어서, 상기 고리형상 박판의 아래에 쿠션재를 개개시킨 열처리장치.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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